本发明的目的是提供一种离子传感器的制造方法和离子传感器用电极体，通过提高电极主体和离子感应膜之间的粘合强度而无论材料偏差多大,从而减少性能不良。本发明是一种离子传感器的制造方法，该离子传感器使离子感应膜粘合在收纳内部溶液并具备内部电极的...

本发明提供能够在执行搅拌动作之前检测搅拌机构的状态的自动化学分析装置以及电阻抗谱测定器。自动化学分析装置将试剂和作为分析对象的样品分注到反应容器(107)内，通过向反应容器(107)照射声波来进行搅拌。自动化学分析装置具备：压电元件(2...

等离子处理装置具备：处理室(2)；和用于将处理用气体向处理室(2)的内部供给的气体供给装置(30)。气体供给装置(30)具有：质量流量控制器箱(40)，其具有吸气口(41)以及排气口(42)；多个配管(43)，分别安装有质量流量控制器(...

本公开提出一种图案匹配装置，特别是即使在包含重复图案的半导体图案中，也能够实现将具有学习功能作为特征的匹配处理。本公开的图案匹配装置具备学习器，该学习器推定具有表示第一图像与第二图像之间的相关性的数值作为像素值的第一相关图像，所述图案匹...

本发明提供图像处理方法、形状检查方法、图像处理系统以及形状检查系统。图像处理方法使用具备输入接收部、推定部和输出部的系统获取对根据试样的基准数据得到的推定拍摄图像和试样的实际的拍摄图像进行比对时使用的推定拍摄图像的数据，包括：输入工序，...

本公开的目的在于，提供能精度良好地确定形成于样品上的拐角点的图案检查/测量装置。本公开所涉及的图案检查/测量装置在设计数据上确定拐角点的对作为拐角对候补，按照设计数据上的所述拐角对候补与实际形成的形状图案中的所述拐角对候补之间的相对关系...

本发明的目的在于提供一种能够通过吐出动作而高效地进行搅拌的自动分析装置。在本发明的自动分析装置中，在探针开始对容器吐出检体之后，所述探针一边吐出所述检体或试剂一边上升，由此，随着从所述探针吐出的所述容器内的液体的液面高度上升，逐渐增大所...

具备：使用于运送运送容器(20)的推力产生的多个线圈(25a、25b)；对多个线圈(25a、25b)各自施加电压的驱动电路(50)；和基于对线圈(25a、25b)施加了电压脉冲(80、81)时的电流信息来推定运送容器(20)的位置的运算...

一种电子源，具备在沿着中心轴的方向上的一侧端部具有开口部的抑制电极以及前端从开口部突出的电子发射材料，其中，抑制电极在比开口部靠外周方向的位置还具备后退部，该后退部在沿着中心轴的方向上后退至比开口部远离电子发射材料的前端的位置，后退部的...

本发明提供能够微调排气的传导，且能够以高精度进行处理室内的压力控制的等离子体处理装置。等离子体处理装置具有：处理室；底板，其形成有与所述处理室相连的排气开口；排气部盖，其与所述排气开口对置并配置于所述处理室内；排气装置，其经由所述排气开...

本发明涉及工艺配方搜索装置、蚀刻配方搜索方法以及半导体装置制造系统。在利用了机器学习的工艺配方开发中，为了使预测加工形状的评价容易，搜索作为被设定为将样品蚀刻成所期望的形状的等离子处理装置(100)的参数的蚀刻配方的工艺配方搜索装置(1...

一种自动分析装置，具有保持试剂的试剂容器、吸取前述试剂的吸取喷嘴、将经由前述吸取喷嘴从前述试剂容器吸取的试剂添加至试样中并进行分析动作的分析部、通过紫外线照射对试剂进行杀菌的紫外线源以及对前述紫外线源供应电力的电极或电路板，设为下述构成...

具备：运算部(40)，基于电流检测部(30)中检测到的电流值来推定运送容器(20)的位置；和存储部(45)，存储在运送面上没有永磁铁(10)的状态下对多个磁极(25)的各个线圈(21)施加固定值的脉冲电压时的各磁极(25)的每一者的电流...

本发明提供一种自动分析装置，其包括多个分注单元；以及分别连接到相对应的分注单元的多个泵单元，所述多个泵单元中的每一个构成为包含：一端具有液体端口且另一端开口的注射器管；安装于所述注射器管的另一端的开口的注射器基部；贯穿所述注射器基部且前...

提供一种图案测量装置和图案测量方法，图案测量装置具备运算装置，该运算装置基于由带电粒子束装置得到的信号，对形成在试料上的图案的尺寸进行测定，所述运算装置具有：位置偏移量算出部，其根据以任意的射束倾转角获取到的图像，算出不同高度的两个图案...

在具备连接于切换阀的多个样品端口中的2个样品端口之间的样品环路的自动分析装置的控制方法中，具有：根据预先取得的试样的粘性调整注射器的驱动参数的工序；将切换阀切换为装运器与注射器不经由样品环路而导通的第一状态的工序；基于驱动参数驱动注射器...

实现减薄试剂保冷库的隔热材料的厚度且比以往小型的试剂保冷库以及具备该试剂保冷库的自动分析装置。在自动分析装置的试剂保冷库中，将真空隔热材料配置于试剂保冷库的冷却套的周围(侧面或/和上下部)。而且，将真空隔热材料的端部配置于与冷却套的上下...

提供蚀刻量的均匀性高且蚀刻处理的成品率得以提升的蚀刻技术。蚀刻方法对配置于晶片的表面的包含过渡金属的氮化物的处理对象的膜层进行蚀刻，该蚀刻方法具备如下工序：对膜层的表面供给包含氟、氢而不含氧的反应性的粒子，来在该膜层的表面形成反应层；和...

本发明提供一种试样观察装置以及方法，关于试样观察装置，提供用户能够简单地提高缺陷检测相关的精度的技术。试样观察装置在试样观察处理之前进行的学习处理中，按由缺陷位置信息表示的缺陷位置，取得第一拍摄条件下的学习用低画质图像，根据拍摄张数的设...

本发明提供一种图像识别系统。在对图像中包含的形状进行识别的图像识别系统中，即使在图像内映现有多个形状的情况下，也能够针对这些形状的单独的预测结果判定其成功与否的技术。本发明所涉及的图像识别系统按照在图像内识别出的每个对象形状并且按照特征...