对中机构及具有其的扫描电镜制造技术

本申请涉及一种对中机构及具有其的扫描电镜，用于安装在扫描电镜中，对扫描电镜中的的电子束进行对中校准，包括电子枪腔体和安装腔体；电子枪腔体上开设有第一通孔，电子枪腔体朝向安装腔体的一侧设有第一凸台，第一凸台呈环状；安装腔体朝向电子枪腔体的一侧开设有安装槽，第一凸台的外侧壁与安装槽的内侧壁之间设有距离；安装槽的槽底处开设有适用于安装与电子束对准的部件的安装孔；安装腔体开设安装槽处的侧壁上移动安装有第一调节件，第一调节件贯穿安装腔体的侧壁；第一调节件设有多个，多个第一调节件沿安装槽的周向间隔分布。其实现电子束的对中调节，达到了扫描电镜的最佳状态，减小了光轴偏移对分辨率、机台关键参数指标的影响。数指标的影响。数指标的影响。

【技术实现步骤摘要】
对中机构及具有其的扫描电镜


[0001]本申请涉及半导体领域，尤其涉及一种对中机构及具有其的扫描电镜。

技术介绍

[0002]随着半导体技术的发展和工艺技术的进步，集成电路线宽愈来愈向细微 化发展，对电路的生产工艺技术也提出了更高更难的要求，不但要刻蚀出亚 微米线条，而且线路缺陷也要控制在一定范围内，以保证芯片的功能和成品 率。研究表明，缺陷的尺寸在特征线宽的三分之一以上时，就成为致命的缺 陷会导致器件失效。由于器件的尺寸不断缩小，致命缺陷的尺寸也变的越来 越小，缺陷的检测变得更加困难，光学检测设备已不能满足需要，而电子束 检测设备克服了光学波长的限制，使分辨率提高到纳米领域，可以检测到极 微小的缺陷。
[0003]电子束检测设备的核心是扫描电镜，在扫描电镜中的电子束对中不好会 直接影响电镜的性能，无法达到理想的工作状态。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本申请提出了一种对中机构及具有其的扫描电镜，其实现电 子束的对中调节，由此，达到了扫描电镜的最佳状态，减小了光轴偏移对分 辨率、机台关键参数指标的影响。
[0005]根据本申请的一方面，提供了一种对中机构，用于安装在扫描电镜中， 对所述扫描电镜中的的电子束进行对中校准，包括依次可拆卸连接的电子枪 腔体和安装腔体；
[0006]所述电子枪腔体上开设有第一通孔，所述电子枪腔体朝向所述安装腔体 的一侧设有第一凸台，所述第一凸台呈绕所述第一通孔设置的环状结构；
[0007]所述安装腔体朝向所述电子枪腔体的一侧开设有安装槽，所述第一凸台 放置在所述安装槽内部，所述第一凸台的外侧壁与所述安装槽的内侧壁之间 设有距离；
[0008]所述安装槽的槽底处开设有适用于安装与所述电子束对准的部件的安 装孔，所述安装孔贯穿所述安装腔体设置；
[0009]所述安装腔体开设所述安装槽处的侧壁上移动安装有第一调节件，所述 第一调节件贯穿所述安装腔体的侧壁设置，所述第一调节件用于推动所述第 一凸台在所述安装槽内移动；
[0010]所述第一调节件设有多个，多个所述第一调节件沿所述安装槽的周向间 隔分布。
[0011]在一种可能的实现方式中，所述第一凸台包括斜面部，所述斜面部的侧 壁呈斜面设置，所述斜面部邻近所述安装槽的槽底设置，所述斜面部与所述 安装槽的内侧壁之间的距离沿第一方向逐渐减小；
[0012]其中，所述第一方向为所述电子枪腔体指向所述安装腔体的方向；
[0013]多个所述第一调节件均与所述斜面部抵接。
[0014]在一种可能的实现方式中，所述第一调节件呈杆状，所述第一调节件的 杆身上开
设有外螺纹；
[0015]所述安装腔体开设所述安装槽处的侧壁上开设有第一内螺纹孔，所述第 一内螺纹孔的数量与所述第一调节件的数量相同，所述第一调节件与所述第 一内螺纹孔一一对应的旋接。
[0016]在一种可能的实现方式中，所述第一凸台还包括连接部，所述连接部呈 环形设置，所述连接部绕所述第一通孔周向设置，所述连接部的底部端面设 有外倒角；
[0017]所述斜面部固定在所述连接部的底部端面一侧，所述斜面部的顶部端面 与所述连接部的底部端面相匹配；
[0018]其中，所述连接部的底部为所述连接部邻近所述安装槽的槽底一侧。
[0019]在一种可能的实现方式中，还包括第一密封圈；
[0020]所述安装槽的槽底处开设有第一密封槽，所述第一密封槽呈环状设置， 所述第一密封槽与所述第一凸台相对设置，所述第一密封槽绕所述第一通孔 周向设置；
[0021]所述第一密封圈安装在所述第一密封槽内，用于密封所述电子枪腔体和 所述安装腔体。
[0022]在一种可能的实现方式中，所述第一凸台朝向所述安装槽的槽底的一侧 与所述安装槽的槽底之间设有间隙；
[0023]所述第一密封圈与所述第一凸台抵接。
[0024]在一种可能的实现方式中，还包括物镜腔体，所述物镜腔体可拆卸安装 在所述安装腔体背离所述电子枪腔体的一侧；
[0025]所述物镜腔体上开设有与所述第一通孔同轴设置的第二通孔，所述物镜 腔体朝向所述安装腔体的一端开设有放置槽；
