对中机构及具有其的扫描电镜制造技术

本申请涉及一种对中机构及具有其的扫描电镜，包括依次可拆卸连接的电子枪腔体和安装腔体；电子枪腔体上开设有第一通孔，电子枪腔体朝向安装腔体的一侧设有第一凸台，第一凸台呈绕第一通孔设置的环状结构；安装腔体朝向电子枪腔体的一侧开设有安装槽，第一凸台放置在安装槽内部，第一凸台的外侧壁与安装槽的内侧壁之间设有距离；安装槽的槽底处开设有安装孔，安装孔贯穿安装腔体设置，安装孔处安装消像散器；安装腔体开设安装槽处的侧壁上移动安装有第一调节件，第一调节件贯穿安装腔体的侧壁设置，第一调节件设有多个，多个第一调节件沿安装槽的周向间隔分布。其使得消像散器的电场中心与光轴中心重合，从而实现消像散器的对中。中。中。

【技术实现步骤摘要】
对中机构及具有其的扫描电镜


[0001]本申请涉及半导体领域，尤其涉及一种对中机构及具有其的扫描电镜。

技术介绍

[0002]随着半导体技术的发展和工艺技术的进步，集成电路线宽愈来愈向细微化发展，对电路的生产工艺技术也提出更高更难得要求，不但要刻蚀亚微米线条，而且线路缺陷也要控制在一定范围内，以保证芯片的功能和成品率。研究表明，缺陷的尺寸在特征线宽的三分之一以上时，就成为致命的缺陷慧导致器件失效。由于器件的尺寸不断缩小，致命缺陷的尺寸也变得越来越小，缺陷得检测变得更加困难，光学检测设备已不能满足需要，而电子束检测设备克服了光学波长得限制，使分辨率提高到纳米领域，可以检测到极微小得缺陷。电子束检测设备的核心是扫描电镜，其中，消像散器是扫描电镜中重要的设备，顾名思义，作用是消除相散，消像散器有磁消像散器与静电消相散器两种。其中静电消像散器，其静电场的均匀性更难控制，消像散器与光轴的对中难以把握。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本申请提出了一种对中机构及具有其的扫描电镜，其使得消像散器的电场中心与光轴中心重合，从而实现消像散器的对中。
[0004]根据本申请的一方面，提供了一种对中机构，用于安装在扫描电镜中，对所述扫描电镜中的消像散器的电场中心与光轴中心的相对关系进行调整，包括依次可拆卸连接的电子枪腔体和安装腔体；
[0005]所述电子枪腔体上开设有第一通孔，所述电子枪腔体朝向所述安装腔体的一侧设有第一凸台，所述第一凸台呈绕所述第一通孔设置的环状结构；
[0006]所述安装腔体朝向所述电子枪腔体的一侧开设有安装槽，所述第一凸台放置在所述安装槽内部，所述第一凸台的外侧壁与所述安装槽的内侧壁之间设有距离；
[0007]所述安装槽的槽底处开设有安装孔，所述安装孔贯穿所述安装腔体设置，所述安装孔适用于安装所述消像散器；
[0008]所述安装腔体开设所述安装槽处的侧壁上移动安装有第一调节件，所述第一调节件贯穿所述安装腔体的侧壁设置，所述第一调节件用于推动所述第一凸台在所述安装槽内移动；
[0009]所述第一调节件设有多个，多个所述第一调节件沿所述安装槽的周向间隔分布。
[0010]在一种可能的实现方式中，所述第一凸台包括斜面部，所述斜面部的侧壁呈斜面设置，所述斜面部邻近所述安装槽的槽底设置，所述斜面部与所述安装槽的内侧壁之间的距离沿第一方向逐渐减小；
[0011]其中，所述第一方向为所述电子枪腔体指向所述安装腔体的方向；
[0012]多个所述第一调节件均与所述斜面部抵接。
[0013]在一种可能的实现方式中，所述第一调节件呈杆状，所述第一调节件的杆身上开
设有外螺纹；
[0014]所述安装腔体开设所述安装槽处的侧壁上开设有第一内螺纹孔，所述第一内螺纹孔的数量与所述第一调节件的数量相同，所述第一调节件与所述第一内螺纹孔一一对应的旋接。
[0015]在一种可能的实现方式中，所述第一凸台还包括连接部；
[0016]所述连接部呈环形设置，并绕所述第一通孔周向设置；
[0017]所述连接部的底部端面设有外倒角；
[0018]所述斜面部固定在所述
[0019]连接部的底部端面一侧，所述斜面部的顶部端面与所述连接部的底部端面相匹配；
[0020]其中，所述连接部的底部为所述连接部邻近所述安装槽的槽底一侧。
[0021]在一种可能的实现方式中，还包括第一密封圈；
[0022]所述安装槽的槽底处开设有第一密封槽，所述第一密封槽呈环状设置，所述第一密封槽与所述第一凸台相对设置，所述第一密封槽绕所述第一通孔周向设置；
[0023]所述第一密封圈安装在所述第一密封槽内，用于密封所述电子枪腔体和所述安装腔体。
[0024]在一种可能的实现方式中，所述第一凸台朝向所述安装槽的槽底的一侧与所述安装槽的槽底之间设有间隙；
[0025]所述第一密封圈与所述第一凸台抵接。
[0026]在一种可能的实现方式中，还包括物镜腔体，所述物镜腔体可拆卸安装在所述安装腔体背离所述电子枪腔体的一侧；
[0027]所述物镜腔体上开设有与所述第一通孔同轴设置的第二通孔，所述物镜腔体朝向所述安装腔体的一端开设有放置槽；
