带电粒子束装置制造方法及图纸

本发明专利技术的带电粒子束装置(100)具备：照射部(110)，其对试样(S)照射带电粒子束；检测部(130)，其输出向试样(S)照射带电粒子束引起的信号；显示部(154)，其输出用于从多个条件组中选择1个条件组的条件选择界面；以及控制部(151)，其执行与关注对象物相关的评价。条件组包含：从多个已学习模型中确定1个已学习模型的信息；从包含照射条件以及检测条件的至少一方的多个搜索条件中确定1个搜索条件的信息；以及从规定照射部(110)以及检测部(130)的至少一方的动作的多个解析条件中确定1个解析条件的信息。带电粒子束装置(100)经由条件选择界面接受条件组的选择，基于所确定的搜索条件，对试样(S)的第一区域照射带电粒子束，检测由该照射引起的第一信号，向所确定的已学习模型交接基于第一信号的信息，从所确定的已学习模型取得表示包含关注对象物的候选位置的试样(S)的第二区域的信息，第二区域是第一区域的一部分且比第一区域小，基于所确定的解析条件，对第二区域照射带电粒子束，对由该照射引起的第二信号进行检测，将基于第二信号的信息输入到控制部(151)。输入到控制部(151)。输入到控制部(151)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】带电粒子束装置


[0001]本专利技术涉及带电粒子束装置。

技术介绍

[0002]为了进行试样中的关注对象物的检测和/或评价，使用带电粒子束装置。带电粒子束装置向试样照射带电粒子束，利用由照射引起的信号进行关注对象物的检测和/或评价。在专利文献1中公开了这样的带电粒子束装置的例子。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2019
‑
60741号公报

