本申请属于半导体制造设备技术领域，尤其是涉及一种移动光阑。移动光阑用于扫描电镜并包括光阑组件，光阑组件包括光阑及反射镜面；光阑用于调节扫描电镜中的电子束流，反射镜面设置于光阑在电子光路上的下方；反射镜面用于改变光学光路方向以与电子光路同轴。可见，光阑组件集成有用于实现光学成像模式功能的反射镜面，改变光学光路方向，保证光学光路与电子光路同轴。如此，在光学成像模式下定位后，直接可切换至电子成像模式进行检测，不须额外调整承放样品的可移动平台。
【技术实现步骤摘要】
本申请属于半导体制造设备，尤其是涉及一种移动光阑。
技术介绍
1、扫描电镜一般具有两种成像模式，分别为电子成像模式与光学成像模式。在电子成像模式下，电子束经由透镜系统照射于样品上并产生信号电子，通过检测这些信号电子来生成图像。电子成像模式能够提供高分辨率、高放大倍率的图像，以显示出样品表面的微观结构和形貌信息。
2、光学成像模式为传统光学显微镜的工作模式，在扫描电镜中通常被用作辅助工具。光学成像模式通过光线进行成像，光学成像模式的场视场相较于电子成像模式的场视场更大，因而通常用于样品定位、预览和导航，以让操作员准确定位样品所需检测区域。
3、可见，电子成像模式与光学成像模式在扫描电镜中有不同的应用，电子成像模式进行高分辨率的成像，光学成像模式则用于辅助定位。两种模式互补，以提高检测效率以及更准确的样品表面信息。
4、专利技术人发现，现有的扫描电镜中，电子光路与光学光路同向但没有同轴，如此在光学成像模式的情况下定位后，还需要移动承放样品的可移动平台，如此对可移动平台的活动范围具有一定要求，而且操作繁琐。
技术实现思路
1、本申请提供了一种移动光阑，该移动光阑集成有光学光路的反射镜面以确保电子光路与光学光路同轴。
2、根据本申请提供了一种移动光阑，用于扫描电镜，移动光阑包括光阑组件，光阑组件包括光阑及反射镜面；光阑用于调节扫描电镜中的电子束流，反射镜面设置于光阑在电子光路上的下方；反射镜面用于改变光学光路方向以与电子光路同轴。
>3、在本申请可选的方案中，移动光阑还包括位置调节模块，位置调节模块用于调节光阑组件的位置。4、在本申请可选的方案中，位置调节模块包括支撑套筒、导向杆以及驱动机构；导向杆沿第一方向穿过支撑套筒、并与支撑套筒活动连接以形成摆动支点，光阑组件位于支撑套筒在第一方向上的一侧并连接于导向杆；驱动机构连接于支撑套筒并设置为用于驱动导向杆带动光阑组件。
5、在本申请可选的方案中，驱动机构包括第一驱动机构及第二驱动机构；第一驱动机构连接于支撑套筒在第一方向上远离光阑组件的一侧，第一驱动机构设置为用于驱动导向杆沿第一方向运动以带动光阑组件；第二驱动机构连接于支撑套筒并位于第一驱动机构及摆动支点之间，第二驱动机构设置为在第二方向上作用于导向杆，以驱动导向杆绕摆动支点摆动，并带动光阑组件；其中，第一方向垂直于第二方向。
6、在本申请可选的方案中，第二驱动机构包括第一调节件及第二调节件；第一调节件及第二调节件在第二方向相对设置并夹持导向杆。
7、在本申请可选的方案中，位置调节模块还包括限位杆，限位杆位于第二驱动机构及摆动支点之间；支撑套筒设有导向孔，导向孔沿第一方向延伸，限位杆沿第二方向穿过导向孔并连接于导向杆。
8、在本申请可选的方案中，位置调节模块还包括弹性件以及密封组件；密封组件连接于支撑套筒在第一方向远离第一驱动机构的一侧，弹性件设置于支撑套筒内且夹设在限位杆及密封组件之间；导向杆穿过密封组件并配合密封组件以密封支撑套筒。
9、在本申请可选的方案中，密封组件包括密封法兰以及形变套管，导向杆设有环凸；密封法兰连接于支撑套筒，形变套管外套导向杆且两端分别连接于密封法兰及环凸。
10、在本申请可选的方案中，反射镜面所在平面与光阑交叉设置，且反射镜面所在平面与光阑之间的锐角为15°至75°。
11、在本申请可选的方案中，光阑组件还包括安装支架，安装支架连接于位置调节模块；光阑及反射镜面均设置于安装支架上。
12、综上所述，本申请提供的移动光阑至少具有以下有益效果：
13、该移动光阑中的光阑组件集成有用于实现光学成像模式功能的反射镜面，改变光学光路方向，保证光学光路与电子光路同轴。如此，在光学成像模式下定位后，直接可切换至电子成像模式进行检测，不须额外调整承放样品的可移动平台。
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【技术保护点】
1.一种移动光阑，用于扫描电镜，其特征在于，所述移动光阑包括光阑组件，所述光阑组件包括光阑及反射镜面；
2.根据权利要求1所述的移动光阑，其特征在于，所述移动光阑还包括位置调节模块，所述位置调节模块用于调节所述光阑组件的位置。
3.根据权利要求2所述的移动光阑，其特征在于，所述位置调节模块包括支撑套筒、导向杆以及驱动机构；
4.根据权利要求3所述的移动光阑，其特征在于，所述驱动机构包括第一驱动机构及第二驱动机构；
5.根据权利要求4所述的移动光阑，其特征在于，所述第二驱动机构包括第一调节件及第二调节件；
6.根据权利要求4所述的移动光阑，其特征在于，所述位置调节模块还包括限位杆，所述限位杆位于所述第二驱动机构及所述摆动支点之间；
7.根据权利要求6所述的移动光阑，其特征在于，所述位置调节模块还包括弹性件以及密封组件；
8.根据权利要求7所述的移动光阑，其特征在于，所述密封组件包括密封法兰以及形变套管，所述导向杆设有环凸；
9.根据权利要求1所述的移动光阑，其特征在于，所述反射镜面所在平面与所述光阑交叉设置，且所述反射镜面所在平面与所述光阑之间的锐角为15°至75°。
10.根据权利要求2至8中任一项所述的移动光阑，其特征在于，所述光阑组件还包括安装支架，所述安装支架连接于所述位置调节模块；
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【技术特征摘要】
1.一种移动光阑，用于扫描电镜，其特征在于，所述移动光阑包括光阑组件，所述光阑组件包括光阑及反射镜面；
2.根据权利要求1所述的移动光阑，其特征在于，所述移动光阑还包括位置调节模块，所述位置调节模块用于调节所述光阑组件的位置。
3.根据权利要求2所述的移动光阑，其特征在于，所述位置调节模块包括支撑套筒、导向杆以及驱动机构；
4.根据权利要求3所述的移动光阑，其特征在于，所述驱动机构包括第一驱动机构及第二驱动机构；
5.根据权利要求4所述的移动光阑，其特征在于，所述第二驱动机构包括第一调节件及第二调节件；
6.根据权利要求4所述的移动光阑，其特...
【专利技术属性】
技术研发人员：米涛，韩春营，
申请(专利权)人：中科晶源微电子技术北京有限公司，
类型：发明
国别省市：
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