有机ＥＬ用掩模清洁装置及方法、有机ＥＬ显示器及其制造装置制造方法及图纸

本发明专利技术的目的是，在进行去除附着在有机ＥＬ用掩模上的蒸镀物的清洁时，以对基板完全非接触的状态，去除蒸镀物。本发明专利技术的掩模清洁装置用于去除附着在形成有若干开口部（４）的有机ＥＬ用掩模（２）上的蒸镀物质（２０）。在有机ＥＬ用掩模（２）的表面，借助电流镜（１６）使得从激光光源（１５）发出的激光在Ｙ方向扫描，用移动部（１４）将掩模板（２）在Ｘ方向移动，这样，进行掩模板（２）整个面的扫描。在有机ＥＬ用掩模（２）的上方，由送风部（１７）和吸引部（１８）形成空气流（３０），借助激光扫描，使得将蒸镀物质（２０）破碎而变成的游离生成物（２１）向上方飞散，用空气流（３０）运送并除去，进行清洁。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及利用激光照射来进行有机EL用掩模的清洁的有机EL用掩模清洁装置、有机EL显示器的制造装置、有机EL显示器和有机EL用掩模清洁方法。
技术介绍
有机EL (Electro Luminescence)显示器，作为不需要背照光的电力消耗低、轻量薄型的图像显示装置被广泛采用。其构造是，在透明性的玻璃基板上叠置着有机EL薄膜层，有机EL薄膜层是用阳极层和阴极层将发光层夹入的构造。作为发光层，多数是把有机材料蒸镀在玻璃基板上形成为薄膜，把构成显示器的各像素的区域分割成三部分、蒸镀RGB三色的有机材料。因此，为了把不同颜色的有机材料(有机色材料料)蒸镀在各像素的3个区域，要釆用形成了多个开口部的有机EL用掩模(遮蔽掩模)进行蒸镀。 一边将该有机EL用掩模相对于每个像素间距错开， 一边蒸镀各色的蒸镀物质，这样，发光层的蒸镀工序完成。进行蒸镀工序时，有机材料不仅附着在玻璃基板上，也附着在有机EL用掩模上。有机EL用掩模不只是在一个蒸镀工序中使用，而是反复使用，所以，进行下一个蒸镀工序时，如果蒸镀物质附着在有机EL用掩模上，则蒸镀物质会附着到新的玻璃基板上。另外，在形成在有机EL用掩模上本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种有机ＥＬ用掩模清洁装置，用于去除附着在有机ＥＬ用掩模上的蒸镀物质，其特征在于，备有激光机构和去除机构；　上述激光机构对上述有机ＥＬ用掩模的表面照射激光，使得将上述蒸镀物质破碎而产生的游离生成物向上方飞散；　上述去除机构形成在 离开上述有机ＥＬ用掩模的表面的位置，用于去除上述游离生成物。

【技术特征摘要】
JP 2008-9-17 2008-237312;JP 2008-10-9 2008-2627911.一种有机EL用掩模清洁装置，用于去除附着在有机EL用掩模上的蒸镀物质，其特征在于，备有激光机构和去除机构；上述激光机构对上述有机EL用掩模的表面照射激光，使得将上述蒸镀物质破碎而产生的游离生成物向上方飞散；上述去除机构形成在离开上述有机EL用掩模的表面的位置，用于去除上述游离生成物。2. 如权利要求1所述的有机EL用掩模清洁装置，其特征在于，上述去除机构是形成空气流的空气流形成机构，该空气流运送并去除飞散的上述游离生成物。3. 如权利要求2所述的有机EL用掩模清洁装置，其特征在于，上述空气流是形成在离开上述有机EL用掩模表面的位置处的层流状态的空气流，具有沿上述有机EL用掩模表面的气流。4. 如权利要求2或3所述的有机EL用掩模清洁装置，其特征在于，备有使上述激光扫描上述有机EL用掩模的表面的激光扫描机构。5. 如权利要求2或3所述的有机EL用掩模清洁装置，其特征在于，备有使上述有机EL用掩模和上述激光机构相对地移动的相对移动机构。6. 如权利要求4或5所述的有机EL用掩模清洁装置，其特征在于，备有若干个对上述有机EL用掩模的不同区域分别照射激光的上述激光机构。7. 如权利要求3所述的有机EL用掩模清洁装置，其特征在于，上述空气流形成机构备有吸引机构，该吸引机构设在从上述有机EL用掩模离开为了形成层流状...

【专利技术属性】
技术研发人员：井崎良，片冈文雄，片桐贤司，韭泽信广，
申请(专利权)人：株式会社日立高新技术，
类型：发明
国别省市：JP[日本]