本申请属于半导体制造设备技术领域，尤其是涉及一种移动光阑。移动光阑用于扫描电镜并包括光阑组件，光阑组件包括光阑及反射镜面；光阑用于调节扫描电镜中的电子束流，反射镜面设置于光阑在电子光路上的下方；反射镜面用于改变光学光路方向以与电子光路同...

本申请属于半导体检测设备技术领域，尤其是涉及一种移动光阑。该移动光阑包括光阑组件、热传导件以及感温件；光阑组件包括光阑，热传导件及感温件均连接于光阑组件；感温件设置为用于获取光阑的温度，热传导件设置为基于感温件获取到的温度调节光阑的温度...

本申请属于半导体制造技术领域，尤其是涉及一种静电夹持装置及半导体检测设备

本申请提供一种电子束曝光剂量的确定方法及装置，涉及半导体技术领域，该方法包括：基于版图数据，确定图形单元；在图形单元上设置评估点；基于每个所述图形单元的曝光剂量，对所述版图数据进行仿真处理，以得到每个所述评估点处的强度值；基于每个所述图...

本申请属于搬运装置技术领域，尤其是涉及传片装置及半导体检测设备。该传片装置包括阀板管路、传动机构以及承载座；阀板管路包括阀板以及从阀板沿第一方向延伸的管路；承载座连接于阀板并在第一方向上位于阀板远离传动机构的一侧；传动机构连接于管路，且...

本申请提供一种电子束参数的确定方法及装置，涉及半导体技术领域，该方法包括：在版图数据对应的实际掩膜版图中进行测量，以得到量测数据，量测数据包括测量点的量测尺寸；基于点扩散函数形式，构建电子束模型；基于电子束模型，对版图数据进行仿真处理，...

本申请提供一种掩膜图案的校正方法、装置及半导体设备，包括：获取掩膜的初始设计版图，初始设计版图包括多个图案；对每个图案进行处理，得到多个图形单元；在图形单元上设定评估点；获取图形单元上评估点的测量值；根据评估点的测量值和预设优化误差函数...

本申请提供一种掩膜数据的处理方法及装置，涉及数据处理领域，该方法包括：将掩膜版图上的每个多边形进行处理，以确定每个所述多边形内部的独立弦；按照每个所述多边形内部的独立弦，将每个所述多边形进行切割，以得到多个第一子多边形；在任一第一子多边...

本申请涉及减小相差的偏转器机构，包括可旋转偏转器、连接杆、固定偏转器及安装部，可旋转偏转器的旋转中轴与固定偏转器的中轴相重合，且分别安装到安装部上，可旋转偏转器与安装部转动连接，连接杆的一端与可旋转偏转器转动连接，连接杆能够带动可旋转偏...

本申请涉及该浸没式磁透镜电子枪，包括：电子束源、电子枪阳极及磁透镜，磁透镜中心处开设有光轴通孔，顶部设置有阳极安装槽，电子枪阳极设置在阳极安装槽内，电子枪阳极的底部及侧壁与阳极安装槽的内壁相贴附，电子枪阳极的侧壁上沿向外延伸，适用于与电...

本申请涉及一种对中机构及具有其的扫描电镜，包括依次可拆卸连接的电子枪腔体和安装腔体；电子枪腔体上开设有第一通孔，电子枪腔体朝向安装腔体的一侧设有第一凸台，第一凸台呈绕第一通孔设置的环状结构；安装腔体朝向电子枪腔体的一侧开设有安装槽，第一...

本申请涉及一种静电场偏转器，适用于安装在扫描电镜内，包括：偏转极板与绝缘安装座，绝缘安装座中部具有安装孔，偏转极板整体呈柱体，外侧壁与安装孔相适配，偏转极板固定在安装孔内，且偏转极板的中部具有光轴孔，光轴孔与安装孔同轴设置，其中，偏转极...

本申请涉及一种对中机构及具有其的扫描电镜，用于安装在扫描电镜中，对扫描电镜中的的电子束进行对中校准，包括电子枪腔体和安装腔体；电子枪腔体上开设有第一通孔，电子枪腔体朝向安装腔体的一侧设有第一凸台，第一凸台呈环状；安装腔体朝向电子枪腔体的...

本申请涉及一种真空互锁抽气设备及真空互锁抽气的方法，包括真空互锁腔、第一缓冲腔和第一抽气管路，其中，所述真空互锁腔上设有进气阀；所述第一抽气管路与所述真空互锁腔连通，所述第一抽气管路未与所述真空互锁腔连通的一侧设有第一抽气组件，用于对所...

本申请涉及一种电子枪测试平台，包括测试腔体；测试腔体内设有平行移载模组和移动载具模组；移动载具模组与测试腔体的内壁固定，移动载具模组的顶部适用于放置硅片或者硅片载盒，平行移载模组设置在移动载具模组的旁侧；平行移载模组包括驱动装置、固定座...

本申请涉及一种探测器检测设备及使用其进行检测探测器的方法，包括密封腔室、移动组件、定位检测模组和检测光源模组；其中，移动组件安装在密封腔室的底部内壁上，移动组件的顶部适用于放置探测器，以使移动组件带动探测器在密封腔室的内部移动；定位检测...

本公开提供升降装置，定位设备以及腔室设备，所述升降装置用于相对于参照物提升物体，包括：支撑台，形成有容纳孔，容纳孔的大小和尺寸被确定成至少部分地容纳所述物体；电机，相对于所述支撑台或所述参照物固定；至少一对升降组件；和传动机构，布置成在...

本申请涉及一种消像散器，包括底座和极板；其中，所述底座呈中空筒状设置，所述底座适用于安装在扫描电镜上；所述极板设有两个以上，两个以上的所述极板均固定安装在所述底座的内壁上，两个以上的所述极板绕所述底座的内壁依次周向设置，以使两个以上的所...

本公开提供相对于参照物能够伸缩的承载装置、晶片转移装置、在不同压力环境之间交换晶片的腔体装置、和晶片处理设备，所述承载装置包括：基部；可动平台，与所述基部相对设置；顶杆，配置成延伸穿过固定于所述基部的轴承并且联接至所述可动平台；以及驱动...

提供扫描电子显微镜装置和电子束检测设备，扫描电子显微镜装置被配置成向待测样品的表面投射电子束，包括：电子束源；偏转机构；和物镜组件。偏转机构包括：第一偏转器，位于电子束源的下游；和第二偏转器，位于第一偏转器的下游。物镜组件包括：励磁线圈...