凹面衍射光栅的制造方法及光学装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种高精度地制造具有均匀的衍射光栅图案的凹面衍射光栅的技术。本公开的凹面衍射光栅的制造方法包括如下步骤：准备具有光栅槽、以及形成于成为凹面衍射光栅的模具的区域外的伸长部、薄膜部或低摩擦部的平面衍射光栅；将所述平面衍射光栅安装于凸面基板来取得所述凹面衍射光栅的模具；以及将所述模具的所述光栅槽转印于凹面基板。的所述光栅槽转印于凹面基板。的所述光栅槽转印于凹面基板。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】凹面衍射光栅的制造方法及光学装置


[0001]本公开涉及一种凹面衍射光栅的制造方法及光学装置。

技术介绍

[0002]作为分光光度计的光学元件的凹面衍射光栅具有光的分光及会聚这两种性能，因此能够减少部件个数，能够使装置的结构简便。
[0003]以往，通过在凸面基板上用刻线机等机械刻印光栅槽的方法制作衍射光栅的模具，将刻印的光栅槽转印到树脂或金属等上，由此制造凹面衍射光栅。
[0004]作为凹面衍射光栅的制作方法，在专利文献1中记载了“一种凹面闪耀(blaze)型衍射光栅的制造方法，在该凹面闪耀型衍射光栅的制造方法中，通过对形成有格子状的光致抗蚀图案的表面为凹面的基板照射离子束，从而在该凹面形成截面锯齿状的光栅槽图案，其特征在于，从一个点状或线状的基点呈放射状放射离子束，以收敛于所述离子束的放射范围内的方式、并且以使所述凹面内的任意点处的法线矢量与从该点朝向所述基点的方向矢量所成的角成为锐角的方式配置所述基板”(参照该文献的权利要求1)。
[0005]在专利文献2中记载了“一种曲面衍射光栅的制造方法，其特征在于，该曲面衍射本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种凹面衍射光栅的制造方法，其特征在于，所述凹面衍射光栅的制造方法包括如下步骤：准备具有光栅槽、以及形成于成为凹面衍射光栅的模具的区域外的伸长部、薄膜部或低摩擦部的平面衍射光栅；将所述平面衍射光栅安装于凸面基板来取得所述凹面衍射光栅的模具；以及将所述模具的所述光栅槽转印于凹面基板。2.根据权利要求1所述的凹面衍射光栅的制造方法，其特征在于，在将所述平面衍射光栅安装于所述凸面基板时，在所述平面衍射光栅的端部且所述伸长部的区域外被固定的状态下，所述凸面基板被按压在所述平面衍射光栅，所述伸长部伸长。3.根据权利要求1所述的凹面衍射光栅的制造方法，其特征在于，所述薄膜部形成于所述平面衍射光栅的端部，在将所述平面衍射光栅安装于所述凸面基板时，在所述薄膜部的至少一部分被固定的状态下，所述凸面基板被按压于所述平面衍射光栅。4.根据权利要求1所述的凹面衍...

【专利技术属性】
技术研发人员：青野宇纪，江畠佳定，八重樫健太，松井繁，
申请(专利权)人：株式会社日立高新技术，
类型：发明
国别省市：