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非接触式光学系统空气间隔测量工作方法及设备技术方案
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文档序号:2679122
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本发明公开了一种非接触式光学系统空气间隔测量工作方法及设备,由Fizeau干涉仪构成主要光学检测系统,使干涉仪标准镜头的焦点聚于被测透镜的顶点上,通过一光电成像转换器将被测透镜镜面顶点波前翻转自准干涉而予以定位;指示光栅与干涉仪的标准镜头联...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。
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