具有一计算机，其为了即使是初学者也能够容易地识别观察条件不同引起的拍摄结果的不同，在操作画面(200)中显示多个用于变更荷电粒子束装置的参数设定值的组合即试样的观察条件的观察目的设定按钮(E141)，处理部在操作画面(200)显示通过相反的3个以上的项目显示与多个上述观察目的设定按钮(E141)相关的观察条件的特征的雷达图(E144)。而且，在该雷达图(E144)作为项目至少显示高分辨率、表面结构的强调以及材料的不同的强调。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利摘要】具有一计算机，其为了即使是初学者也能够容易地识别观察条件不同引起的拍摄结果的不同，在操作画面(200)中显示多个用于变更荷电粒子束装置的参数设定值的组合即试样的观察条件的观察目的设定按钮(E141)，处理部在操作画面(200)显示通过相反的3个以上的项目显示与多个上述观察目的设定按钮(E141)相关的观察条件的特征的雷达图(E144)。而且，在该雷达图(E144)作为项目至少显示高分辨率、表面结构的强调以及材料的不同的强调。【专利说明】荷电粒子束装置、试样观察系统以及操作程序
本专利技术涉及荷电粒子束装置、试样观察系统以及操作程序的技术。
技术介绍
扫描型电子显微镜(以下称为电子显微镜)操作中的参数的设定值即参数设定值的组合(以下称为观察条件)的设定大多是根据经验进行的。因此，会产生以下问题，即初学者在进行电子显微镜的操作时，很难掌握电子显微镜观察条件对拍摄图像产生怎样的影响，从而无法谋求初学者的技能提高。 对于这样的问题，专利文献1、2所记载的技术首先在该拍摄前进行多个简易观察条件的拍摄。而且，将得到的多个简易观察图像一览显示在显示部(e预览)。接着，用户从所显示的多个简易观察图像中选择所希望的简易观察图像。于是，计算机设定所选择的简易观察图像的观察条件。之后，对于用户所选择的简易观察图像进行需要的手动调整，进行拍摄。将作为该拍摄的结果得到的图像显示在显示部。 现有技术文献 专利文献 专利文献1:日本专利第4014916号公报 专利文献2:日本专利第4014917号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题 但是，专利文献1、2所记载的技术具有以下的问题。 (I)初学者无法识别多个简易观察图像中的那个图像是好的。 (2)简易观察图像是原始的拍摄图像，因此初学者难以掌握多个简易观察图像各自有什么不同。 (3)为了得到多个简易观察图像需要花费时间。也就是说，得到目的图像的效率差。 本专利技术鉴于这样的背景而产生，本专利技术的课题在于，即使是初学者也能够容易地识别由于观察条件的不同而引起的拍摄结果的不同。 用于解决问题的手段 为了解决上述课题，本专利技术例如具有处理部，其在图像显示部显示多个用于变更荷电粒子束装置的参数设定值的组合即试样的观察条件的观察目的设定按钮，上述处理部使上述画面显示部显示通过相反的3个以上的项目显示与多个上述观察目的设定按钮相关的观察条件的特征的观察条件特征显示，或者使上述画面显示部显示观察条件特征显示，来作为与多个上述观察目的设定按钮相关的观察条件的特征，上述观察条件特征显示至少将高分辨率、表面结构的强调以及材料的不同的强调作为项目进行显示。 或者，本专利技术中例如具有处理部，其使图像显示部显示用于变更荷电粒子束装置的参数设定值的组合即试样的观察条件的观察目的设定按钮，上述处理部在上述观察目的设定按钮或者在上述观察目的设定按钮的附近显示对通过变更上述观察条件导致的图像的变化进行了强调的强调图像。 关于其他的解决手段，将在后面进行说明。 专利技术的效果 根据本专利技术，能够容易地识别由于观察条件的不同引起的拍摄结果的不同。 【专利附图】【附图说明】 图1是表示本专利技术的电子显微镜的一例的概略结构图。 图2是表示本实施方式的电子显微镜的操作步骤的流程图。 图3是表示本实施方式的操作画面的画面例的图。 图4是表示启动时的操作画面的画面例子的图(其一)。 图5是表示启动时的操作画面的画面例子的图(其二)。 图6是表示开始向试样照射一次电子束时的操作画面的例子的图。 图7是表示用户进行的视野搜索.倍率调整时的操作画面的例子的图(其一)。 图8是表示用户进行的视野搜索.