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株式会社日立高新技术专利技术
株式会社日立高新技术共有2367项专利
样本前处理系统技术方案
本发明涉及样本前处理系统。本发明提供一种样本前处理系统,该系统能在同一个开塞单元内对带橡胶制的塞的带塞样本容器的塞、带树脂制的塞的带塞样本容器的塞进行开塞。该样本前处理系统具有可装载带塞样本容器的样本架和输送样本架的输送线,其特征是,具...
自动分析装置制造方法及图纸
本发明提供一种自动分析装置,即使在同时测定浓度水平不同的多个项目时,也可以对各个项目实施精度良好的分析。使用通过照射而激发的物质作为附着在测定对象上的标识,使其具有可变动照射强度的功能,对每个分析项目或分析容器(1)调整照射强度,以控制...
电子显微镜制造技术
1.本外观设计产品的名称:电子显微镜。2.本外观设计产品的用途:本产品是将投射像显示在另外一体的显示装置上,并提供试样的放大图像的扫描式电子显微镜。3.本外观设计的设计要点:立体图所示的形状。4.指定图:立体图。5.参考图3中,G-开关...
电子显微镜制造技术
1.本外观设计产品的名称:电子显微镜。2.本外观设计产品的用途:本产品是将投射像显示在另外一体的显示装置上,并提供试样的放大图像的扫描式电子显微镜。3.本外观设计的设计要点:立体图所示的形状。4.指定图:立体图。5.参考图3中,G-开关...
电子显微镜制造技术
1.本外观设计产品的名称:电子显微镜。2.本外观设计产品的用途:本产品是将投射像显示在另外一体的显示装置上,并提供试样的放大图像的扫描式电子显微镜。3.本外观设计的设计要点:立体图所示的形状。4.指定图:立体图。5.参考图3中,G-开关...
电子显微镜制造技术
1.本外观设计产品的名称:电子显微镜。2.本外观设计产品的用途:本产品是将投射像显示在另外一体的显示装置上,并提供试样的放大图像的扫描式电子显微镜。3.本外观设计的设计要点:立体图所示的形状。4.指定图:立体图。5.参考图3中,G-开关...
衬底处理装置和平板显示器的制造装置制造方法及图纸
提供一种衬底处理装置和平板显示器的制造装置,通过省略检查工作台,实现装置构成的紧凑化和生产率的提高。为此,包括:在各处理工作台(20)中进行处理后把屏衬底(1)向下一个处理工作台(20)间距传送的可动轨(32);设置在处理工作台(20)...
有机EL器件制造装置、成膜装置及其成膜方法、液晶显示基板制造、定位装置及定位方法制造方法及图纸
本发明提供一种降低基板和掩模的挠曲或荫罩的翘曲的影响,能够高精度地蒸镀、或者通过将驱动部等配置在大气侧从而降低真空内的粉尘和气体的发生,生产性高或维修保养性高,工作效率高的有机EL器件制造装置或成膜装置。而且提供能够高精度地定位的定位装...
显示用面板曝光装置和曝光方法及显示用面板曝光装置的组装或调整方法制造方法及图纸
本发明提供一种曝光装置和液晶曝光方法,所述曝光装置能够加强加工和输送容易的分割状态的台架在组装中的连接强度,且该曝光装置容易组装,或者即使组装后也能够容易地调整从分割状态组装后的部位。设有中空的连接工作台,该连接工作台连接构成台架的多个...
显示面板组装装置及方法及处理作业装置及基板输送装置制造方法及图纸
本发明在显示面板模块组装装置中,能够以必要最小宽度连结各处理作业装置,缩短显示面板模块组装装置的装置全长。进而,提供能够将小型到大型基板的宽度宽的尺寸的基板以高精度且高速处理的显示面板模块组装装置。通过并列配置多个在一定方向尤其基板输送...
