一种重叠偏移量算出系统及方法，即便在位于不同层的图案之间的重叠偏移量较大的情况下，也稳定地执行重叠偏移量的准确测定。重叠偏移量算出系统具备控制部，根据通过向试料照射带电粒子束而得到的图像算出图案间的重叠偏移量，基于与第一模板图像的匹配，...

本发明的目的在于提供一种自动分析装置，其能够抑制装置的复杂化，并且能够分别确定发生异常的流路。为此，本发明的自动分析装置包括：液体流动的流路、监视所述流路的传感器、以及根据所述传感器的测定结果判定在所述流路流动的液体的异常的控制部，一个...

本发明的目的在于，提供一种兼顾高的氧化硅膜的蚀刻速率和低的氮化硅膜的蚀刻速率、以相对于氮化硅膜高的选择比高精度地蚀刻氧化硅膜的方法。因此，本发明的蚀刻处理方法是一种干式蚀刻方法，对于在配置于处理室内的晶片上预先形成的、氧化硅膜被氮化硅膜...

本发明提供一种载物台装置、带电粒子束装置以及光学式检查装置，能够降低伴随下方的工作台的旋转振动的浮起载物台(上方的工作台)的残留振动，能够提高生产率。该载物台装置具备能够在基座(106)上移动的第一工作台(104)、能够在第一工作台上浮...

本发明的自动分析装置包括：供水箱(53)；从供水箱(53)连接到自动分析装置(100)的各机构的供给流路(70)；从供水箱(53)经由供给流路(70)向各机构供水的供水泵(54)；检测供给流路(70)内的异常的检测器(61)；在设置于供...

本发明实现一种能够以廉价且简单的机构控制减压速度以抑制蒸发浓缩时的崩沸的蒸发浓缩机构。蒸发浓缩机构具备：反应容器(1)，其保持试样液；减压流路(2)，其与反应容器(1)连接；以及减压源(3)，其经由减压流路(2)与反应容器(1)连接并对...

本发明提供一种在具有并联地设有多个分析流路的液相色谱仪的自动分析装置的控制方法中，能避免溶剂更换引起的吞吐量降低及溶剂消耗量增加的控制方法。使用多个分析流路(105～107)中的任意个，决定是否在相互之间设置时间差来导入使用了种类互不相...

本发明的目的在于提供一种自动分析装置，其能够实现光源的长寿命化，并且在测定前使光量在短时间内稳定。因此，本发明的自动分析装置具备：光源，其具有波长不同的两个以上的LED元件；分析部，其基于照射到反应容器的光进行分析；以及电流调整部，其调...

一种自动分析系统，具备：多个自动分析装置；搬送线，其与所述多个自动分析装置连接；以及计算机，其控制所述搬送线而向所述多个自动分析装置分配检体，所述多个自动分析装置构成为包括始终使用的第一部件和间歇使用的第二部件，所述计算机将各自动分析装...

本发明的目的在于提供一种带电粒子束装置，其能够确定不调整加速电压就能够得到期望的带电状态的一次带电粒子的照射条件。本发明的带电粒子束装置确定试样的带电状态在带正电与带负电之间调换的带电粒子束的照射条件，根据确定的所述照射条件与取得试样的...

本发明提供一种在废液用管道中产生气泡时使逆流的废液不到达清洗槽的自动分析装置。自动分析装置包括：清洗槽，该清洗槽伴随着样本的分析动作，使用洗涤剂进行清洗；以及废液用管道，该废液用管道排出从所述清洗槽流出的废液，所述自动分析装置的特征在于...

本发明提供一种自由设定相对于行走面的纵向或横向尺寸且不影响自动分析装置的布局的自动分析系统。在自动分析装置的前面设置有轨道列(117)，搬运机器人(131)在轨道列(117)上移动。轨道列(117)对翻滚、俯仰、偏转旋转方向进行限制，从...

本发明实现一种能够节省资源及节省成本并且能够进行分析柱的调温的分析装置的柱盒。分析装置的柱盒(1)，具有：金属块(7、8)，其收纳液相色谱仪所使用的分析柱(10)；以及壳体(2、3)，其收纳所述金属块(7、8)。金属块(8)形成有与分析...

具备2个以上的生物化学分析装置(110)、免疫分析装置(210)，其具有固有识别信息以及与固有识别信息相关联的累积信息，并进行检体的分析；以及控制装置(300)，其控制生物化学分析装置(110)和免疫分析装置(210)的动作，并且管理各...

提供作业辅助系统、辅助方法及计算机可读记录介质。作业辅助系统具备与多台医疗设备进行通信，取得与各个该医疗设备有关的规定的信息的第一通信部；生成包含应该由医疗设备执行的一个或多个作业的作业列表的作业列表生成部及可与多台终端进行通信，将由作...

本发明的课题在于提高电泳装置的分析性能。为了解决上述课题，本发明的电泳装置具备：毛细管阵列，其具备毛细管、捆扎上述毛细管一端的毛细管头、保持设于上述毛细管另一端的电极的电极支架以及设于上述毛细管的检测部；第一加热部，其对毛细管进行加热；...

本发明包括：电解质测定部(11)、进行与电解质测定部(11)不同测定项目的测定的第二测定部、对电解质测定部(11)或第二测定部进行试样的分注的采样机构(5)、以及控制各设备的动作的控制部(13)，控制部(13)在通过采样机构(5)向第二...

本公开的目的在于提供一种质量分析装置及其控制方法，能够降低由交流电压的控制电路的发热引起的质量轴的偏移。本公开的质量分析装置具备被施加交流电压的四极电极(111)和控制所述交流电压的电压值的控制部(100)，在将所述四极电极(111)用...

能够在短时间内自动地校正基于分注机构与第一机构的相对位置的变动的位置偏移。因此，在具有使分注喷嘴移动的至少1个水平驱动轴和1个垂直驱动轴的分注机构、具有使分注喷嘴停止的停止位置的第一机构、以及进行分注喷嘴与第一机构的停止位置的对位的控制...

进行半导体处理装置(等离子处理装置)的诊断的装置诊断装置通过使用从具有基准腔室的半导体装置制造装置取得的数据进行运算处理，来将特征量映射到以多个参数为轴的二维以上的图表，作成基准腔室特征量映射数据(D107)。此外，装置诊断装置通过使用...