倍率调整时的操作画面的例子的图(其二)。 图9是表示图像保存(拍摄)的操作画面的例子的图(其一)。 图10是表示图像保存(拍摄)的操作画面的例子的图(其二)。 图11是表示图像保存(拍摄)的操作画面的例子的图(其三)。 图12是表示图像保存(拍摄)的操作画面的例子的图(其四)。 图13是表示图像保存(拍摄)的操作画面的例子的图(其五)。 图14是表示图像保存(拍摄)的操作画面的例子的图(其六)。 图15是表示用户进行图像确认时以及观察条件的调整.变更时的操作画面的例子的图(其一)。 图16是表示用户进行图像确认时以及观察条件的调整.变更时的操作画面的例子的图(其二)。 图17是表示用户进行图像确认时以及观察条件的调整.变更时的操作画面的例子的图(其三)。 图18是表示本实施方式的观察条件设定表的图。 图19是表示用户进行图像确认时以及观察条件的调整.变更时的操作画面的例子的图(其四)。 图20是表示用户进行图像确认时以及观察条件的调整.变更时的操作画面的例子的图(其五)。 图21是表示用户进行图像确认时以及观察条件的调整.变更时的操作画面的例子的图(其六)。 图22是表示用户进行图像确认时以及观察条件的调整.变更时的操作画面的例子的图(其七)。 图23是表示用户再次保存图像(拍摄)时的操作画面的图。 图24是表示用户进行图像再确认时以及观察条件的再调整.再变更时的操作画面的例子的图(其一)。 图25是表示用户进行图像再确认时以及观察条件的再调整.再变更时的操作画面的例子的图(其二)。 图26是表示用户进行图像再确认时以及观察条件的再调整.再变更时的操作画面的例子的图(其三)。 图27是表示用户进行图像再确认时以及观察条件的再调整.再变更时的操作画面的例子的图(其四)。 图28是表示用户进行图像再确认时以及观察条件的再调整.再变更时的操作画面的例子的图(其五)。 图29是表示用户进行图像再确认时以及观察条件的再调整.再变更时的操作画面的例子的图(其六)。 图30是表示用户进行图像再确认时以及观察条件的再调整.再变更时的操作画面的例子的图(其七)。 图31是表示用户进行图像再确认时以及观察条件的再调整.再变更时的操作画面的例子的图(其八)。 图32是表示用户进行图像再确认时以及观察条件的再调整.再变更时的操作画面的例子的图(其九)。 图33是表示用户进行图像再确认时以及观察条件的再调整.再变更时的操作画面的例子的图(其十)。 图34是表示用户进行图像再确认时以及观察条件的再调整.再变更时的操作画面的例子的图(其十一)。 图35是表示用户再次保存图像(拍摄)时的操作画面的图。 图36是表示用户进行图像再确认时以及观察条件的再调整.再变更时的操作画面的例子的图(其十二)。 图37是本实施方式的应用帮助画面的变形例。 【具体实施方式】 接着，一边适当地参照附图一边来详细说明用于实施本专利技术的方式(称为实施方式)。另外，在各个附图中，对于相同的结构要素赋予相同的符号，省略其说明。 另外，在实施方式中公开了荷电粒子束装置，其具有处理部，该处理部在图像显示装置的图像显示部显示用于变更荷电粒子束装置的参数设定值的组合即试样的观察条件的观察目的设定按钮，处理部在观察目的设定按钮或者在观察目的设定按钮的附近显示对通过变更观察条件导致的图像的变化进行了强调的强调图像。 另外，在实施方式中公开以下技术，将观察目的设定按本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种荷电粒子束装置，其特征在于，具备处理部，其在图像显示装置的图像显示部显示多个用于变更荷电粒子束装置的参数设定值的组合即试样的观察条件的观察目的设定按钮，上述处理部使上述画面显示部显示通过相反的3个以上的项目显示与多个上述观察目的设定按钮相关的观察条件的特征的观察条件特征显示。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：小西弥生，佐藤贡，高野昌树，玉山尚太朗，西村雅子，渡边俊哉，许斐麻美，
申请(专利权)人：株式会社日立高新技术，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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