提供可靠性高的等离子处理装置用保护皮膜的清洗方法。作为其手段，是一种等离子处理装置用保护皮膜的清洗方法，该等离子处理装置用保护皮膜形成于配置在等离子处理装置的处理室内部的基材的表面，且包含对等离子具有耐受性的材料，其中，该等离子处理装置...

本发明实现能够抑制装置的大型化并扩大搬运机构能够访问的范围的前处理一体型核酸分析装置。前处理机构一体型核酸分析装置具有分析检体的分析部(101、102、103、112)和将上述检体进行前处理并使前处理后的上述检体向上述分析部移动的前处理...

本发明的自动分析装置包括配置为覆盖设置在壳体上的作业面(22)上的预处理区域的培养箱盖板(106)、为了从预处理区域的外部访问内部而配置为能够开闭自如地覆盖设置在培养箱盖板(106)上的开口部的开闭盖(105)、以及配置为覆盖作业面(2...

本发明的目的在于提供一种自动分析装置，其除去在试剂保管库的内壁产生的结露水并且作业性优异。为此，本发明的自动分析装置具备保管多个试剂容器的试剂保管库，所述试剂保管库具有：试剂套，其保持所述试剂容器套并旋转；框体，其收纳所述试剂套；以及盖...

本发明的目的在于提供一种能够高速且高精度地改变温度调节块(2)的温度的温度控制装置(1)。本发明的温度控制装置(1)包括能够载置容纳了溶液(6)的容器(5)的温度调节块(2)；及温度调节部(3)，其设置成与温度调节块(2)接触并使溶液(...

本公开提供一种计算机系统，排除尺寸计测所需的时间的缩短和操作者引起的误差。计算机系统提供以下功能：从半导体图案的图像数据中提取用于计测该半导体图案的所希望部位的尺寸的基点的坐标信息，使用该基点的坐标信息来计测尺寸，其中，该计算机系统具备...

本发明提供了一种从异常预兆阶段开始向操作者推荐被认为适当的应对方法的系统。推荐动作通知系统包括含有第一自动分析装置的多个自动分析装置(51)、以及通过网络(53)连接的学习装置(52)，向操作者推荐对第一自动分析装置执行的动作，包括：处...

用于基因检测装置的反应单元具有如下构成：包括具有多个试管的试管单元或可设置多个试管的试管单元以及能够设置试管单元的盒架，在盒架的上表面部设置有通气开口部，通过设置或连接于盒架的侧面部的排气扇，使盒架的内部空间成为负压，产生从试管的上方朝...

本发明提供一种高精度地制造具有均匀的衍射光栅图案的凹面衍射光栅的技术。本公开的凹面衍射光栅的制造方法包括如下步骤：准备具有光栅槽、以及形成于成为凹面衍射光栅的模具的区域外的伸长部、薄膜部或低摩擦部的平面衍射光栅；将所述平面衍射光栅安装于...

本发明的目的在于提供一种能够同时且在短时间内通过简单的手段测定电池的内部电阻和劣化状态的技术。本发明的电池管理装置取得结束了充电或放电的结束时间点以后的第一起算时间点的所述电压与从所述第一起算时间点起经过了第一期间后的第一时间点的所述电...

本发明提供一种开闭盖装置，其具备：开闭盖(16)，其开闭自如地覆盖开口部，该开口部设置在覆盖构成前处理装置的第一区域的区域罩(23)；支承臂(35)，其经由开口部将第一区域的内部的支轴(37)连接，且转动自如地支承于支轴(37)；以及开...

本发明提供带电粒子束图像处理装置和具备其的带电粒子束装置。提供能对包含线条图案的边缘的观察像设定适当的检查区域的带电粒子束图像处理装置。带电粒子束图像处理装置对带电粒子束装置所生成的观察像进行图像处理，特征在于，具备：提取部，其从所述观...

本发明的自动分析装置及分析方法提供了一种能够在不设置专用的搅拌机构的情况下搅拌含有微粒的液体的技术。本公开的自动分析装置包括用于对检体和试剂进行吸引和排出的探针；以及用于控制所述探针的动作的控制部，所述控制部对所述探针进行控制，以进行如...

在多个分析模块(13、14、15)中，分析不同的分析类别的2个以上的分析模块(13、14)构成1个组(16)，控制模块(10)关于分析模块(13、14)中的检体的分注处理完成后的搬送目的地，在与分析模块(13、14)相同的组(16)内存...

本发明提供能够确认由检体分注部吸取的检体的量的自动分析装置。一种对检体进行分析的自动分析装置，其特征在于，具备：培养箱，其保持容纳有所述检体与试剂的混合液的反应容器；检体分注部，其从容纳有所述检体的检体容器吸取所述检体，在将所吸取的所述...

本发明提供一种自动分析装置，即使在收纳消耗品的消耗品壳体上液体洒出的情况下，也能够维持检体的分析精度。自动分析装置，其具备：分析部，其对检体进行分析；消耗品壳体，其收纳消耗品，该消耗品包括用于所述检体的分注的分注吸头、用于所述检体与试剂...

一种使用得到检测数据的系统来诊断电池组的方法，所述检测数据包含具有多个单体串联连接而成的结构的电池组的电流、温度以及各个单体的电压，所述方法包括如下工序：使用电流、温度以及各个单体的电压、OCV的SOC函数及电阻表来计算各个单体的电荷容...

本发明提供一种毛细管电泳装置，在来自M种荧光体的发光荧光具有频谱重叠和时空重叠的状态下，通过M种(M>N)波长频带中的N色检测来检测M种成分。所述毛细管电泳装置具备：样品，其包含4种以上的多种荧光体；毛细管，其用于进行所述...

本发明提供缺陷检查系统、缺陷检查方法，能吸收拍摄条件不同所引起的检查图像的差，或具有各检查工序中能共同使用的过滤模型，能进行高效率的检查。缺陷检查系统(100)具有：缺陷检测部(104)，比较检查图像(4)和不具有缺陷的图像即参照图像来...

本发明提供蚀刻处理方法以及蚀刻处理装置。蚀刻处理方法中，将形成有氮化钛膜(1)的晶片(8)载置到真空容器(11)内部的处理室(7)内的晶片载台(9)上，具有如下工序：对晶片供给氯自由基，从而在氮化钛膜的表面形成改性层(6)；和加热晶片，...