[0026]所述安装腔体朝向所述放置槽的一侧设有第二凸台，所述第二凸台放置 在所述放置槽内，所述第二凸台的外侧壁与所述放置槽的内侧壁之间设有距 离；
[0027]所述物镜腔体开设有放置槽处的侧壁上可移动安装有第二调节件，所述 第二调节件设有多个，多个所述第二调节件沿所述放置槽的周向间隔分布；
[0028]多个所述第二调节件均贯穿所述放置槽的侧壁设置，用于推动所述第二 凸台在所述放置槽内移动。
[0029]在一种可能的实现方式中，还包括第二密封圈；
[0030]所述放置槽的槽底处开设有第二密封槽，所述第二密封槽呈环状设置， 所述第二密封槽与所述第二凸台相对设置，所述第二密封槽绕所述第二通孔 周向设置；
[0031]所述第二密封圈安装在第二密封槽内，用于密封所述安装腔体和所述物 镜腔体。
[0032]在一种可能的实现方式中，所述安装孔包括第一安装孔、第二安装孔和 第三安装孔；
[0033]其中，所述第一安装孔、所述第二安装孔和所述第三安装孔沿所述安装 腔体的周向方向依次设置；
[0034]所述第一安装孔的孔径和所述第三安装孔的孔径均大于所述第二安装 孔的孔径；
[0035]所述第一安装孔、所述第二安装孔、所述第三安装孔同轴设置。
[0036]在一种可能的实现方式中，所述第一凸台朝向所述安装槽的槽底的一侧 与所述
安装槽的槽底之间设有间隙；
[0037]所述第一密封圈与所述第一凸台抵接。
[0038]根据本申请的另一方面，提供了一种扫描电镜，包括上述任一项所述的 对中机构。
[0039]本申请实施例对中机构分为电子枪腔体和安装腔体两部分，其中安装腔 体可拆卸安装在电子枪腔体的底部，安装腔体上设有安装探测器的安装孔。 在电子枪腔体和安装腔体完成装配后，此时，电子枪腔体底部的第一凸台位 于安装槽内。当安装孔上所安装的与电子束对准的部件与电子束进行对中时， 调节安装腔体上的多个第一调节件，第一调节件伸入安装槽内的长度发生改 变，所以第一调节件的移动会推动第一凸台在安装槽内移动，由此，带动整 个电子枪腔体进行移动调节。由于第一调节件沿安装槽的周向设置多个，使 得第一调节件可以在各个方向上对电子枪腔体的位置进行调节，直至安装腔 体上的安装孔上所安装的与电子束对准的部件与电子束对中。综上所述，本 申请实施例对中机构通过调节第一调节件带动电子枪腔体在安装槽内进行 微调，使得安装孔上所安装的与电子束对准的部件的电场中心与电子束中心 重合，从而实现电子束的对中调节，由此，达到了扫描电镜的最佳状态，减 小了光轴偏移对分辨率、机台关键参数指标的影响。
[0040]根据下面参考附图对示例性实施例的详细说明，本申请的其它特征及方 面将变得清楚。<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种对中机构，其特征在于，用于安装在扫描电镜中，对所述扫描电镜中的的电子束进行对中校准，包括依次可拆卸连接的电子枪腔体和安装腔体；所述电子枪腔体上开设有第一通孔，所述电子枪腔体朝向所述安装腔体的一侧设有第一凸台，所述第一凸台呈绕所述第一通孔设置的环状结构；所述安装腔体朝向所述电子枪腔体的一侧开设有安装槽，所述第一凸台放置在所述安装槽内部，所述第一凸台的外侧壁与所述安装槽的内侧壁之间设有距离；所述安装槽的槽底处开设有适用于安装与所述电子束对准的部件的安装孔，所述安装孔贯穿所述安装腔体设置；所述安装腔体开设所述安装槽处的侧壁上移动安装有第一调节件，所述第一调节件贯穿所述安装腔体的侧壁设置，所述第一调节件用于推动所述第一凸台在所述安装槽内移动；所述第一调节件设有多个，多个所述第一调节件沿所述安装槽的周向间隔分布。2.根据权利要求1所述的对中机构，其特征在于，所述第一凸台包括斜面部，所述斜面部的侧壁呈斜面设置，所述斜面部邻近所述安装槽的槽底设置，所述斜面部与所述安装槽的内侧壁之间的距离沿第一方向逐渐减小；其中，所述第一方向为所述电子枪腔体指向所述安装腔体的方向；多个所述第一调节件均与所述斜面部抵接。3.根据权利要求1所述的对中机构，其特征在于，所述第一调节件呈杆状，所述第一调节件的杆身上开设有外螺纹；所述安装腔体开设所述安装槽处的侧壁上开设有第一内螺纹孔，所述第一内螺纹孔的数量与所述第一调节件的数量相同，所述第一调节件与所述第一内螺纹孔一一对应的旋接。4.根据权利要求2所述的对中机构，其特征在于，所述第一凸台还包括连接部，所述连接部呈环形设置，所述连接部绕所述第一通孔周向设置，所述连接部的底部端面设有外倒角；所述斜面部固定在所述连接部的底部端面一侧，所述斜面部的顶部端面与所述连接部的底部端面相匹配；其中，所述连接部的底部为所述连接部邻近所述安装槽的槽底一侧。5.根据权利要求1所述的对中机构，其特征在于，还包括第一密封圈；所述安装槽的槽底处开设有第一密封槽，所述第一密封槽呈环状设置，所述第一密封槽与...

【专利技术属性】
技术研发人员：李帅辰，蒋磊，孙伟强，孟庆浪，蒋俊海，
申请(专利权)人：中科晶源微电子技术北京有限公司，
类型：发明
国别省市：