一种采用聚苯乙烯球进行聚焦光刻成形亚波长微纳结构的方法，其特征在于以下步骤：　　　　（１）选择合适的基底材料，并将其进行清洗，用高压氮气吹干；　　　　（２）在基底表面旋涂一层抗蚀剂，在抗蚀剂表面再蒸镀一层金属结构；　　　　（３）在金属层...

本发明提供一种采用聚焦光刻成形亚波长微纳结构的制作方法，其特征在于：首先选择合适的基底材料；在基底表面旋涂一层抗蚀剂；在抗蚀剂表面再蒸镀一层金属；然后运用微透镜列阵结构对该结构进行聚焦曝光；移走微透镜列阵结构，去掉金属层结构；对抗蚀剂进...

一种具有面积微分的球面光刻系统，由光源、照明系统、掩模图形发生器、计算机控制系统、投影成像系统和载物台组成；光源提供照明光，该照明光通过照明系统平行均匀化后，照明掩模图形发生器，计算机控制系统控制掩模图形发生器提供掩模图形，同时根据样品...

一种逆向照明接近接触纳米光刻装置包括：基片、光刻胶、金属掩模版和均匀准直照明系统；在基片上面涂有光刻胶，在光刻胶接近接触放置金属掩模版，当均匀准直照明系统逆向照明，从基片侧向入射到基片上，在光刻胶和金属掩模版之间由于介电常数的匹配而激发...

一种利用多层金属介质膜结构实现亚波长干涉光刻的方法，其特征在于以下步骤：首先选择基底材料；在基底表面旋涂抗蚀剂；在抗蚀剂表面交替蒸镀金属材料薄膜和介质材料薄膜，形成交替排布的金属层和介质层；设计周期结构图形掩模并放置于上步骤获得的结构表...

一种纳米光刻对准系统，其特征在于：对准光源发出的光线经透镜Ａ、分光镜Ａ反射、显微物镜后照射在掩模和硅片上，掩模和硅片上的衍射光栅标记在对准光源作用下产生衍射光束干涉条纹，掩模上的对准标记图像经显微物镜、分光镜Ａ、分光镜Ｂ、透镜Ｂ到达反射...

本发明公开了一种基于数字微镜阵列的步进式无掩模数字曝光装置，利用数字微镜阵列替代传统掩模板的方法，结合投影曝光系统的特点，实现系统数字式、柔性曝光；由计算机将要曝光的图形、图像发送到数字微镜阵列上，构成数字式掩模，再利用均匀化、准直化后...

本实用新型公开的变焦光学镜头，涉及一种光学仪器变焦机构。该变焦光学镜头解决了现有变焦镜头不能显示焦距变化量的问题。该变焦光学镜头包括变焦驱动电机、驱动齿轮、驱动镜头移动的变焦凸轮，通过在与变焦凸轮啮合的传动齿轮上安装传感器，将变焦量转换...

本实用新型公开了一种摄像装置，包括摄像云台３和摄像机１，摄像云台的水平轴和垂直轴、摄像机的镜头上分别安装光电轴角编码器２，由其输出的摄像机转角和调焦量信号被传送到电器箱４，被转换为数字信号后传送到计算机。本实用新型克服了传统摄像装置不便...

航测相机的像移补偿机构，属于纳米驱动精密定位技术在航测相机中的应用。其特征是ＣＣＤ相机（２）置于摄影物镜（４）上方的导轨（３）中，并可沿轴向移动，压电陶瓷驱动器像移补偿机构（１）的一端固定于连接摄影物镜（４）的基座（６）上，另一端的球面...

一种摄影机周转齿轮输片机构，由周转齿轮，周转齿轮轴和抓片爪三件铆合成一体，其优点在于：输片机构动平衡性能好，振动小，噪音低，适宜各种间歇式摄影机和放映机，特别适于小型或手提式新闻高速摄影机使用。

自动可变光栏，其特征点于：在光栏片（４）的一端铆有固定销钉（３），它插在位于光栏（４）一端的固定环（２）的孔内，光栏片（４）的另一端在固定销钉（３）的背面，铆有活动销钉（５），它插在位于光栏片（４）另一端的活动环（６）槽内，小齿轮（１６...

一种星敏感器遮光罩，其特征在于：它由一级消光部分和二级消光部分连接而成，一级消光部分为高反射率的锥面或吸收锥面，使进入的杂光首先是大部分被反射出去或被吸收，只是一小部分散射光线进入二级消化部分；二级消光部分为吸收锥面。

高重复频率高精度转盘式机械快门装置，其特征在于：将一个轻薄的、有若干轴对称开孔的不透光转盘（１）通过反螺纹的紧定螺母（２）和轴套（３）直接固定在高速电机（４）的轴头上，高速电机（４）和测量转盘转动信息的光电开关（６）固定在电机底座（５）...

一种转盘式机械快门同步时序控制方法及其应用，与高重复频率高精度转盘式机械快门装置配套使用，在脉冲激光发射同步接收光电系统中控制脉冲激光器的发射时序和光电探测器的曝光时序，其特征在于包括下列步骤：　　　　（１）采用内触发同步时序控制方式，...

一种用柱面镜校正转镜塔差的方法，在光束入射到扫描转镜的光路中，放置一片柱面镜；同时，在光束从转镜反射的光路中放置另一片柱面镜，两片柱面镜的母线应与转镜的旋转面平行。采用此方法实现的一种激光大屏幕显示系统由包括三基色激光光源、加载调制信号...

一种基于图像处理的动态目标自动变焦系统，主要包括：可变焦镜头，用于调节摄像机的焦距；摄像机，用于拍摄目标图像；图像处理控制单元，接受从摄像机来的图像数据，对目标进行分割，得到目标的成像大小，根据目标大小与设定的大小比较结果决定发出控制命...

基于金属微纳结构实现电磁波功能器件的方法，首先根据所需功能器件出射光场的要求，设计基底材料及金属层结构参数，并按照衍射理论求解功能元件表面的位相关系；然后以功能器件光轴为中心，设置金属通孔，并根据表面等离子增强要求，在上述金属通孔两侧或...

自适应全反射极紫外ＥＵＶ（ＥｘｔｒｅｍｅＵｌｔｒａｖｉｏｌｅｔ）投影光刻物镜，可用于ＥＵＶ投影光刻机中，它包括２－４片球面或非球面反射镜和一片变形反射镜构成的投影光学系统及成像探测器和控制器，极紫外光照射掩模后，依次通过２－４片球面或...

一种组合卷积光阑指示光栅，其特征在于：其光栅由一组或多组卷积光阑小窗口按一定规律组合而成，其中卷积光阑由不同透光缝宽的矩形单缝通过卷积运算获得。