基于极紫外光谱仪的气体吸收系数测量装置，属于极紫外光刻技术领域。解决了现有技术中单独搭建极紫外波段气体吸收装置价格昂贵的技术问题。本发明的测量装置，主要包括光源腔、气体样品池、真空腔、第一分子泵、第一机械泵、第一真空计、第二分子泵、第二...

扫描法面阵CCD探测器实时视场拼接装置及方法属于航空航天成像技术领域，为了解决背景技术中提出的面阵CCD拼接的高精度和像面匹配的要求，本发明提出了一种实时性好、稳定性好、高精度的光学拼接方法，可以实现大视场的光学拼接。本发明利用摆镜的摆...

本发明提供的浅度非球面的面形误差测量方法，将被测非球面的最佳比较球球心与干涉仪标准球面镜参考面的焦点重合放置，然后直接进行浅度非球面的测量，在该位置处，非球面与参考面形成的干涉条纹最稀，回程误差较小，可直接进行浅度非球面检测，具体测量方...

基于遗传算法的极紫外波段光学常数反演方法，属于极紫外光刻技术领域。解决了现有技术中单层膜的光学常数的反演方法极易陷入局部极小值的问题。本发明的方法步骤如下：先通过单层膜的目标光学常数和目标膜厚，计算单层膜在固定波长、不同的掠入射角下的反...

具有微结构和光谱纯化层的光源收集镜，涉及极紫外收集镜和多层膜的设计，本发明的目的是为了实现减少深紫外和红外的杂光，同时降低极紫外的损耗，提供一种在收集镜上制作微结构以及光谱纯化层的多层膜设计。包括在极紫外光收集镜基底上依次制作的光栅刻蚀...

椭球腔体热释电传感器系统，涉及紫外、可见及近红外宽谱段传感器领域该系统，解决现有腔体热释电传感器存在当入射光以较大发散角入射时，腔体热释电传感器的吸收效率大大降低导致辐射强度测试准确性差的问题，包括斩波调制器，安置在会聚透镜前，会聚透镜...

本发明公开了一种具有抗溅射损伤和抗氧化性的高热稳定性极紫外多层膜，属于极紫外光刻技术领域。解决了现有技术中极紫外多层膜无法兼备抗溅射损伤、抗氧化性能、高热稳定性、较好的反射率的技术问题。本发明的极紫外多层膜主要由从下至上依次设置在基底上...

一种非球面光学元件中频误差控制装置及控制方法，涉及光学加工和检测领域，解决了现有非球面抛光工艺中的中频误差抑制困难的技术问题。该装置包括镜片装卡装置，镜片转动轴，抛光磨头，抛光垫，气缸，磨头转动轴，由辅助合盘套筒、螺钉支撑圆环和固定螺钉...

旋转平台过360°回转限位装置，涉及机电设备领域，解决现有旋转平台限位装置无法实现过360°的回转限位装置，并且现有的限位装置存在结构复杂以及生产、装调成本高等问题，包括移动组件和固定组件，移动组件固定在旋转平台的回转平台上，固定组件固...

一种LED照明灯具加速寿命在线测试设备，属于半导体器件的可靠性检测领域，为解决现有技术的问题，测试箱体，包括光学测量通道和温度施加单元，所述光学测量通道位于测试箱体与外接积分球系统连接处；灯具夹具装置，其设置在测试箱体内，其为正反360...

本发明涉及一种用于高NA极紫外光刻物镜的掩模结构，包括：掩模基底、多层膜、帽层和吸收层；其中所述多层膜由高折射率材料和低折射率材料在所述基底上交替沉积而成；所述吸收层的上表面处于所述帽层表面以下一定深度处。本发明的用于高NA极紫外光刻物...

高精度平面度在线测量装置及测量方法，属于高精度在线测量技术领域。解决了现有技术中平面度测量方法检测精度低、效率低、操作繁琐等问题。该装置包括数控立式车床、刀杆接柄、适配器、长度计、数显装置和PC机；其中，刀杆接柄夹持固定在数控立式车床的...

本发明提供了一种极紫外波段宽带Mo/Si多层膜的制备方法，包括以下步骤：依据目标宽带Mo/Si多层膜的指标，采用两层模型进行膜系设计，获得Mo/Si膜系厚度序列；依据所述Mo/Si膜系厚度序列，采用有效厚度法标定各周期Mo膜层和Si膜层...

本发明涉及一种具有光谱纯化功能的角宽带极紫外多层膜，属于极紫外光刻技术领域。本发明提供的具有光谱纯化功能的角宽带极紫外多层膜，该多层膜由下至上依次由基底、非周期的MoSi交替排列的多层膜、第一光谱吸收层、间隔层和第二光谱吸收层构成；所述...

用于超高精度凹非球面检测的补偿器光学系统，涉及一种光学系统，解决现有补偿器光学系统由于引入非共光路测量误差，而导致非球面面形检测精度低的问题，包括透射组、补偿组和待检非球面凹镜，所述透射组透射球面波，补偿组将透射组提供的球面波转化为与待...

光刻系统中照明均匀性测量方法，涉及光刻技术领域，解决现有方法存在由于曝光视场内曝光剂量不均匀，导致局部过曝光和局部欠曝光，从而引起图案断裂或连接等问题，本发明所述的测量方法，曝光光源在通过前组光学元件和后组光学元件后，投射到掩模面上的光...

旋转平移绝对检测法中确定光学元件中心的装置及方法，涉及高精度球面面形检测加工领域。该方法为以光学元件外圆为中心做4个标记点；调节光学元件使干涉仪条纹为零条纹；当转台在0度位置时检测光学元件，记录4个标记点的像素位置坐标得到光学元件中心的...

用于光学元件支撑的调整机构，涉及光学元件的精密调整技术领域，具体涉及用于光学元件支撑的调整机构；本机构为了解决现有光学元件偏心调整的方式行程范围有限以及更好的解决热应力消除的技术问题；光学元件的调整量作为运动控制的输入，通过控制软件解算...

一种用于航空相机的小型化调焦机构属于航空光学遥感装备调焦技术领域，目的在于解决现有技术存在的结构复杂、机构轴向尺寸大和系统自锁性能受制于调焦行程和旋转筒的旋转角度比值以及凸轮导销易磨损的问题。本发明包括：支撑结构，支撑结构为L型结构；设...

本发明提供一种深紫外投影光刻物镜的纳米级光学元件面形检测支撑工装，包括：光学元件；18个20°均布的弹片支撑单元；用于固定弹片支撑单的镜框；3个120°均布用于镜片精密调整用径向数显微分头调节器；3个用于镜框精密重复定位V型定位块。本发...