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中国科学院上海微系统与信息技术研究所专利技术
中国科学院上海微系统与信息技术研究所共有5030项专利
有源区结构及具有宽带增益的太赫兹量子级联激光器制造技术
本发明提供一种有源区结构及具有宽带增益的太赫兹量子级联激光器,所述有源区结构用于太赫兹量子级联激光器,以增加所述太赫兹量子级联激光器的增益带宽,所述有源区结构包括至少三种依次叠置且具有不同太赫兹频率的有源区。本发明的有源区结构包括至少三...
一种薄膜异质结构的制备方法技术
本发明提供一种薄膜异质结构的制备方法,包括步骤:提供晶圆衬底,具有注入面;自注入面对晶圆衬底进行离子注入,以于晶圆衬底预设深度处形成一注入缺陷层;提供支撑衬底,将支撑衬底与晶圆衬底进行升温键合;对得到的结构退火处理形成连续缺陷层;采用外...
一种含有流线型椭圆微柱阵列的微色谱柱及其制备方法技术
本发明提供一种含有流线型椭圆微柱阵列的微色谱柱及其制备方法,所述微色谱柱包括:微沟道;以及椭圆微柱阵列,周期性排列于所述微沟道内,椭圆微柱的长轴与待测组分的流动方向平行,短轴方向与待测组分的流动方向相垂直,所述椭圆微柱的长轴与短轴的长度...
用于3D PDMS微流控芯片制作的对准结构、对准组装方法及其用途技术
本发明涉及3D PDMS微流控芯片对准组装结构和方法。通过拉链结构实现对准组装,用与PDMS芯片制作兼容的工艺,在要对准的两层PDMS上分别制作有凸链牙和凹链牙交错排列的半拉链,两两对准组装构成一个完整的拉链结构。对准组装时,在等离子体...
一种用于高效肿瘤靶向治疗的表面修饰C3N量子点的制备方法技术
本发明涉及一种用于高效肿瘤靶向治疗的表面修饰C3N量子点的制备方法,包括:(1)将C3N量子点超声分散于溶剂中,得到C3N量子点溶液,形成第一混合液体;(2)向C3N量子点溶液中加入靶向剂,静置溶解,形成第二混合液体;(3)将第二混合液...
具有波长选择性的石墨烯仿生光探测器及其制备方法技术
本发明提供一种具有波长选择性的石墨烯仿生光探测器及其制备方法,包括步骤:1)提供一基板;2)于所述基板上形成电极器件,包括测试电极、供电引线、供电电极;3)提供石墨烯并转移至所述电极器件上,至少覆盖所述测试电极;4)将上述结构置于反应炉...
基于温度调节性能的石墨烯仿生光探测器及其制备方法技术
本发明提供一种基于温度调节性能的石墨烯仿生光探测器及其制备方法,所述制备方法包括:1)提供石墨烯及微加热器平台,并将所述石墨烯转移至所述微加热器平台上;2)将步骤1)所得到的结构置于化学气相沉积反应炉中退火;3)于退火后的所述石墨烯表面...
一种SQUID平面梯度计芯片的封装结构制造技术
本实用新型提供一种SQUID平面梯度计芯片的封装结构,所述封装结构包括:SQUID平面梯度计芯片;设置于所述SQUID平面梯度计芯片下方的至少一层缓冲层;设置于所述缓冲层下方的基板;形成于所述基板上、且与所述SQUID平面梯度计芯片的电...
硅基微气相色谱柱制造技术
本实用新型提出了一种硅基微气相色谱柱,在硅微色谱柱的微沟道的内表面上设计并制备出一层细密的硅纳米线森林,纳米线线径一般分布在几纳米至几十纳米之间。这种细密的硅纳米线森林极大地增大了硅微色谱柱的表面积,从而有效地提高了硅微色谱柱的柱容量、...
微色谱柱及微热导检测器的集成芯片制造技术
本实用新型提供一种微色谱柱及微热导检测器的集成芯片,包括:双抛硅片,具有第二面及相对的第一面;图形化堆叠结构,包含交叉网状结构,其下方具有释放槽,图形化堆叠结构悬挂于释放槽中;盖基片,键合于第一面,盖基片具有微沟槽,图形化堆叠结构位于微...
