在现有技术中，通用的扫描电子显微镜中，可设定的最大加速电压低，因此在通常的高分辨率观察条件下可观察的晶体薄膜样本仅限于晶格面间隔大的样本。因此，没有高精度地进行倍率校正的手段。作为解决手段，本发明的特征在于，具备：电子源，其产生电子束；...

本发明提供一种能够支援具有三维观察功能的带电粒子束装置的调整作业并降低调整值输入所需要的人力资源工时的带电粒子束调整支援装置。调整值获取部根据基于从带电粒子束调整者终端输入的信息而生成的二维调整值信息、和二维一三维调整值对应信息，来生成...

本发明提供一种能够高效地进行测量的自动分析装置。该自动分析装置具有：第一试剂盘(7)，其载置收纳了用于反应的试剂的试剂容器；第二试剂盘(16)；以及试剂容器输送机构(17)，其在上述第一试剂盘和上述第二试剂盘之间输送试剂容器。计算机(2...

带电粒子束装置(1)具备带电粒子光学镜筒(10)、搭载带电粒子光学镜筒(10)的支承壳体(20)、以及插入到支承壳体(20)的内部的内插壳体(30)，第一光圈构件(15)配设在物镜的磁场的中心附近，第二光圈构件(31)配设为从外侧封堵设...

一种带电粒子线装置，以容易地进行从样品放出的二次粒子的能量辨别或角度辨别、还有能容易地设定最佳的观察条件为目的，具备：放出带电粒子线的带电粒子源；将所述带电粒子线会聚到样品的透镜；检测从所述样品放出的二次粒子的检测器；计算从所述样品放出...

本发明提供在对等离子体生成用高频电力和高频偏置电力进行时间调制的等离子体处理装置中能稳定地供应高频偏置电力的等离子体处理装置。本发明的等离子体处理装置具备：供应用于在真空容器内生成等离子体的第一高频电力的第一高频电源、对载置样品的样品台...

将可移动型质量分析装置带到试样采集现场来进行分析时，需要组入针对装置的误操作的对策。当需要对测定的每个试样变更分析条件时，需要实现不会产生误操作的质量分析装置。此外，为了防止误判定，当由于测定试样的污染等不能准确地进行测定试样的分析时，...

在操作者确认有关检测体的测定结果的信息的场合，由于在被限制的显示区域内不能同时显示全部信息，因此有必要一边反复进行子画面的开闭或画面变化，一边确认有关测定结果的多个种类的详细信息，并且画面操作步骤数多，从而操作者的负担加重。尤其，在测定...

本发明是自动分析装置。在操作者确认有关检测体的测定结果的信息的场合，由于在被限制的显示区域内不能同时显示全部信息，因此有必要一边反复进行子画面的开闭或画面变化，一边确认有关测定结果的多个种类的详细信息，并且画面操作步骤数多，从而操作者的...

本发明为了提高初学者的带电粒子束装置的技能，特征在于，具有：显示操作画面(200)的图像显示装置，该操作画面显示电子显微镜的操作项目；存储装置，其使辅助按钮(B122)相关的信息与图像(C51)的画质对应，并且与电子显微镜的参数设定值的...

具有一计算机，其为了即使是初学者也能够容易地识别观察条件不同引起的拍摄结果的不同，在操作画面(200)中显示多个用于变更荷电粒子束装置的参数设定值的组合即试样的观察条件的观察目的设定按钮(E141)，处理部在操作画面(200)显示通过相...

本发明提供一种高压恒流泵和高压恒流送液方法。实现了在高压梯度时混合溶剂时，即使在混合比率的差大的情况下，也能够可靠地进行来自低压侧送液系统的溶剂的送液的高压恒流泵。互相比较来自第2压力传感器114的压力检测值与来自第4压力传感器的115...

提供一种能够高分辨率检测从试样(101)释放的荷电粒子(201)，高灵敏度的荷电粒子束装置。在配置为与试样(101)接触，由此由于照射的荷电粒子束(104)在试样(101)产生的吸收电流在自身中流过来进行检测，通过荷电粒子束(104)在...

本发明提供一种液相色谱装置以及液相色谱分析方法。实现了自动取样器的试样注入、流路切换的动作的压力变动不会对送液泵的控制造成影响的分析方法。该液相色谱分析在改变2种以上洗提液的混合比例的同时将洗提液送液，基于该被送液的洗提液的流路中在预定...

本发明的目的为提供能够使液体容器的液体的更换迅速化，缩短分析准备时间来使处理高速化的自动分析装置。具体而言，具备：吸嘴(202)；送液注射器(203)；连接吸嘴(202)以及送液注射器(203)的吸引流路(205)；设置在吸引流路(20...

本发明提供一种随着等离子体处理时间的经过，使等离子体的离解状态逐渐地变化，从而能够进行期望的等离子体处理的等离子体处理方法以及等离子体处理装置。在本发明中，在使用具备对试样进行等离子体处理的等离子体处理室、供给等离子体生成用的第一高频电...

本发明提供一种能够抑制熟练者与不熟练者调整的质量中出现差别的自动分析装置的各种机构的调整技术。调整系统(100)具备：用于取得表示被调整对象的当前位置的信息的当前位置信息取得部(3a)；将表示被调整对象应当位于的预定位置的信息进行预先存...

本发明的目的在于提供在带电粒子线装置的真空室内不使用气相沉积法等而进行布线加工的布线方法及带电粒子线装置。为了达到上述目的，本发明提供如下的布线方法及带电粒子线装置，即，向试样上滴下离子液体或预先在载置试样的试样台上准备离子液体，向布线...

本发明提供能简单地装拆隔膜(101)且能将试样(6)配置于真空下和高压下的带电粒子线装置(111)。该带电粒子线装置(111)具有：对带电粒子源(110)和电子光学系统(1、2、7)进行保持的镜筒(3)；与镜筒(3)连结的第一框体(4)...

本发明的目的在于：提供一种面精度优良、小型、能够轻量化的衍射光栅、及其制造方法。本发明的衍射光栅的特征在于：具备厚度为0.5mm～8mm的玻璃基板(20)、形成在玻璃基板(20)的一个面上的具有凹凸图案的由树脂构成的细微构造体(10)、...