[0028]所述安装腔体朝向所述放置槽的一侧设有第二凸台，所述第二凸台放置在所述放置槽内，所述第二凸台的外侧壁与所述放置槽的内侧壁之间设有距离；
[0029]所述物镜腔体开设有放置槽处的侧壁上可移动安装有第二调节件，所述第二调节件设有多个，多个所述第二调节件沿所述放置槽的周向间隔分布；
[0030]多个所述第二调节件均贯穿所述放置槽的侧壁设置，用于推动所述第二凸台在所述放置槽内移动。
[0031]在一种可能的实现方式中，还包括第二密封圈；
[0032]所述放置槽的槽底处开设有第二密封槽，所述第二密封槽呈环状设置，所述第二密封槽与所述第二凸台相对设置，所述第二密封槽绕所述第二通孔周向设置；
[0033]所述第二密封圈安装在第二密封槽内，用于密封所述安装腔体和所述物镜腔体。
[0034]在一种可能的实现方式中，所述第二凸台朝向所述放置槽的一侧与所述放置槽之间设有间隙；
[0035]所述第二密封圈与所述第二凸台抵接；
[0036]所述第二凸台的结构与所述第一凸台的结构相同。
[0037]在一种可能的实现方式中，所述安装孔呈阶梯孔状，所述安装孔的顶部的孔径大于所述安装孔的底部孔径。
[0038]根据本申请的另一方面，提供了一种扫描电镜，包括消像散器和上述任一项所述的对中机构；
[0039]其中，所述消像散器固定安装在所述对中机构的所述安装孔上。
[0040]本申请实施例对中机构分为电子枪腔体和安装腔体两部分，其中安装腔体可拆卸安装在电子枪腔体的底部，安装腔体上设有安装消像散器的安装孔。在电子枪腔体、安装腔体和消像散器完成装配后，此时，电子枪腔体底部的第一凸台位于安装槽内。当消像散器与光轴进行对中时，调节安装腔体上的多个第一调节件，第一调节件伸入安装槽内的长度发生改变，所以第一调节件的移动会推动第一凸台在安装槽内移动，由此，带动整个电子枪腔体进行移动调节。由于第一调节件沿安装槽的周向设置多个，使得第一调节件可以在各个方向上对电子枪腔体的位置进行调节，直至安装腔体上的消像散器与光轴对中。综上所述，本申请实施例对中机构通过调节第一调节件带动电子枪腔体在安装槽内进行微调，使得消像散器的电场中心与光轴中心重合，从而实现消像散器的对中，由此，达到了扫描电镜的最佳状态，减小了光轴偏移对分辨率、机台关键参数指标的影响。
[0041]根据下面参考附图对示例性实施例的详细说明，本申请的其它特征及方面将变得清楚。
附图说明
[0042]包含在说明书中并且构成说明书的一部分的附图与说明书一起示出了本申请的示例性实施例、特征和方面，并且用于解释本申请的原理。
[0043]图1示出本申请本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种对中机构，其特征在于，用于安装在扫描电镜中，对所述扫描电镜中的消像散器的电场中心与光轴中心的相对关系进行调整，包括依次可拆卸连接的电子枪腔体和安装腔体；所述电子枪腔体上开设有第一通孔，所述电子枪腔体朝向所述安装腔体的一侧设有第一凸台，所述第一凸台呈绕所述第一通孔设置的环状结构；所述安装腔体朝向所述电子枪腔体的一侧开设有安装槽，所述第一凸台放置在所述安装槽内部，所述第一凸台的外侧壁与所述安装槽的内侧壁之间设有距离；所述安装槽的槽底处开设有安装孔，所述安装孔贯穿所述安装腔体设置，所述安装孔适用于安装所述消像散器；所述安装腔体开设所述安装槽处的侧壁上移动安装有第一调节件，所述第一调节件贯穿所述安装腔体的侧壁设置，所述第一调节件用于推动所述第一凸台在所述安装槽内移动；所述第一调节件设有多个，多个所述第一调节件沿所述安装槽的周向间隔分布。2.根据权利要求1所述的对中机构，其特征在于，所述第一凸台包括斜面部，所述斜面部的侧壁呈斜面设置，所述斜面部邻近所述安装槽的槽底设置，所述斜面部与所述安装槽的内侧壁之间的距离沿第一方向逐渐减小；其中，所述第一方向为所述电子枪腔体指向所述安装腔体的方向；多个所述第一调节件均与所述斜面部抵接。3.根据权利要求1所述的对中机构，其特征在于，所述第一调节件呈杆状，所述第一调节件的杆身上开设有外螺纹；所述安装腔体开设所述安装槽处的侧壁上开设有第一内螺纹孔，所述第一内螺纹孔的数量与所述第一调节件的数量相同，所述第一调节件与所述第一内螺纹孔一一对应的旋接。4.根据权利要求2所述的对中机构，其特征在于，所述第一凸台还包括连接部；所述连接部呈环形设置，并绕所述第一通孔周向设置；所述连接部的底部端面设有外倒角；所述斜面部固定在所述连接部的底部端面一侧，所述斜面部的顶部端面与所述连接部的底部端面相匹配；其中，所述连接部的底部为所述连接部邻近所述安装槽的槽底一侧。5.根据权利要求1所述的对中机构，其特征在于，还包括第一密封圈；所述安装槽的...

【专利技术属性】
技术研发人员：李帅辰，孟庆浪，蒋磊，孙伟强，蒋俊海，
申请(专利权)人：中科晶源微电子技术北京有限公司，
类型：发明
国别省市：