一种用于高精度光学元件的多点柔性支撑装置属于高精度光学元件精密支撑技术领域，目的在于解决现有技术装配过程中的干扰因素对面形影响严重，摩擦系数大的问题。本发明包括支撑盘、凸台、凸台压板、凸台紧固螺母、柔性支撑主体结构、蝶形弹簧和支撑位置调...

一种狭缝柔性结构的光学元件微动调整装置，属于光刻物镜结构设计与装调技术领域，为了解决现有技术存在的光学元件微动调整装置在保证光学元件极高调整精度的同时，装置的制造与装配困难的问题，本装置包括支撑镜框、微动调整机构、三个微位移驱动器、三个...

手电钻钻头定位导向器涉及空间遥感领域，该导向器包括导向孔、安装面和支口；导向孔与安装面相互垂直，导向孔和支口分别位于安装面上方和下方，导向孔的中心轴、支口的中心轴与底座的光孔同轴，安装面安装在底座表面上，通过安装面上的固定孔与底座表面固...

多谱段输电线路故障检测系统，涉及电力设备故障检测领域。解决了现有输电线路故障检测系统无法同时检测电压型故障和电流型故障、且对使用环境要求严苛等问题。本发明的检测系统主要包括：分光镜、紫外物镜、紫外滤光片、紫外探测器、红外物镜、红外探测器...

基于厚度基准传递的光学透镜中心厚测量方法属于光学干涉测量技术领域，该方法包括：加工一个满足国标要求的，与被检光学透镜同一批次生产的光学材料标准量块；通过镜面定位仪测量所述标准量块的光程L0，L0＝nT0，n为光学材料的群折射率，T0为标...

高定位精度的镜片可更换的光刻物镜镜框属于深紫外投影光刻物镜结构设计与装调技术领域，目的在于解决现有技术存在的结构复杂、操作空间大、定位及重复定位精度低和镜片易被污染的问题。本发明的外镜框为圆筒结构，外镜框内部两个侧壁设置有滑槽，内部侧壁...

一种滤光片快速更换的装置属于光学应用技术领域，目的在于解决现有技术存在的操作不方便问题。本发明包括底座、螺钉、弹性压片、滤光片座、滤光片和固定板，所述固定板上设有滑槽，弹性压片通过螺钉固定在固定板上，固定板通过螺钉固定在底座上，滤光片与...

本发明一种太阳能槽式曲面反光镜型面检测系统的支撑调整装置，属于反光镜型面检测领域。该装置包括支架总成、标记总成、支撑杆总成、槽式曲面反光镜、两个偏心轮总成和支撑座；所述的支架总成为双层长方体结构，包括横梁Ⅰ、纵梁Ⅰ、连接块Ⅰ、纵梁Ⅱ、横...

一种用于真空环境下的光学元件热应力评估系统，属于光学元件热应力控制相关技术领域，为了解决真空环境下对光学元件进行热应力评估的问题，该系统的石英加热管热辐照到光学元件上，在不同的时刻利用非接触式红外测温仪和干涉仪通过窗口玻璃分别进行光学元...

一种压电驱动的光学移相装置属于光学位相调整技术领域，目的在于解决现有技术存在的无法实现多维运动和导向精度低的问题。本发明的一种压电驱动的光学移相装置包括：具有中心通光孔的固定座；具有中心通光孔的移动座；和设置在所述固定座和移动座之间、相...

本发明高精度恒温控制装置及方法，属于恒温控制领域，解决了现有技术在对超高精度光学元件检测和光学系统检测时，干涉腔内温度变化导致的检测误差的技术问题：本发明包括气源模块、换热模块、储气模块和控制模块；气源模块通过管道与换热模块联通，换热模...

大型空间光学遥感器复合拦光板属于空间光学遥感技术领域，该拦光板包括：拦光基板、拦光布和尼龙搭扣；拦光基板采用碳纤维复合材料制成，其表面喷涂黑色消杂光漆；拦光布采用高强涤丝织物或高强锦丝织物制成，表面涂无光胶膜层；拦光基板与拦光布通过尼龙...

一种测量大功率CO2激光发散角的方法，属于大功率CO2激光器技术领域，为了解决现有测量方法无法准确测量大功率CO2激光发散角的问题，固定待测大功率CO2激光器，沿待测激光光轴方向垂直放置漫反射板，使激光光斑位于漫反射板的中心，漫反射板的...

一种具有面形调整功能的光学元件支撑装置属于光学元件高精度面形调整技术领域，目的在于解决现有技术存在的检测支撑结构不能满足实现超高精度的面形收敛性的要求，很难实现光学元件超高面形精度控制的问题。本发明包括支撑单元、支撑盘和球形凸台，多组支...

本发明公开了一种高热稳定性极紫外多层膜，属于极紫外光刻技术领域。解决了现有技术中设有阻挡层的Mo/Si多层膜无法兼备高热稳定性和较好的反射率的技术问题。本发明的极紫外多层膜，主要包括设置在基底上的周期层，所述周期层由从下至上依次排列的第...

提高深紫外大口径球面光学元件膜系一致性的方法，涉及深紫外薄膜制备领域，解决了在采用热蒸发方法为大口径、大口径/曲率半径球面光学元件镀制深紫外减反膜系时，由于元件表面不同位置沉积速率和沉积角不同，导致元件表面各处厚度及填充密度的差异，从而...

双角电荷分割型阳极，属于物理粒子探测技术领域，为了解决环形探测时现有位敏阳极的极间电容大的问题，在绝缘基底上镀金属层，在金属层上进行激光光刻，由分割绝缘沟道分成上下对称分布的两部分，每一部分由多个周期结构组成，周期结构宽度为p，每个周期...

一种双重封闭平面凸轮侧向调焦装置，涉及光学镜头的机械侧调焦领域，解决了现有侧向调焦机构存在的无越程保护功能、结构复杂、成本高的问题。包括固定座、移动座、探测器、探测器联接螺钉、调焦手轮、两个力封闭压缩弹簧、导向座挡板、导向座、导向轴、导...

本发明公开了一种大于360°小于720°回转限位装置，该回转限位装置可以通过对回转体旋转路径上的不同旋转线的顺时针限位机构以及逆时针限位机构与停挡块的配合，来实现回转体在大于360°小于720°范围内的回转限位，具有结构简单，设计合理，...

一种极紫外凹面反射镜镀膜均匀性评估方法，属于极紫外光学技术应用领域，该方法是加工与凹面反射镜具有相同形状的镀膜模具，以镀膜模具外边缘一点为起点，按螺旋线形状在镀膜模具上依次取点打孔，螺旋线与起点所在的半径的最后一个交点为终点，并将各点按...