本发明判定所安装的吸头与分注量是否相符，以防止分注装置内的污染。具备：进行吸引和排出的移液器机构(108、109)、驱动移液器机构的发动机(102)、以及检测移液器机构的压力的压力传感器(113)，在移液器机构安装分注吸头(110)，控...

本发明的目的在于提供一种自动分析装置，在抑制空间上的限制的同时，使已使用过的反应容器顺畅地废弃。本发明的自动分析装置包括：容纳使用过的容器的容纳部；将所述容器沿垂直方向引导至所述容纳部的中空的废弃筒；容器把持机构，该容器把持机构通过使多...

本发明提供能够在处理室内壁面形成堆积膜，并且抑制向搬运系统的污染的扩散的等离子体处理方法。在处理室内对载置于试样台的试样进行等离子体处理的等离子体处理方法包括：第一工序，使用等离子体将所述处理室内的堆积物去除；第二工序，在所述第一工序后...

本发明涉及图像处理系统及图像处理方法，目的在于：兼顾对使用了识别器的图像识别所使用的对照图像进行学习的图像处理系统的数据量的抑制和识别器的识别性能提高。为了达到上述目的，提出一种具备使用对照图像来识别图像的识别器(9)的图像处理系统，该...

本发明的目的在于迅速且高精度地取得多层构造的深度信息。解析系统具备如下步骤：(a)从第一方向对包含多层构造的试样SAM照射电子束(EB1)，由此取得从第一方向观察到的试样(SAM)的第一拍摄像；(b)从与第一方向交叉的第二方向对试样SA...

提供能抑制向纵向的蚀刻并实现平坦的蚀刻加工的等离子处理方法。在对构成金属栅极且两侧与绝缘膜相接的氮化钛(TiN)膜进行等离子蚀刻的等离子处理方法中，具有如下工序：使用利用三氯化硼(BCl3)气体、氮(N2)气体与三氟化氮(NF3)气体的...

提供一种在通过机器学习来进行低画质图像的画质改善的画质改善系统以及画质改善方法中，对于每次拍摄时图像容易变化的试样，也能够以适当的示教信息进行学习的高精度且高可靠性的画质改善系统以及画质改善方法。一种画质改善系统，其进行低画质图像的画质...

提供能根据峰值的形状的特征分配适当的元素并能进行高精度的波长辨识的等离子处理装置、数据解析装置以及半导体装置制造系统。等离子处理装置具备：处理室，其对样品进行等离子处理；高频电源，其供给用于生成等离子的高频电力；和样品台，其载置所述样品...

本发明的目的在于，提供能减少腔室内的反应生成物、残留HF的技术。半导体制造装置具备：导入口，其对处理容器内部的处理室内导入包含氟化氢以及醇的蒸汽的处理用的气体；样品台，其配置于所述处理室内，在其上表面装载处理对象的晶片；和导入机构，其对...

本发明提供一种载置台装置和具备载置台装置的带电粒子束装置，能够在悬浮型载置台中确保样品的足够的位置精度。载置台装置(100)包括：在Y轴方向上移动的下层载置台(20)；从下层载置台(20)浮起、至少在与Y轴方向正交的X轴方向上移动的上层...

本发明提供一种超声波清洗机，从多个振动面照射超声波，以同相位照射超声波，在喷嘴的周围有效地产生由超声波振动引起的空化，清洗效果较好。本发明的超声波清洗机包括：清洗槽，该清洗槽对用于吸引样品或试剂的喷嘴进行清洗；以及超声波振荡器，该超声波...

本发明提供一种样品停止时的位置精度较高、能够调整停止时的精细位置的样品输运装置、样品分析系统和样品前处理装置。本发明的样品输运装置(1a)包括设置有永磁体(10)的样品、利用永磁体(10)输运样品的输运路径、设置在输运路径的与输运样品的...

本发明提供了能够准确且高速地定位顶台相对于镜筒的位置的平台装置以及具有该平台装置的带电粒子束装置。本发明所涉及的带电粒子束装置包括第一移动台以及配置在所述第一移动台的上方的第二移动台，测量样品室和所述第一移动台之间的第一相对位置、所述样...

本发明使用一种错误原因推断装置，包括：数据预处理部，其使用处理对象数据生成具有适于输入到机器学习模型的格式的训练数据；和模型树生成部，其以训练数据作为输入而生成用于检测错误的学习模型即错误检测模型，并生成利用以错误检测模型为节点的树结构...

对在半导体处理中可能产生的复杂的形状实施高精度的拟合。形状模型是在由相互正交的x轴以及y轴定义的xy平面中，在作为一个以上的椭圆与一个以上的线段的组合的图形的周缘上，从起点到终点进行了一笔画的曲线，基于表示以形状模型中的奇异点为基准而确...

本发明的目的在于提供一种能够进一步减少操作者的手动作业的自动分析装置。本发明的自动分析装置包括：驱动机构，该驱动机构进行驱动以利用收纳在收纳构件中的检体或试剂；以及控制部，该控制部控制所述驱动机构，具有通信部，该通信部与进行所述收纳构件...

本发明提供一种自动分析装置，通过使试剂更换作业时的吸引喷嘴升降自动化，解决手动时产生的技术问题，并且减轻作业人员的作业负担。该自动分析装置包括：设置有系统试剂容器的设置板、从系统试剂容器吸引试剂的液体吸引部、与液体吸引部耦合并能够在试剂...

诊断装置使用来自对样品进行等离子处理的等离子处理装置中具备的状态传感器的信息来诊断构成所述等离子处理装置的部件的劣化状态，具备如下要素而构成：执行部，其基于来自状态传感器的信息来运算并求取构成等离子处理装置的部件的劣化度；和分析部，其设...

本发明提供一种用于评价被测者的癌症的癌症检查方法以及癌症检查系统。具体而言，本发明提供一种被测者的癌症检查方法，其包括：准备数据库，该数据库存储有针对多个健康者和癌症患者登记了多个癌症标记的信息的标记面板，在各癌症标记的测定值中，将健康...

本发明提供一种自动分析装置，其具备：设于试剂盘(9)的肋(300)、或者设于试剂搭载部(103)的肋(400)；设置于试剂搬送机构(101)，且探测肋(300、400)的反射型的传感器(200)；以及基于由反射型的传感器(200)探测到...