本发明专利技术提供带电粒子束图像处理装置和具备其的带电粒子束装置。提供能对包含线条图案的边缘的观察像设定适当的检查区域的带电粒子束图像处理装置。带电粒子束图像处理装置对带电粒子束装置所生成的观察像进行图像处理，特征在于，具备：提取部，其从所述观察像的检查区域提取线条图案的边缘；分割部，其将所述检查区域分割成具有多个测量点数的区划；测量部，其在所述区划的各自中测量线条边缘粗糙度，生成每个区划的线条边缘粗糙度的分布数据；算出部，其算出所述检查区域的全域中的线条边缘粗糙度，算出每个区划的线条边缘粗糙度的理论曲线；和判定部，其基于所述分布数据与所述理论曲线的比较，来判定所述检查区域是否适当。适当。适当。
【技术实现步骤摘要】
带电粒子束图像处理装置和具备其的带电粒子束装置
[0001]本专利技术涉及带电粒子束图像处理装置，其进行用于半导体的线条图案检查中的带电粒子束装置所生成的观察像的图像处理。
技术介绍
[0002]带电粒子束装置是通过将电子束等带电粒子束照射到样品来生成用于观察样品的微细的构造的观察像的装置，用在半导体的制造工序等中。在半导体的制造工序中，作为半导体的线条图案的边缘的凹凸的LER(Line Edge Roughness，线条边缘粗糙度)的测量是重要的。
[0003]在专利文献1中，公开了基于理论上的依据来测量LER的摇摆。具体地，公开了：算出在比线条图案的观察像的检查区域短的测量区域内测量的多处边缘的LER的空间频率分布，基于所算出的空间频率分布来算出检查区域的LER。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：JP特开2008
‑
116472号公报
[0007]但在专利文献1中，停留在边缘群的周期性的评价，尚未达到边缘群的连续性的评价。即，由于过宽的检查区域，若边缘群中的边缘的间隔变粗，就无法保持边缘群的连续性，线条边缘粗糙度的测量精度就会降低。
技术实现思路
[0008]因此，本专利技术目的在于，提供能对包含线条图案的边缘的观察像设定适当的检查区域的带电粒子束图像处理装置。
[0009]为了达成上述目的，本专利技术是一种带电粒子束图像处理装置，对带电粒子束装置所生成的观察像进行图像处理，所述带电粒子束图像处理装置特征在于，具备：提取部，其从所述观察像的检查区域提取线条图案的边缘；分割部，其将所述检查区域分割成具有多个测量点数的区划；测量部，其在所述区划的各自中测量线条边缘粗糙度，生成每个区划的线条边缘粗糙度的分布数据；算出部，其算出所述检查区域的全域中的线条边缘粗糙度，并算出每个区划的线条边缘粗糙度的理论曲线；和判定部，其基于所述分布数据与所述理论曲线的比较，来判定所述检查区域是否适当。
[0010]专利技术的效果
[0011]根据本专利技术，能提供能对包含线条图案的边缘的观察像设定适当的检查区域的带电粒子束图像处理装置。
附图说明
[0012]图1是表示实施例1的带电粒子束图像处理装置的整体结构的一例的图。
[0013]图2是表示带电粒子束装置的整体结构的一例的图。
[0014]图3是说明适当的检查区域和采样间隔的图。
[0015]图4是表示实施例1所涉及的处理的流程的一例的图。
[0016]图5是说明分布数据与理论曲线的比较的图。
[0017]图6是表示警告采样间隔不适当的警告画面的一例的图。
[0018]附图标记的说明
[0019]1：带电粒子束图像处理装置、2：运算部、3：存储器、4：存储装置、5：网络适配器、6：系统总线、7：显示装置、8：输入装置、10：带电粒子束装置、11：带电粒子束图像数据库、101：电子束源、102：一次电子束、103：物镜、104：偏转器、105：样品、106：可动载台、108：二次电子、112：检测器、115：图像处理部、116：输入输出部、117：存储部、119：控制部、121：光轴
具体实施方式
[0020]以下按照附图来说明本专利技术所涉及的带电粒子束图像处理装置的实施例。另外，在以下的说明以及附图中，对具有相同功能结构的构成要素标注相同附图标记，由此省略重复说明。
[0021]【实施例1】
