株式会社日立高新技术专利技术

株式会社日立高新技术共有2368项专利

  • 本公开的电泳装置的特征在于,具备:样品的电泳路径;分光元件,其对来自所述电泳路径内的所述样品的光进行分光;光检测器,其对由所述分光元件分光后的光进行检测;以及运算部,其基于来自所述光检测器的信号,求出所述光的光谱,所述运算部使用针对每个...
  • 等离子处理装置以及方法对配置于真空容器内部的处理室内的处理对象的晶片使用在该处理室内形成的等离子进行处理,在该等离子处理装置以及方法中,在所述处理对象的晶片的处理中的给定的多个时刻从所述晶片表面接受多个波长的光,在使用将表示该接受到多个...
  • 本发明提供一种能够抑制空气层的分裂并获得较高的分注精度的分注控制方法和分注装置。自动分析装置包括用于对分注液体(23)进行分注的喷嘴(20);产生用于控制喷嘴(20)中的与分注液体(23)的吸引或排出有关的流速的压力变动的注射器马达(2...
  • 本发明的目的在于提供一种自动分析装置,其提高了搬出和搬入流动池时的作业性。本发明的自动分析装置包括:光电子倍增管;基板,该基板配置在所述光电子倍增管的垂直方向下方;及流动池,该流动池配置在所述基板的垂直方向下方,所述基板的下表面具有凸部...
  • 制造具备全环栅(Gate All Around)型场效应晶体管(Field effect transistor)的半导体装置的半导体装置制造方法,具有:将n型沟道的有机膜除去的工序;将沟道间的底面的功函数控制金属膜除去的工序;在p型沟道...
  • 本发明提供一种自动分析装置,用于缩短校准或精度管理中的确认时间。自动分析系统包括:分析装置,其构成为进行基于性质已知的标准检体的测量值和检体的测量值之间的相对关系来导出与所述检体有关的性质的分析;以及显示装置,其显示与使用所述标准检体对...
  • 本发明提供在保证原子层等级的高加工尺寸控制性、图案深度方向上的高均匀性、以及与氧化硅的高选择性的状态下能够以高蚀刻速率蚀刻加工氮化硅膜的蚀刻方法以及蚀刻装置。蚀刻方法包括:第一工序,在所述第一工序中,通过将具有氢的蚀刻剂向表面露出氮化硅...
  • 本发明提供一种能够在短时间内高效地求出装置的最佳参数的带电粒子束装置。本发明的带电粒子束装置具备:电子枪(1),其向试样(10)照射电子束(2);图像处理部(901),其根据因电子束(2)从试样(10)产生的信号(12)得到试样(10)...
  • 本发明的电磁阀异常检测装置能用基于电磁阀的驱动电流信息的特征量高精度地推定电磁阀的打开状态。电磁阀异常检测装置(30)根据电流传感器(31)检测的电磁阀(10)的伴随电磁阀打开的驱动电流模式来检测电磁阀异常,包括:求出预定检测期间内的电...
  • 本公开的目的是提供一种自动分析装置,在制作新的混合液时,能够减轻以前制作的混合液的影响。本公开的自动分析装置构成为在制作第一混合液之后制作第二混合液,基于所述第一混合液的特性,将用于减轻在制作所述第二混合液时残留在混合液室内的所述第一试...
  • 本公开目的在于提出如下技术:能不引起带颜色标签的颜色的误提取所导致的分析对象区域的提取精度的降低而取得分析对象的区域和颜色信息,进行判别检体的液量的测定和检体类别的判别。本公开所涉及的生物体检体解析装置从生物体样品管的彩色图像裁出部分区...
  • 本发明提供用于推定精度管理物质的测定值的变动原因的自动分析装置。本发明是用于分析检体的自动分析装置,其特征在于,包括:获取用于精度管理的精度管理物质的测定值的变动量的获取部、基于用于校准的校正液的浓度值的批次变更前后的差分值计算变动预测...
  • 针对将半导体处理装置的控制参数作为输入并输出表现由半导体处理装置加工过的半导体样品的加工形状的形状参数的机器学习模型,推荐获得学习数据的实验要点。根据机器学习模型的学习所使用的学习数据的控制参数的值即特征量数据,评价每个控制参数对机器学...
  • 错误原因的推定装置具备:特征量生成部,其使用从外部发送的数据来生成适合于机器学习模型的特征量;模型数据库,其具有至少一个以上的错误预测模型,该错误预测模型将特征量作为输入数据而用于有无错误产生的判定;模型评价部,其将错误预测模型的预测结...
  • 为了提供使处理中的晶片的电位稳定且使处理的成品率提升的等离子处理装置,等离子处理装置具备:处理室,其配置于真空容器内部,在内侧形成等离子;晶片载台,其配置于该处理室内部,在其上载置有处理对象的晶片;静电卡盘,其包含配置于覆盖该晶片载台上...
  • 本发明提供一种自动分析装置,即使在产生了局部的温度变动的情况下也能够适当地控制培养箱的大部分的温度。一种分析检体的自动分析装置,其特征在于,具备:培养箱,其保持容纳所述检体和试剂的混合液的多个容器;热源,其对所述培养箱进行加热或冷却;多...
  • 等离子处理装置具备:在上方具备微波所透过的电介质板且对样品进行等离子处理的处理室;供给所述微波的高频电力的高频电源;使从所述高频电源经由波导管传输的微波谐振且配置于所述电介质板的上方的空腔谐振器;和在所述处理室内形成磁场的磁场形成机构,...
  • 本发明提供一种缺陷检查装置以及缺陷检查方法,其在合成图像中能够检查多种多样的缺陷种类。该缺陷检查装置将来自第一检测器的第一检测信号和来自第二检测器的第二检测信号以第一合成比率进行合成而生成第一合成图像,并且将所述第一检测信号和所述第二检...
  • 本发明的目的在于提供一种自动分析装置,其能够抑制试剂保冷箱内的结露的产生,并且能够立即排出通过导入外部气体而产生的结露水。本发明在具备对多个试剂容器进行保冷并储存的试剂保冷箱的自动分析装置中,所述试剂保冷箱具有:排水管,其排出在所述试剂...
  • 本发明提供一种即使在检体容器上没有粘贴条形码标签的情况下也能够检测检体容器的自动分析装置。具备:试剂检体盘(11),其在外周部具有载置收纳分析对象的检体的检体容器(13)的载置部(15);二维码(12),其配置于载置部的背面位置的试剂检...