【技术实现步骤摘要】
本申请属于半导体制造设备，尤其是涉及一种移动光阑。
技术介绍
1、扫描电镜一般具有两种成像模式，分别为电子成像模式与光学成像模式。在电子成像模式下，电子束经由透镜系统照射于样品上并产生信号电子，通过检测这些信号电子来生成图像。电子成像模式能够提供高分辨率、高放大倍率的图像，以显示出样品表面的微观结构和形貌信息。
2、光学成像模式为传统光学显微镜的工作模式，在扫描电镜中通常被用作辅助工具。光学成像模式通过光线进行成像，光学成像模式的场视场相较于电子成像模式的场视场更大，因而通常用于样品定位、预览和导航，以让操作员准确定位样品所需检测区域。
3、可见，电子成像模式与光学成像模式在扫描电镜中有不同的应用，电子成像模式进行高分辨率的成像，光学成像模式则用于辅助定位。两种模式互补，以提高检测效率以及更准确的样品表面信息。
4、专利技术人发现，现有的扫描电镜中，电子光路与光学光路同向但没有同轴，如此在光学成像模式的情况下定位后，还需要移动承放样品的可移动平台，如此对可移动平台的活动范围具有一定要求，而且操作繁琐。
【技术保护点】
1.一种移动光阑，用于扫描电镜，其特征在于，所述移动光阑包括光阑组件，所述光阑组件包括光阑及反射镜面；
2.根据权利要求1所述的移动光阑，其特征在于，所述移动光阑还包括位置调节模块，所述位置调节模块用于调节所述光阑组件的位置。
3.根据权利要求2所述的移动光阑，其特征在于，所述位置调节模块包括支撑套筒、导向杆以及驱动机构；
4.根据权利要求3所述的移动光阑，其特征在于，所述驱动机构包括第一驱动机构及第二驱动机构；
5.根据权利要求4所述的移动光阑，其特征在于，所述第二驱动机构包括第一调节件及第二调节件；
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【技术特征摘要】
1.一种移动光阑，用于扫描电镜，其特征在于，所述移动光阑包括光阑组件，所述光阑组件包括光阑及反射镜面；
2.根据权利要求1所述的移动光阑，其特征在于，所述移动光阑还包括位置调节模块，所述位置调节模块用于调节所述光阑组件的位置。
3.根据权利要求2所述的移动光阑，其特征在于，所述位置调节模块包括支撑套筒、导向杆以及驱动机构；
4.根据权利要求3所述的移动光阑，其特征在于，所述驱动机构包括第一驱动机构及第二驱动机构；
5.根据权利要求4所述的移动光阑，其特征在于，所述第二驱动机构包括第一调节件及第二调节件；
6.根据权利要求4所述的移动光阑，其特...
【专利技术属性】
技术研发人员：米涛，韩春营，
申请(专利权)人：中科晶源微电子技术北京有限公司，
类型：发明
国别省市：
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