[0022]图1是表示带电粒子束图像处理装置1的硬件结构的图。带电粒子束图像处理装置1构成为通过系统总线6而能信号收发地连接运算部2、存储器3、存储装置4、网络适配器5。此外，带电粒子束图像处理装置1经由网络9与带电粒子束装置10、带电粒子束图像数据库11能信号收发地连接。进而，在带电粒子束图像处理装置1连接显示装置7和输入装置8。在此，所谓“能信号收发地”表示与有线、无线无关地，能电地、光学地相互或从一方向另一方进行信号收发的状态。
[0023]运算部2是控制各构成要素的动作的装置，具体地，是CPU(Central Processing Unit，中央处理器)、MPU(Micro Processor Unit，微处理器单元)等。运算部2将存放于存储装置4的程序、程序执行所需的数据载入到存储器3并执行，来对带电粒子束图像实施各种图像处理。存储器3存储运算部2所执行的程序、运算处理的中途过程。存储装置4是存放运算部2所执行的程序、程序执行所需的数据的装置，具体是HDD(Hard Disk Drive，硬盘驱动器)、SSD(Solid State Drive，固态硬盘)等。网络适配器5用于将带电粒子束图像处理装置1连接到LAN、电话线路、因特网等网络9。运算部2所处置的各种数据可以经由LAN(Local Area Network，局域网)等网络9与带电粒子束图像处理装置1的外部进行收发。
[0024]显示装置7是显示带电粒子束图像处理装置1的处理结果等的装置，具体是液晶显示器、触控面板等。输入装置8是操作者对带电粒子束图像处理装置1进行操作指示的操作设备，具体是键盘、鼠标、触控面板等。鼠标也可以是跟踪板、轨迹球等其他指向设备。
[0025]带电粒子束装置10是通过将带电粒子束照射到样品来生成用于观察样品的观察像的装置，例如是通过用电子束扫描样品来生成观察像的扫描电子显微镜(SEM；Scanning Electron Microscope)。带电粒子束图像数据库11是存储由带电粒子束装置10生成的观察像、对观察像实施图像处理而得到的修正图像等的数据库系统。
[0026]使用图2来说明作为带电粒子束装置10的一例的扫描电子显微镜的整体结构。另外，在图2中，将与纸面垂直的方向设为X轴，将纵向设为Y轴，将横向设为Z轴。扫描电子显微镜具备电子束源101、物镜103、偏转器104、可动载台106、检测器112、图像处理部115、输入
输出部116、存储部117、控制部119。以下说明各部。
[0027]电子束源101是将由给定的加速电压加速的一次电子束102照射到样品105的射线源。
[0028]物镜103是用于使一次电子束102在样品105的表面会聚的会聚透镜。在许多的情况下，物镜103使用具有线圈和磁极的磁极透镜。
[0029]偏转器104是产生使一次电子束102偏转的磁场、电场的线圈、电极。通过使一次电子束102偏转，对样品105的表面用一次电子束102进行扫描。另外，将电子束源101和物镜103的中心连起来的直线被称作光轴121，未通过偏转器104偏转的一次电子束102沿着光轴121向样品105照射。
[0030]可动载台106保持样品105，并使样品105在X方向以及Y方向上移动。
[0031]检测器112是检测从被照射一次电子束102的样品105放出的二次电子108的检测器。检测器112使用由闪烁体/光导/光电子倍增管构成的E
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种带电粒子束图像处理装置，对带电粒子束装置所生成的观察像进行图像处理，其特征在于，具备：提取部，其从所述观察像的检查区域提取线条图案的边缘；分割部，其将所述检查区域分割成具有多个测量点数的区划；测量部，其在所述区划的各自中测量线条边缘粗糙度，生成每个区划的线条边缘粗糙度的分布数据；算出部，其算出所述检查区域的全域中的线条边缘粗糙度，并算出每个区划的线条边缘粗糙度的理论曲线；和判定部，其基于所述分布数据与所述理论曲线的比较来判定所述检查区域是否适当。2.根据权利要求1所述的带电粒子束图像处理装置，其特征在于，所述判定部在所述分布数据的线条边缘粗糙度的最大值处于根据所述理论曲线求得的上限...
【专利技术属性】
技术研发人员：人见敬一郎，川崎贵裕，
申请(专利权)人：株式会社日立高新技术，
类型：发明
国别省市：
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