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本申请属于半导体制造设备技术领域，尤其是涉及一种移动光阑。移动光阑用于扫描电镜并包括光阑组件，光阑组件包括光阑及反射镜面；光阑用于调节扫描电镜中的电子束流，反射镜面设置于光阑在电子光路上的下方；反射镜面用于改变光学光路方向以与电子光路同轴。...
该专利属于中科晶源微电子技术（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中科晶源微电子技术（北京）有限公司授权不得商用。

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