提供能以高的精度检测半导体晶片的温度的温度检测装置。控制器在将光检测器中测定的光的光谱归一化时，将相当于绝对零度下的半导体的带隙能量的波长设为极小波长，将与极小波长相比短波长区域中的光强度的最小值确定为极小值，将相当于设想为温度测定范围...

毛细管电泳装置具有：光源；多个毛细管；光检测部；以及一方的端面与所述毛细管中的任一个关联地配置，另一方的端面与所述光检测部连接的多个检测用光纤，所述光检测部选择性地检测所述检测用光纤的中心部的光。

本公开为了降低信号检测装置内外的干扰传播噪声的影响，提高信号检测精度，提出一种信号检测装置，具备：检测器，其包含将作为检测对象的光子转换为电流信号的光电转换元件和将电流信号转换为电压信号的电流

本公开的目的是，以病理检查中的精度管理为目的，以可抑制通过对照物质的染色产生的染料流出的方式，提供具备对照物质的对照载玻片

本公开的生物体分子分析方法的特征在于，包括：准备生物体分子分析设备，该生物体分子分析设备具备具有纳米孔的薄膜

在本发明中，提供一种等离子处理方法，即使在沟槽的深度变大的情况下也能够将处理对象的膜向横向均匀地除去

提供一种等离子处理装置

本公开提供一种高精度地判定在同时分注多种液体时产生的异常的技术

以往，在光散射检测法中偏离定量范围的高浓度检体需要再检，需要长的测量时间

本发明的目的在于，使在吸光度分析中使用的

提供一种自动化学分析装置

本发明提供一种试样检查装置，能够确定电容性不良

为了能通过维持从晶片表面除去的电荷量并有效率地进行除去来进行高精度的等离子处理，等离子处理装置具备：对样品进行等离子处理的处理室；供给用于生成等离子的高频电力的第一高频电源；载置样品的样品台；对样品台供给高频电力的第二高频电源；对样品台...

反应容器废弃单元

一种深度测量系统，具备多个深度测量装置，多个深度测量装置分别计算表示试样上的图案的相对深度的深度指标值，其中，多个深度测量装置被划分为1台基准装置

试样检查装置

提供了一种能够在蚀刻设置在蚀刻掩模下方的目标材料的单步骤处理期间控制蚀刻掩模形状的等离子体处理方法和装置

本发明涉及缺陷检查装置，提供在检查时不使用设计数据，对噪声、制造误差稳健的缺陷检查装置。缺陷检查装置具备：特征量计算部，其基于试样的拍摄图像来计算特征量；图像信息削减部，其通过削减所述特征量的信息量来生成潜在变量；统计量推定部，其基于所...

本发明的目的在于提供一种在测定分离为多个成分区域的生物试样时，能够不使用大型的拍摄机构而高精度地确定作为测定对象的对象部分的技术

在输送砖