【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光学系统检测，属精密测量
光学仪器生产中，光学系统的装校，特别是物镜的装校直接影响光学仪器成像质量和性能，是非常关键的工艺。物镜的装校过程主要有三个方面的要求(1)校正每个面的偏心误差，(2)保证空气间隔，(3)在安装牢固的前提下，保证镜面不变形。如果空气间隔不能严格控制，会带来球差、色差、以及影响焦距、倍率等，甚至严重影响物镜的成像质量。因此，空气间隔的测量和控制是物镜生产的关键工艺之一。在实际装校中，空气间隔的测量方法通常有两种一是测量前一透镜的上顶点与后一透镜的上顶点的距离，然后减去透镜厚度。二是测量球面顶点到镜座端面的距离。这两种方法我们均称之为间隔测量。测量仪器大多数是采用百分表、千分表或光栅测微仪等，属于接触式测量。接触式测量的主要缺点是容易划伤透镜表面。为避免划伤，通常在测量头与被测表面之间加一层保护纸，因此测量精度比较低。有些镀有特殊膜层的表面，严禁接触式测量，因此必须采用非接触测量。本专利技术目的是提供一种非接触式光学系统空气间隔测量工作方法，采用干涉定位的原理，实现空气间隔的无接触检测。本专利技术的目的还在于，设计一...
【技术保护点】
一种非接触式光学系统空气间隔测量工作方法，其特征在于，由Ｆｉｚｅａｕ干涉仪构成主要光学检测系统，使干涉仪标准镜头的焦点聚于被测透镜的顶点上，通过一光电成像转换器将被测透镜镜面顶点波前翻转自准干涉而予以定位；指示光栅与干涉仪的标准镜头联动，通过光栅传感器和数显表组成的读数系统读取标准镜头的移动量而获取光学系统的空气间隔值。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：魏全忠，
申请(专利权)人：中国科学院光电技术研究所，
类型：发明
国别省市：90[中国|成都]
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