有机EL用掩模清洁装置及方法、有机EL显示器及其制造装置制造方法及图纸
本发明的目的是,在进行去除附着在有机EL用掩模上的蒸镀物的清洁时,以对基板完全非接触的状态,去除蒸镀物。本发明的掩模清洁装置用于去除附着在形成有若干开口部(4)的有机EL用掩模(2)上的蒸镀物质(20)。在有机EL用掩模(2)的表面,借...
有机EL设备制造装置和其制造方法以及成膜装置和成膜方法制造方法及图纸
本发明提供一种材料损伤小、经济性好、生产率高、运转率高的有机EL设备制造装置和/或其制造方法或成膜装置和/或成膜方法。本发明的有机EL设备制造装置,其特征在于,在真空腔内内存有N(N为2以上)张基板,在用所述蒸发源蒸镀第1张的第1基板的...
有机EL器件制造装置及其制造方法以及成膜装置及成膜方法制造方法及图纸
本发明提供一种具有设备组构造,能缩短生产线的长度,空间效率高的有机EL器件制造装置或其制造方法,或者成膜装置或成膜方法。其串联设有多个作为真空室的设备组,该设备组具备:具备将蒸镀材料蒸镀在衬底上的处理部的真空处理室,将上述衬底搬入或搬出...
ACF粘贴方法以及ACF粘贴装置制造方法及图纸
本发明提供一种ACF粘贴方法和ACF粘贴装置,其使得ACF对于基板作用均匀的加压力,平滑地进行粘贴动作。使得构成压接头(50)的支承刃(52)通过气缸(56)沿导轨(55)上升,与液晶面板(1)的背面相接,接着,使得加压机构(57)动作...
真空蒸镀方法及其装置制造方法及图纸
本发明提供有机EL器件制造装置以及成膜装置,所述有机EL器件制造装置能够在基板上形成均匀膜厚的薄膜,在有机EL器件的制造装置中,对于从将蒸发的蒸镀材料通过线上配置的多个喷嘴向真空槽内部排放的蒸发源的各个喷嘴排放的有机EL材料的蒸发量,通...
镀膜装置及镀膜方法制造方法及图纸
本发明涉及镀膜装置及镀膜方法。本发明的目的在于提供减少喷嘴及周边的清理频度,运转率高或可以均匀地镀膜的镀膜装置及镀膜方法。本发明的镀膜装置,具有真空蒸镀室,该真空蒸镀室具备使蒸发源移动的蒸发源移动机构,所述蒸发源使蒸发源内部所具有的蒸发...
镀膜装置与其蒸发源装置,及其蒸发源容器制造方法及图纸
本发明涉及镀膜装置、蒸发源装置,及其蒸发源容器。在真空内向被蒸镀基板表面包覆蒸镀材料的镀膜装置中使用的蒸发源装置具有加热箱(210),该加热箱在其外部具有加热器(71H),在其内部形成空间,在垂直方向层叠并容纳多个蒸发源容器(220);...
曝光装置制造方法及图纸
本发明涉及曝光装置。本发明的目的在于提供一种即使是向比大型化方向的掩模更大的基板的曝光,也不会复制微细的点图案的曝光装置。曝光装置具有:从下方向掩模架按压掩模(100)的掩模提升器(101);用于调整掩模的位置的掩模推进器(102);以...
热压接装置制造方法及图纸
本发明提供一种热压接装置。该热压接装置即便使加热压接工具的加热工具的设定温度高于以往,也能够防止或抑制由热量导致驱动部破损。热压接装置(1)包括承接台(3)、压接工具(11)、加热器(12)、气缸(13)和散热片(14)。压接工具(11...
LED光源、其制造方法、使用LED光源的曝光装置及曝光方法制造方法及图纸
本发明提供一种LED光源、其制造方法、使用LED光源的曝光装置及曝光方法,能够通过简单的结构,抑制多个发光元件安装基板之间的温度偏差,同时能够提高发光原家安装基板的散热特性。在LED光源中具备:将发光二极管(LED)芯片连接到形成于陶瓷...
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