中国科学院上海微系统与信息技术研究所专利技术

中国科学院上海微系统与信息技术研究所共有5030项专利

  • 本发明提供一种微传感器、制备及其使用方法,通过微传感器的进气口及位于空腔内部的具有特定间隙大小的微过滤栅,能够筛选并捕获待测气体中特定直径范围内的微颗粒物,并通过谐振式微悬臂梁测量捕获的微颗粒物的质量,从而获得微颗粒物浓度等环境信息;设...
  • 本发明提供一种利用离子注入制备掺杂石墨烯的方法,所述方法包括,提供一衬底,于所述衬底上使用CVD工艺进行石墨烯生长,形成石墨烯层;于所述石墨烯层上形成一保护层,所述保护层完全覆盖所述石墨烯层;使用离子注入技术通过所述保护层向所述石墨烯层...
  • 本发明提供一种静态随机存储单元及其制作方法,上拉晶体管和下拉晶体管均采用L型栅;可以在牺牲较小单元面积的情况下(最终的有效单元面积可小于8μm
  • 本发明提供一种SOI晶体管四端口网络射频模型参数提取方法,包括以下步骤:1)依据YGG提取栅电阻Rg及栅电容Cgg;2)依据YGS提取栅源电容Cgs,并依据YGD提取栅漏电容Cgd;3)依据YGS、Rg、Cgs及Cgd提取源电阻Rs,并...
  • 本实用新型提供一种环境磁场测试装置,环境磁场测试装置包括:磁传感梯度计,设置于一无磁支架上,用于探测其环境的磁场强度;振动传感器,设置于地平表面,用于探测地平振动;测试机箱,用于通过一连接器与磁传感梯度计电性连接,以采集磁传感梯度计所产...
  • 本发明涉及一种基于令牌环的无线自组网MAC层信道接入和资源预留方法,具体为:将时隙资源划分为超帧,每个超帧划分为四段子帧,并规定每段子帧的数据传输方向以避免隐藏终端的影响。建立优化模型,通过时隙数目优化算法得出各段子帧的时隙数目和总时隙...
  • 本发明涉及一种基于子带滤波OFDM系统的子带滤波器生成方法,包括以下步骤:设计满足目标频率响应的通带边缘由1滚降到滚降截止幅度δ的线性相位滤波器,且可由滚降带因子控制其通带边缘滚降截止幅度δ和滚降带宽度;将线性相位滤波器的滚降函数取为升...
  • 本发明提供一种外腔激光器,其沿一光轴依次排布有半导体光增益芯片、准直透镜和一维平面光栅,半导体光增益芯片的一个腔面与一维平面光栅共同组成光学谐振腔,所述一维平面光栅设置为在一维平面光栅所在平面内进行平移,其与一一维驱动机构连接。本发明还...
  • 本实用新型提供一种弯曲波导结构及基于所述弯曲波导结构的偏振分束旋转器,弯曲波导结构包括:衬底;第一波导,弯曲设置于衬底上,包括第一耦合区;第二波导,弯曲设置于衬底上,第二波导包括与第一耦合区耦合的第二耦合区,第二波导与第一波导之间具有预...
  • 本发明提供一种转移石墨烯的方法,包括以下步骤:提供一衬底;在所述衬底上生长石墨烯,形成石墨烯/衬底结构;在所述石墨烯上涂敷派瑞林,形成派瑞林/石墨烯/衬底结构;利用腐蚀液去除所述派瑞林/石墨烯/衬底结构中的所述衬底,形成派瑞林/石墨烯结...
  • 本发明涉及一种基于CSMA竞争与TDMA预留的离散化信道接入方法,包括:步骤一、根据信道使用情况和数据缓存队列长度计算节点需要占用的时隙数目;步骤二、信道空闲时,符合条件的节点通过CSMA竞争信道,成功竞争到信道资源的节点传输数据;步骤...
  • 本发明涉及一种车联网加速信息传输的优化方法,车辆将生成突发的紧急安全预警信息时,在预配置的SPS资源上传输原始常规信息,该常规信息携带新资源请求和借助原始常规信息告知网络用户侧生成新信息的说明,或在预配置的SPS资源上传输突发信息,该突...
  • 本发明提供一种分布式频谱协同监测系统,包括一用于下发监测任务A的监测控制中心和多个采集并回传频谱数据的监测接收机,监测控制中心和监测接收机之间连接有一监测处理器,其包括协同方案制定模块和数据分析处理模块;协同方案制定模块根据监测任务A的...
  • 本实用新型提供一种亚微米约瑟夫森隧道结,包括:衬底;约瑟夫森结,位于衬底的上表面,约瑟夫森结包括由下至上依次叠置的底电极、势垒层以及顶电极,顶电极包括第一亚微米线条及第二亚微米线条,第二亚微米线条位于第一亚微米线条上方,且与第一亚微米线...
  • 本发明涉及一种镍铜(111)合金单晶薄膜的制备方法,包括以下步骤:S1,提供蓝宝石基片;S2,在蓝宝石基片的晶面Al2O3(0001)上沉积50‑5000nm厚的金属薄膜,得到沉积有镍铜合金的蓝宝石衬底,其中,该金属薄膜为镍原子占原子总...
  • 本发明提供一种三维微型加热器及制备方法,制备包括:提供半导体衬底,形成具有平台腐蚀窗口牺牲层;腐蚀半导体衬形成若干个下沉平台结构;形成定义有加热膜区、支撑梁区及电极区的介质薄膜,加热膜区经支撑梁区与电极区连接;制备加热电阻丝、连接引线、...
  • 本发明涉及一种面向超密集无线传感器网基于无监督学习的拓扑控制方法,以遗传算法的框架为基础,对网络节点进行分簇,通过不断地无监督学习寻找最优的分簇网络拓扑。在优化过程中,网络的节点能量、节点距离和节点密度三个因素是重要的输入数据集,利用层...
  • 本发明提供一种可降低恢复时间的超导纳米线单光子探测器件及制作方法,所述可降低恢复时间的超导纳米线单光子探测器件包括:超导纳米线;石墨烯结构,所述石墨烯结构结合于所述超导纳米线的底部。本发明通过在超导纳米线单光子探测器件中集成石墨烯结构,...
  • 本发明提供一种具有辅助环的超导纳米线单光子探测器件及其制作方法,所述具有辅助环的超导纳米线单光子探测器件包括:超导纳米线单光子探测器件,具有器件有效区域;辅助环,位于所述超导纳米线单光子探测器件的表面,且位于所述器件有效区域外围;所述辅...
  • 本发明提供一种平衡接线多通道超导量子干涉磁传感器,包括检测磁场的第一、第二SQUID磁通检测电路;为第一、第二SQUID磁通检测电路提供偏置的正偏置源及负偏置源;放大信号并提供反馈电流的第一、第二放大反馈电路;其中,第一、第二SQUID...