技术实现思路

[0006]专利技术要解决的课题
[0007]但是，在使用带电粒子束装置的检查业务中，通过人工进行带电粒子束装置的动作所涉及的各种条件的设定作业、解析区域的设定作业，存在花费时间和劳力的课题。
[0008]另外，关注对象物是多种多样的，另一方面，带电粒子束装置价格高，因此有时不得不对具有不同特性的关注对象物沿用相同的带电粒子束装置。在这样的情况下，条件的设定作业、解析区域的设定作业也花费时间和劳力。
[0009]本专利技术是为了解决这样的课题而完成的，其目的在于提供一种自动地进行动作所涉及的各种条件的设定作业、解析区域的设定作业的带电粒子束装置。
[0010]用于解决课题的手段
[0011]本专利技术所涉及的带电粒子束装置的一个例子如下：
[0012]该带电粒子束装置具备：
[0013]照射部，其对试样照射带电粒子束；
[0014]检测部，其输出向所述试样照射所述带电粒子束引起的信号；
[0015]界面输出部，其输出用于从多个条件组中选择1个条件组的条件选择界面；以及
[0016]评价部，其执行与关注对象物相关的评价，
[0017]所述条件组包括如下信息：
[0018]从多个已学习模型中确定1个已学习模型的信息；
[0019]从包含照射条件和检测条件中的至少一方的多个搜索条件中确定1个搜索条件的信息；以及
[0020]从规定所述照射部和所述检测部中的至少一方的动作的多个解析条件中确定1个解析条件的信息，
[0021]所述带电粒子束装置进行如下动作：
[0022]经由所述条件选择界面接受所述条件组的选择；
[0023]基于所确定的所述搜索条件，对所述试样的第一区域照射所述带电粒子束，并对
由该照射引起的第一信号进行检测；
[0024]向所确定的所述已学习模型交接基于所述第一信号的信息；
[0025]从所确定的所述已学习模型取得包含所述关注对象物的候选的位置的表示所述试样的第二区域的信息，所述第二区域是所述第一区域的一部分且比所述第一区域小；
[0026]基于所确定的所述解析条件，对所述第二区域照射所述带电粒子束，对由该照射引起的第二信号进行检测；以及
[0027]将基于所述第二信号的信息输入到所述评价部。
[0028]专利技术效果
[0029]根据本专利技术的带电粒子束装置，不需要单独地进行各种条件的设定，并且能够自动地进行解析区域的设定。
附图说明
[0030]图1是概略性地表示本专利技术的实施方式1所涉及的带电粒子束装置的主视图。
[0031]图2是表示图1的带电粒子束装置的动作的流程图。
[0032]图3是构成在图2的处理中输出的条件选择界面的一部分的画面的例子。
[0033]图4是图3的导航图像的其他例子。
[0034]图5是用于进行条件组的设定的画面的例子。
[0035]图6是第二区域的例子。
[0036]图7是示意性地表示形状解析所涉及的处理的图。
[0037]图8是示意性地表示组成解析所涉及的处理的图。
[0038]图9是评价结果的例子。
[0039]图10是评价结果的显示例。
[0040]图11是表示搜索条件的自动调整所涉及的带电粒子束装置的动作的流程图。
[0041]图12是变形例所涉及的评价结果的显示例。
具体实施方式
[0042]以下，基于附图对本专利技术的实施方式进行说明。
[0043]实施方式1
[0044]<关于带电粒子束装置100的结构>
[0045]图1是概略性地表示实施方式1所涉及的带电粒子束装置100的主视图。该带电粒子束装置100是扫描型电子显微镜。但是，带电粒子束装置也可以是透射型电子显微镜、离子束装置等其他带电粒子束装置。需要注意的是，带电粒子束装置100的结构只不过是一例。换言之，带电粒子束装置100的各部的具体结构能够根据带电粒子束装置100的种类、构造而变化。
[0046]带电粒子束装置100具有对试样S照射带电粒子束的照射部110。该例子的照射部110具有电子源111和镜筒112。电子源111释放成为带电粒子束(在本例中为电子束)的源的电子。镜筒112具有聚焦透镜、扫描线圈、物镜等，向试样S引导带电粒子束。
[0047]照射部110与试样室120连接。典型的是，试样室120被未图示的真空泵等抽真空。
[0048]在该例中，在试样室120设有检测部130，该检测部130输出因带电粒子束向试样S
的照射引起的信号。检测部130检测的对象可以是二次电子、反射电子、X射线、俄歇电子(Auger electron)等。另外，可以设置多个检测部130。在该例子中，带电粒子束装置100具有检测二次电子的第一检测部130A和检测X射线的第二检测部130B。检测部130不限于设置于试样室120。作为一例，在一种扫描型电子显微镜中，检测部130设置于镜筒112的内部。作为另一例，在一种透射型电子显微镜中，检测部130设置于比试样S靠电子束的流动的下游的位置，以检测透过了试样S的电子束。
[0049]带电粒子束装置100具备载物台140。载物台140可以是可移动载物台。典型的是，载物台140可以在X方向和/或Y方向(与带电粒子束的光轴垂直的平面内的一个方向：图1的箭头方向)上移动。并且，载物台140可以在Z方向(与带电粒子束的光轴垂直的方向)上移动。并且，载物台140可以是可旋转的(以Z轴方向为旋转轴的旋转)。并且，载物台140可以倾斜(以X方向或Y方向为旋转轴的旋转)。载物台140可以构成为支承试样保持器141。在该例子中，试样S载置于试样保持器141。
[0050]带电粒子束装置100可以与控制部151、输入部152、存储部153以及显示部154连接。控制部151、输入部152、存储部153、显示部154可以是带电粒子束装置100的一部分，也可以独立于带电粒子束装置100。各部之间的连接可以是有线连接，也可以是无线连接。因此，图1所图示的连接线只不过是例示。作为追加或代替，也可以采用经由因特网等通信线路的连接。例如，存储部153也可以是内联网、因特网或云服务上的存储部153。在带电粒子束装置100与多个层级的控制部151或存储部153连接的情况下，有时将处于上位层级的控制部151或存储部1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种带电粒子束装置，其特征在于，具备：照射部，其对试样照射带电粒子束；检测部，其输出向所述试样照射所述带电粒子束引起的信号；界面输出部，其输出用于从多个条件组中选择1个条件组的条件选择界面；以及评价部，其执行与关注对象物相关的评价，所述条件组包括如下信息：从多个已学习模型中确定1个已学习模型的信息；从包含照射条件和检测条件中的至少一方的多个搜索条件中确定1个搜索条件的信息；以及从规定所述照射部和所述检测部中的至少一方的动作的多个解析条件中确定1个解析条件的信息，所述带电粒子束装置进行如下动作：经由所述条件选择界面接受所述条件组的选择；基于所确定的所述搜索条件，对所述试样的第一区域照射所述带电粒子束，并对由该照射引起的第一信号进行检测；向所确定的所述已学习模型交接基于所述第一信号的信息；从所确定的所述已学习模型取得包含所述关注对象物的候选的位置的表示所述试样的第二区域的信息，所述第二区域是所述第一区域的一部分且比所述第一区域小；基于所确定的所述解...

【专利技术属性】
技术研发人员：小松崎谅，千叶宽幸，陈伟健，佐藤博文，
申请(专利权)人：株式会社日立高新技术，
类型：发明
国别省市：