一种基于正压控制的微流控芯片进样装置制造方法及图纸
本实用新型涉及一种基于正压控制的微流控芯片进样装置,其中控制单元分别与驱动装置、执行机构、进样泵和流量控制模块相连,用于控制整个装置完成自动化进样工作;所述进样针安装在执行机构上;所述驱动装置用于驱动执行机构,使得执行机构上的进样针完成...
基于机器学习的心肌缺血预诊方法、存储介质及电子设备技术
本发明提供一种基于机器学习的心肌缺血预诊方法、存储介质及电子设备,所述方法包括:获取心磁图数据并提取心磁图数据的数据集;对数据集进行特征提取形成多个独立的特征参数集;根据各特征参数分别对为各特征参数集配置的各训练模型进行训练,形成多个分...
一种电子器件的制作方法技术
本发明提供一种电子器件的制作方法,包括如下步骤:制作第一材料层,并同步形成第一对准标记;制作第二材料层,并同步形成第二对准标记;所述第一、第二对准标记共同组成复合标记;制作第三材料层,其中,所述第三材料层的图案采用电子束曝光定义,所述电...
一种心肌缺血特征参数提取方法及系统、存储介质及终端技术方案
本发明提供一种心肌缺血特征参数提取方法及系统、存储介质及终端,包括以下步骤:基于多通道心磁图仪的各个通道所获取的磁场强度和通道位置,获取T波波段的等磁图和电流密度图;基于所述等磁图和所述电流密度图提取时域特征参数;对多通道心磁图仪获取的...
基于负电容的场效应晶体管、生物传感器及其制备方法技术
本发明提供一种基于负电容的场效应晶体管、生物传感器及制备方法,场效应晶体管的制备包括:提供半导体衬底,包括底层硅、埋氧层以及顶层硅;定义出沟道图形及连接于两端的源区图形和漏区图形;向所述源区图形及所述漏区图形对应的位置进行性离子注入,形...
弯曲波导结构及偏振分束旋转器制造技术
本发明提供一种弯曲波导结构、制备方法及基于所述弯曲波导结构的偏振分束旋转器,弯曲波导结构包括:衬底;第一波导,弯曲设置于衬底上,包括第一耦合区;第二波导,弯曲设置于衬底上,第二波导包括与第一耦合区耦合的第二耦合区,第二波导与第一波导之间...
ARPES真空系统、真空安全联锁系统和真空安全联锁方法技术方案
本发明提供了一种ARPES真空系统、真空安全联锁系统和真空安全联锁方法。所述ARPES真空系统包括真空管路;所述真空管路的首端至末端依次设置有前级机械泵、第一真空规、第一前级真空阀、第二前级真空阀、第三前级真空阀、第一前级分子泵阀、第一...
环境磁场测试装置、测试方法及计算机可读存储介质制造方法及图纸
本发明提供一种环境磁场测试装置、测试方法及计算机可读存储介质,环境磁场测试装置包括:磁传感梯度计,设置于一无磁支架上,用于探测其环境的磁场强度;振动传感器,设置于地平表面,用于探测地平振动;测试机箱,用于通过一连接器与磁传感梯度计电性连...
薄膜型微热导检测器及其制备方法技术
本发明提供一种薄膜型微热导检测器及其制备方法,该薄膜型微热导检测器具有三明治结构,从下而上依次是玻璃衬底、带微沟槽的硅片和带微沟道的玻璃;交叉网状结构制作于硅片表面并悬浮于微通道之中,其结构是由两层氧化硅/氮化硅薄膜所保护的热敏电阻;关...
基于双面键合工艺的微色谱柱及其制备方法技术
本发明提供一种基于双面键合工艺的微色谱柱及其制备方法,所述制备方法包括步骤:在一块硅片上正、反两面刻蚀微色谱柱所需的微沟道,随后分两步分别在该硅片的正反两面完成硅玻璃阳极键合,最后获得玻璃‑硅‑玻璃结构的双色谱柱芯片;或者在两块硅片上分...
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