本实用新型是一种光学精密平移器，可实际用于在采取闭环控制的光学仪器中，推动光学元件或机械元件作微米级和亚微米级的精密平移。它包括用三个叠片式微位移驱动元件，按等边三角形均布，粘接在两个光学基板之间，采用位移平衡调节控制电路，可通过调节驱...

空间立体分布大口径聚焦镜调焦机构，涉及多维调焦机构。其特征是装有聚焦镜镜座固定在Ｘ、Ｙ二维精密导轨架上，Ｙ导轨架的外框上是由钢丝传动的主、从动精密丝杆，主动精密丝杆连接谐波齿轮箱和由计算机控制的步进电机，采用Ｘ、Ｙ大范围粗调节和Ｚ向精密...

空间立体分布大口径激光束反射镜调整装置，其特征是采用角度块与配重块相连悬挂于平台上的Ｔ形支架顶部两端，反射镜底座固定于角度块的斜面上，Ｚ方向步进电机驱动角度块及反射镜位移。由计算机控制的步进电机驱动谐波齿轮箱旋转和蜗轮付转动，使转轴带动...

熔石英轻型反射镜，属于对其结构的改进。其特征是由反射板和底板之间的组合直通孔蜂窝板夹芯层构成。该结构增加了镜体的刚性，即使在强烈的振动环境中镜体的光学面形也能保持稳定；夹芯层壁板可以做得较薄，能有效地减轻镜体重，减重率可达７０％；避免机...

光学波前传感器，属于对哈特曼－夏克波前传感器结构的改进。其特征是由具有子孔径分割的聚焦阵列和位敏传感器阵列组成，聚焦阵列将光学系统光瞳分割成子孔径阵列，并将入射光束会聚到置于其焦面的位敏传感器阵列各对应的单元上。其响应速度快、信息处理量...

本发明为集成式多元压电变形反射镜，涉及自适应光学系统的波前校正器技术领域，其特征是连续镜面的反射镜与高刚度基板之间固定连接一个能构成若干作用单元的压电驱动器，这是由多片压电陶瓷制成，每一压电陶瓷片的正极上的每一个相同位置处是代表驱动器每...

本发明公开的０．３５微米投影光刻物镜，是一种大规模集成电路制造设备分步重复投影光刻机的高分辨力投影成像物镜。它由外层密封恒温外套、中间层镜筒、内层为分隔固定光学透镜元件的透镜框组件组成。它克服了目前现有光刻设备投影光刻物镜光刻分辨力低，...

本发明是一种投影光刻成像相移滤波装置，由照明光源、聚光镜组、成像物镜及硅片等构成，其特征是在投影光刻物镜的光瞳面位置，放置对成像光可进行相移滤波的完全透光相移滤波板，既保证成像光不受阻挡，又能提高像对比度，进一步挖掘短波长大数值孔径投影...

本发明是一种利用光力制作超微细图形光学装置，由激光器、反射镜、声光器件、透镜组等组成的光学控制系统、原子束发生器以及真空工作室等构成。它利用光学控制系统形成的激光场对原子的作用力，使原子束准直和聚焦，直接在基底上成批量制作出点线图形，具...

本发明公开的工作波长１９３纳米投影光刻物镜，是一种大规模集成电路制造设备投影光刻装置的高分辨力投影成像物镜。由外层密封恒温外套、中间层镜筒和内层光学透镜元件、分隔固定光学透镜元件的透镜框组件构成。本发明克服了现有投影光刻物镜光刻分辨力低...

本发明是一种超分辨力滤波投影光刻物镜，由外层密封恒温外套、中间层镜筒、内层分隔固定光学透镜元件的透镜框组件和滤波器组件构成，具有滤波轴向重叠功能，增大了焦深，克服了目前现有投影光刻物镜光刻分辨力低，不能制作高分辨力图形的不足，具有超光刻...

本发明提供了一种面型保真度高，可刻蚀深度大的制作连续深浮雕微透镜阵列的方法。本发明通过刻蚀深度和刻蚀口径计算所要刻蚀的微透镜阵列浮雕的剖面图，并根据刻蚀深度－曝光量的关系对获得的掩模单元图形进行优化，由优化后的掩模图形进行曝光、显影、坚...

本发明公开了一种金属增强反射膜及其制作方法。本发明的金属增强反射膜由基板、铬膜层、金属层（银或者金）、过渡层、介质膜组成，介质膜是硫化锌／氟化镱ＺｎＳ／ＹｂＦ＃－［３］或者硒化锌／氟化镱ＺｎＳｅ／ＹｂＦ＃－［３］。本发明的金属增强反射膜...

大型光学镜面装配方法，属于大型镜面装配技术领域。可用大型天文光学镜面的无变形、变力的侧支撑。其特征是先将水银带２抽真空，使其吸附在镜座３两侧镜框内壁上的凹槽５里，将镜片１装入镜座３后，放开真空阀，注入水银４，调整好镜片位置，并使其固定。...

本发明公开了一种非接触式光学系统空气间隔测量工作方法及设备，由Ｆｉｚｅａｕ干涉仪构成主要光学检测系统，使干涉仪标准镜头的焦点聚于被测透镜的顶点上，通过一光电成像转换器将被测透镜镜面顶点波前翻转自准干涉而予以定位；指示光栅与干涉仪的标准镜...

电视投影透镜系统，属于电视投影透镜光学结构设计技术领域。其特征是从屏幕一侧起依次是正透镜组（１）、弱光焦度负透镜组（２）、为整个系统提供大部分光焦度的玻璃正透镜组（３），弱光焦度正透镜构组（４）和弱光焦度正透镜组（５）组成。其设计合理，...

门镜窥视镜，属于国家安全部门侦察工具的光学设计技术领域。其特征是由一个机械入瞳、三组镜头、一个场镜和一个机械出瞳构成：入瞳（１）之后是第一组大视场物镜（２），第一组大视场物镜２与第二组缩小倍率的投影物镜（４）由场镜（３）组合成全正像的光...

本发明公开了一种微光学元件的复制方法，涉及微光学元件的复制技术。该方法采用正性光刻材料（或负性光刻材料）作母板，光敏胶、硅橡胶等材料为复制过程的中间传递板，可复制出与母板凸凹面形相同或相反的微光学元件，故具有较大的灵活性和适用范围。本发...

本发明公开了一种毫米量级微透镜列阵的制作方法。该方法克服了现有传统透镜和微透镜加工方法制作毫米量级微透镜列阵的缺陷，通过机械加工制作微透镜列阵的母板，再用硅橡胶、光敏胶等复制母板，最终得到毫米量级微透镜列阵元件。由于机械加工具有较高的加...

本发明公开了一种激光防护膜及其制作方法。这种激光防护膜包括基片、氧化物膜层（Ｈ）、氧化硅膜层（Ｌ），其膜系为：Ｓｕｂ／（ＨＬ）＃＋［Ｐ］Ｈ０．５Ｌ／Ａｉｒ。该防护膜的制作方法主要包括电子束蒸发、离子束溅射或离子束辅助等相关工艺。该防护膜...