本公开提供一种能够在不影响带电粒子束的控制的情况下进行基于等离子体的带电去除或控制的带电粒子束装置。本公开的带电粒子束装置具备：带电粒子束光学系统，其对试样照射带电粒子束；试样室，其具备载置试样的工作台；等离子体生成装置，其生成向工作台...

载玻片供给收纳单元(1)具备：供给部(10)，其能够以在Z方向上层叠多个载玻片托盘(2)的方式搭载多个载玻片托盘(2)；以及移动机构(TM1)，其使搭载于供给部(10)的多个载玻片托盘(2)个别地向X方向移动。多个载玻片托盘(2)各自能...

本发明的衍射光栅的制造方法和复制衍射光栅的制造方法中，首先，准备在其表面(FS1)上具有图案(1b)的晶片(1a)，该图案(1b)形成凹部和凸部交替配置的形状。接下来，在晶片(1a)的表面(FS1)上形成金属膜(3)，在金属膜(3)的表...

本发明的试样液体雾化装置具备：超声波试样液体雾化单元(5)，其具备产生超声波振动的激振部(3)；被激振部(3)激振的振动面(1)；具备振动面(1)的振动部件(2)以及向振动面(1)供给试样液体(7)的配管(7a)，而且通过振动面(1)的...

本发明提供一种诊断系统，对设置于自动分析装置且输出模拟的电信号的传感器进行诊断，所述诊断系统具有：存储器，其存储所述传感器输出的电信号的数据及所述传感器的更换履历；以及处理装置，其对记录于所述存储器的数据进行处理，所述处理装置从所述存储...

本发明提供一种能够高效地处理多个类别的分析的技术。自动分析装置具备：机构，其用于进行针对检体的多个分析类别的分析；处理器，其接受基于用户的输入的检体的分析委托信息，并基于分析委托信息控制机构以进行所指定的分析类别下的分析的动作，来进行分...

本公开的目的是提供一种自动分析装置的控制方法，其能够在抑制如有机溶剂等那样严格管理废弃量的溶剂的废液量的同时，提高废液处理的吞吐量。本公开的自动分析装置的控制方法获取关于导入到反应容器的液体中包含的有机溶剂的量的信息，并根据该信息决定是...

在向反应容器内的反应液照射光并进行透射光等的光量测定的情况下，因由振动所导致的反应容器的晃动而产生光轴偏移，使测定精度降低。在具有搭载反应容器(112)的多个反应容器设置孔(201)的加热块(200)具备对反应容器施力的扭转螺旋弹簧(3...

设置于进行等离子体处理的处理室的内壁的内壁构件(40)具备基材(41)、阳极氧化膜(42a)以及喷镀膜(42b)。基材(41)具有表面(FS1)、位于比表面(FS1)高的位置的表面(FS2)以及侧面(SS1)。内壁构件(40)的再生方法...

为了在用户的机器学习的专门的知识不是必需的情况下，能够活用对于从所蓄积的大量的参考处理数据之中搜索目标处理条件来说最佳的参考处理数据，搜索装置通过使用学习模型来预测与半导体制造装置的所期望的处理结果对应的制造条件，从而搜索与所期望的处理...

提供一种等离子处理装置的技术，能够通过使气体配管的排气作业自动化，来减少误操作。等离子处理装置具备：配置在储气瓶与质量流量控制器之间的第1阀；用于将填充的气体从干式泵侧排气的第2阀；配置在质量流量控制器的下游侧的第3阀；用于将在第3阀侧...

本发明的目的在于，提供在覆盖自动分析装置中使用的大范围的波段的同时使光量稳定化的光源和自动分析装置。而且，本发明的光源具备：基板；第一LED，其被设置在所述基板上；荧光体，其将所述第一LED的激励光转换为宽带光，将温度传感器与所述第一L...

辅助检查技师间的交流，促进检查技师间的协作。因此，针对自动分析装置的警报，基于从进行了应对预定者登记的第一移动设备(102A)定期发送的传感器数据(203A)，推定保持第一移动设备的第一检查技师的包含所在位置和动作在内的现状，基于从进行...

本发明提供能够高精度地检测用于分注的管嘴的前端部的位置并能够精度良好地调整管嘴的位置的自动分析装置。基于本发明的自动分析装置具备：分注机构(14、15)，其具备用于分注试剂或检体的管嘴(21、22)以及使管嘴(21、22)移动的分注臂(...

本发明提供一种成品率高、尺寸适当的纳米孔。为此，本公开提出了一种纳米孔形成方法，其为在薄膜上形成纳米孔的纳米孔形成方法，包括向通过薄膜绝缘的第一溶液槽和第二溶液槽导入第一pH的水溶液、确保上述薄膜表面的亲水性、在确保薄膜表面的亲水性后用...

本发明提供一种从一幅图像检测分注装置的喷嘴的前端与目标停止位置在两个方向上的偏离量的技术。本公开的摄像装置设置于分注装置，该分注装置具有用于吸引和排出液体的喷嘴、以及保持喷嘴并通过旋转动作来移动喷嘴的臂，该摄像装置包括：具有摄像元件和透...

本发明的目的是提供一种自动分析装置，其通过以高灵敏度检测清洗水量的变化来提高清洗液量的调节精度。本发明的自动分析装置包括：分注机构，该分注机构包含将试料或试剂分注到反应容器中的分注探针；清洗喷嘴，该清洗喷嘴向所述分注探针排出清洗液；以及...

将根据所述分析装置对试样的检测结果而生成的包含至少一个项目的数据输出信息与基准数据输出信息进行比较，对判定为异常状态的数据输出信息的项目赋予数据警报，并且将根据设置在分析装置的传感器的检测结果而生成的包含至少一个项目的系统输出信息与基准...

对配置在平面上的多个测定对象进行拍摄的拍摄系统具有：光源，其对所述多个测定对象照射光；光检测器，其检测来自所述多个测定对象的光；1个以上的透镜；调整机构，其使拍摄的焦点对准所述多个测定对象；以及驱动机构，其变更所述光检测器与所述多个测定...

公开了一种用于相对于金属氮化物蚀刻金属碳化物的连续或循环蚀刻方法。该蚀刻方法包括以下步骤：将由包含N<subgt;2</subgt;和H<subgt;2</subgt;且不包含包括氟、氯、溴和碘的卤素气体的气体混...