株式会社日立高新技术专利技术

株式会社日立高新技术共有2368项专利

  • 本发明提供一种图案测定系统、图案测定方法和记录介质,无测定图案的制约而能够高精度地检测随机噪声成分,并且能够更高精度地测量边缘粗糙度。根据本公开,在取得的线图案图像中,对线图案的左边缘和右边缘分别进行图案匹配和边缘位置校正,生成没有粗糙...
  • 本发明的目的在于提供一种能够实现总分析时间的缩短的自动分析装置以及控制程序。该自动分析装置具备:检体架,其收纳检体;检体分注机构,其从检体架吸引检体并分注至反应容器;多个检测部,其检测反应容器的反应液;以及控制部,其控制检体分注机构及检...
  • 提供使发光强度提升的闪烁器等。闪烁器(S)具备:蓝宝石基板(6);GaN层(4),其相对于蓝宝石基板(6)设于入射侧,包含GaN;量子阱构造(3),其相对于GaN层(4)设于入射侧;导电层(2),其相对于量子阱构造(3)设于入射侧,在量...
  • 本发明的目的在于提供一种抑制大型化高成本化,并且通过使适量的清洗液可靠地与分注探头接触而可靠性高的自动分析装置。为此,本发明的自动分析装置具备:包含分注探头的分注机构;变更清洗液量的液量变更单元;设置于所述分注机构的清洗液检测单元;以及...
  • 本发明的目的在于提供等离子处理装置,能够在同一腔室内进行减少了离子向样品的流出的各向同性蚀刻和将离子向样品入射的各向异性蚀刻中的任一者。因此,本发明具备:处理室,对样品进行等离子处理;高频电源,经由配置在所述处理室的上方的电介质的第一构...
  • 本发明提供进一步缩小配管及毛细管的连接部分的死区体积的离子源及质量分析仪。离子源具有毛细管和配管。毛细管在上游侧具有形成毛细管上游侧端面的大径部,大径部在下游侧具有大径部下游侧面,配管在下游侧具有配管下游端面。毛细管保持部具有能够使毛细...
  • 本发明提供一种不仅实现压电元件的劣化的诊断,而且实现反应容器的变形、位置偏移的诊断以及反应容器内的被搅拌物的液量的健全性的诊断,搅拌性能的可靠性高的化学分析装置。本发明的化学分析装置的特征在于,具有:在反应容器的内部通过声波搅拌试样和试...
  • 本公开涉及以高效地进行特定部位的学习为目的的系统。为了实现该目的,提出一种系统,其构成为根据输入图像的输入来生成转换图像,其中,该系统包含以抑制与通过所述输入图像的输入而转换的第二图像之间的误差的方式调整了参数的学习模型,该学习模型至少...
  • 本发明的目的在于,提供一种通过减少清洗探针的外侧时的使用水量的自动分析装置。因此,本发明是具备进行样品或者试剂的吸引喷出的探针、以及朝向所述探针的外侧喷出清洗水的清洗喷嘴的自动分析装置,其中,具有:第一喷出工序,在该第一喷出工序中,在所...
  • 分注机构在利用管嘴(101)吸引反应容器(102)内的混合液(103)之后,将吸引到的混合液再喷出到反应容器中,由此搅拌混合液。在向反应容器再喷出混合液时,在第一期间(时刻T2~T3)内使管嘴以比通过混合液从管嘴的再喷出而使混合液的液面...
  • 高准确度地探测成为异常探测的对象的液体的分注时的异常。本公开的自动分析装置具备:分注管嘴,其分注流体;压力源,其使用于由所述分注管嘴分注所述流体的压力变动产生;流路,其将所述分注管嘴和所述压力源连接;压力传感器,其测定所述分注管嘴分注所...
  • 本发明提供一种自动分析装置,其在维护等中降低与搅拌桨的接触引起的破损风险,并且实现小型化、简单化。该自动分析装置具备:清洗槽(181),其对搅拌桨进行清洗;待机位置(182),其与清洗槽并列设置,并使搅拌桨待机;以及流入口(183),其...
  • 本发明提供一种电荷粒子线装置和电荷粒子线装置的条件设定方法,对操作者的观察条件设定进行辅助,使得能够不局限于基于操作者的经验的试错地,通过电荷粒子线装置获取希望的画质的图像。电荷粒子线装置具备:试料台,其载置试料;电荷粒子光学系统,其向...
  • 本发明的目的在于提供一种维持燃料电池单元的发电效率且电解质膜不易产生破损的高可靠性的燃料电池单元。本发明的燃料电池单元在与支撑基板相比靠上方的位置具备覆盖开口部的应力调整层,所述应力调整层对所述支撑基板具有拉伸应力,且具有晶界沿着与膜厚...
  • 本发明的目的在于提供一种自动分析装置,通过将多个LED光进行合波能够在宽的波段得到稳定的光量,并且能够使各LED元件的温度特性一致。参照图3,本发明的自动分析装置构成为来自第二LED的出射光被反射,由此与来自第一LED的出射光在相同的光...
  • 一种真空处理装置的异物测定方法,该真空处理装置具备:处理单元,其具有在内部具有处理晶片的处理室的真空容器、及将所述处理室内排气的排气泵;真空搬运单元,其具有搬运所述晶片的搬运室;和连接管,其具有在所述处理室与所述搬运室之间能够搬运所述晶...
  • 本发明提供一种带电粒子束装置,其能够抑制数据量的增大,并且缩短方案评价所需的时间。带电粒子束装置具有:显微镜,其对试样扫描带电粒子束,检测从试样释放出的2次粒子来输出检测信号;以及计算机系统,其根据检测信号生成帧图像,进行基于帧图像的图...
  • 提供在包含SiO2而构成的膜的蚀刻中使处理的成品率提升的蚀刻装置或蚀刻方法。作为其手段而使用半导体制造装置,其具有:导入口,其对处理容器内部的处理室导入包含氟化氢以及醇各自的蒸汽的处理用的气体;样品台,其配置于所述处理室,在其上表面装载...
  • 一种被输送体,其为将电磁力用作推力的输送装置的构成要素,能够沿水平方向移动,且具有可动件(218、220),可动件(218、220)以相对于滑动面(216)在铅垂方向上形成预定的间隙的方式配置有底面部(214);可动件(218、220)...
  • 本发明的目的在于提供一种燃料电池单元,为高发电输出,在确保燃料电池单元的机械强度的同时增大有助于发电的有效发电区域的面积。本发明的燃料电池单元在支撑基板与第一电极之间具备第一绝缘膜和第二绝缘膜,所述支撑基板具有第一开口部,所述第一绝缘膜...