本发明提供具有

本发明提供一种自动分析装置，其能够抑制在用于清洗分注探针的贮存槽中清洗液中的溶质的析出

本发明提供即使装置周边的气压变动也能够抑制灵敏度下降的质量分析装置及其控制方法

一种真空处理装置，其具备：真空处理单元，其具有真空容器，所述真空容器处理被搬运到减压了的内部的处理对象的晶片；锁定室，其在内部搬运处理前或处理后的晶片；大气搬运单元，其包括壳体，所述壳体具有大气搬运室，所述大气搬运室与该锁定室连接，并且...

本发明提供一种能够抑制姿态误差且能够进行高速定位的载置台装置、以及使用了该载置台装置的带电粒子束装置和真空装置。载置台装置包括：用于设置定位的对象物的试样设置部；用于测量试样设置部在铅垂方向上的位移的标尺板；和支承标尺板的下轴载物台，在...

本发明的目的在于提供提高成品率的等离子体处理装置。等离子体处理装置具备：试样台基座，其配置于试样台的外周；压力传感器，其经由连结管和缓冲部而连接于试样台基座；加热器，其以使连结管、所述缓冲部的温度随着趋向所述压力传感器而变高的方式形成温...

本公开的目的在于提供一种带电粒子束系统，其能够使用因对试样照射光而产生的光的干涉、光的衍射、光的驻波等引起的观察图像上的特征量，得到与试样有关的信息。本公开的带电粒子束系统从试样的观察图像中提取因对试样照射光而产生的所述光的干涉、所述光...

对样品的碱基序列进行解析的基因解析装置将观测环境与迁移率校正量数据对应起来管理，所述迁移率校正量数据用于校正通过对样品进行电泳而取得的多个碱基的信号强度的时间序列数据的时间方向的位置，在接收到通过在第一观测环境下对样品进行电泳而取得的多...

本发明的目的在于提供一种能够抑制气体的团簇化、并稳定地供给气体的等离子处理装置。本发明的等离子处理装置之一是具备调整气体的流量的集成气柜和放电部的等离子处理装置，所述集成气柜具有气体块，该气体块具备：流路，流过所述气体；加热器，对所述流...

提供检测静电卡盘的膜的表面状态的异常的技术。在对具备载置静电吸附于膜的样品的样品台的半导体制造装置的状态进行诊断的诊断装置中，取得对样品投入的能量的变化前后的温度数据，根据所取得的所述温度数据来探测膜的异常。异常。异常。

静电卡盘(40)具有分别被电介质膜(41～45)覆盖的加热器(HT1)以及加热器(HT2)。加热器(HT2)被分成俯视观察下形成圆形状的区域(HT2a)、俯视观察下包围区域(HT2a)的外周的区域(HT2b)和俯视观察下包围区域(HT2...

本发明提供一种准确地推定横向的蚀刻量并基于推定出的蚀刻量来判定终点的等离子处理方法以及等离子处理装置。本发明所涉及的等离子处理方法是对晶片进行等离子处理的等离子处理方法，包含：第一步骤，向所述晶片照射光；第二步骤，在所述晶片的等离子处理...

在本发明中，其目的在于提供一种能够选择性地除去含金属层的控制性高的等离子处理方法。一种等离子处理方法，对在所形成的图案上成膜且被含碳膜覆盖的含金属膜进行等离子蚀刻，在除去含碳膜后，通过基于从等离子产生的自由基的蚀刻，来除去含金属膜。来除...

本发明准确地判定被输送体的输送速度降低的原因。输送装置具备：输送板，其能够沿着输送面输送被输送体；磁路部，其被配置在所述输送板的所述输送面的相反侧，并具有卷绕于齿的周围的绕组；位置检测部，其检测所述被输送体的位置；电流检测部，其检测所述...

本发明提供一种等离子处理方法，仅在图案内的所希望的材料上形成用于抑制蚀刻的保护膜，对图案进行蚀刻处理。对成膜于试样的被蚀刻膜进行等离子蚀刻的等离子处理方法具有：清洁化工序，对所述试样的表面进行清洁化；保护膜形成工序，在形成于所述被蚀刻膜...

提高能够填充液体试样的试样支架的性能。试样支架(200)具有：上侧片材(300)，其配置于电子束的照射侧；以及下侧片材(400)，其与上侧片材(300)对置配置。此时，试样支架(200)具备：隔膜(350)，其设置于上侧片材(300)；...

本发明提供一种改善压力测量的精度的压力传感器模块以及分注装置。压力传感器模块具备：流路基板，其形成有流路及分支路；以及应变检测部，其检测压力。所述分支路从所述流路分支并在一端与所述应变检测部连接，所述应变检测部以堵塞所述分支路的所述一端...

本公开的目的在于提出一种进行使用了适当的低品质图像和高品质图像的学习的学习方法。为了实现上述目的，提出了一种学习方法，将在第一图像生成条件下生成的第一图像和在与所述第一图像生成条件不同的第二图像生成条件下生成的第二图像输入到以抑制输入图...

即使在不能正确地提取与各子序列的开始和结束对应的监控信号的上升沿、下降沿的情形中，也能探测装置状态的异常。构成了装置诊断装置，以使得对从传感器得到的第一时间序列信号设定进行掩蔽的时间带，作成将与进行掩蔽的时间带对应的第一时间序列信号掩蔽...

实现一种能够自动检测注射泵单元中的柱塞的故障的自动分析装置。自动分析装置具备：试样分注机构，其具有液面检测功能，向液体收纳容器(11)排出试样；试剂分注机构(60)，其向液体收纳容器(11)排出试剂；以及控制部，其控制试样分注机构以及试...