用于极紫外光刻装置中的锆膜置换机构，属于极紫外光刻相关技术领域；本机构为了解决真空环境下锆膜更换的技术问题；本机构的锆膜安装板一直与法兰处于压紧状态，一旦监测到锆膜有破损，首先利用直线运动作动器推动锆膜安装板，把锆膜安装板与法兰脱开，然...

旋转平移绝对检测法中快速调节光学元件的装置及方法，涉及高精度光学元件面形检测领域，解决了现有方法存在的检测调整时间长、过程复杂的问题。该方法为整光学元件使干涉仪条纹为零条纹，记录第二调整机构在X，Y方向倾斜位置信息(X1，Y1)；将转台...

可变形快速控制一体化反射镜装置，涉及精密光机结构设计技术领域，解决现有快速控制反射镜技术无法完成低阶像差的校正，且影响其谐振频率等问题，包括可变形反射镜、第一促动器、支撑平台、第二促动器、弹性套筒、防护环、外壳、电控底板和底座；第一促动...

用于超高精度凸非球面检测的补偿器光学系统，涉及一种光学系统，解决现有补偿器光学系统存在设计残差，进而引入非共光路的测量误差，导致非球面面形检测精度低的问题，包括透射组、补偿组和待检非球面凸镜，所述透射组透射球面波，补偿组将透射组透射的球...

本发明涉及一种大口径光电探测系统不同仰角下波像差室内检测方法，在检测光路上依次设置有：目标靶板与照明系统；带有可变光栏的小口径准直光学系统；第一折转分束棱镜；第二折转分束棱镜；测量头部第三折转分束棱镜；测量头部第一分束棱镜；第二分束棱镜...

本发明涉及一种基于AM4379处理器的伺服控制器，包括：主FPGA，其用来控制AD、串口、CPCI接口功能；所述主FPGA与ARM和DSP相连；存储FPGA，其用来控制自定义的CPCI接口逻辑和数据存储；所述存储FPGA与所述主FPGA...

一种离子束面形精修用工件定心定方位角装置属于离子束加工领域，目的在于解决现有技术存在结构复杂且不能定方位角的问题。本发明的定心旋转底座上端面圆周均布六个键槽A；设置在空心旋转底座上的工件夹持底座，工件夹持底座设置有中心圆孔，上端面圆周均...

球面透镜材料均匀性的检测方法属于光学干涉测量技术领域，该方法结合移相干涉测量技术、折射率匹配液和贴置板实现球面透镜材料均匀性检测。通过折射率匹配液与被检透镜折射率的匹配，使被检透镜可以利用干涉仪平面波前检测。同时，通过搅动折射率匹配液，...

绝对式光栅尺光源自动装配装置及其装配方法，属于光栅尺装配技术领域，为了解决光栅尺的光源自动装配的问题，指示光栅和光电传感器与光源的光轴重合；信号提取参考光栅以中心轴为中心，在x方向上做往复运动；第二触发开关位于中心轴下方，且在信号提取参...

本发明公开了一种光机系统胶接接头的老化检测方法及其装置，该装置包括用于发射老化光线的人工老化加速系统、振动测试系统以及计算单元（3），人工老化加速系统包括激光器（11）；振动测试系统包括：用于夹持待检测胶接接头的夹具（21）、用于向待检...

一种透明光学材料群折射率测量装置及测量方法，涉及光学测量领域，解决了现有测量透明光学材料群折射率的方法存在的工作量大、精度低的问题。该方法为：在被测平面镜上、下面均放置一块平面镜，将两块平面镜与被测平面镜调平行，利用镜面定位仪测量上平面...

本发明涉及一种具有光谱纯化功能的极紫外多层膜，属于极紫外多层膜的设计领域。所述具有光谱纯化功能的极紫外多层膜从下至上依次包括：基底、周期性MoSi多层膜、第一光谱纯化层、Si层和第二光谱纯化层。本发明提供的具有光谱纯化功能的极紫外多层膜...

本发明涉及一种视频光纤收发器，包括：相机端接口模块，其包括：摄像机自适应模块，缓存模块，外部接口模块；采集卡接口模块，其包括：复位模块，外部接口模块，时钟模块；两个高速串行收发器，其中一个高速串行收发器与相机端接口模块相连，另外一个高速...

延长空间仪器太阳测量时间的太阳跟踪系统姿态调整方法，属于太阳空间测量技术领域为了使工作在太阳同步轨道上的空间太阳测量仪器获取更多的太阳测量时间，在太阳测量仪器进入太阳光照区之前的一定时间段内，获取航天器的轨道根数和当前系统时间作为输入参...

基于环路热管的空间热管辐射器，属于航天热控技术领域。解决了现有技术中基于流体回路的空间辐射器振动大，影响空间飞行器内的光学仪器的成像质量的问题。本发明的辐射器主要包括辐射冷板、十字交叉热管网和环路热管；辐射冷板的内表面冲压有多个纵向凹槽...

本发明涉及一种直齿圆柱齿轮渐开线齿形误差视觉测量方法，基于一字线激光视觉成像系统，建立渐开线齿形误差的测量模型，结合光条中心线检测技术、角点检测技术和摄像机标定技术等实现被测目标的测量，其包括以下步骤：1)标定激光主动照明下的视觉成像模...

一种CCGA焊接模拟芯片，涉及电子装联领域，解决了现有CCGA器件尺寸大、热容量大、焊接过程中没有自对中效应，对印制电路板设计、焊接工艺及力学加固工艺都有很高要求的问题。本发明包括本体；本体的正反面均以阵列排列的方式设置有焊盘，正反面的...

光机一体化快速控制反射镜，涉及精密光机结构设计技术领域，本发明目的是为了增加现有反射镜口径的同时提高反射镜的控制带宽，包括促动器、弹性套筒、传感器、传感器感应垫、弹性回转中心环、第一和第二轴向弹性片、中心支撑座、防护环、外壳、电控底板和...

本发明涉及一种用于弹性发射加工的工具轮，属于光学加工领域。通过在弹性发射加工装置中引入具有连续变化曲率半径的椭球形工具轮，可以增大工具轮与光学元件表面的相互作用区域，从而提高加工效率，尤其是凹面光学元件；此外，由于工作轮与光学元件表面的...

一种用于光学均匀性测试的柔性支撑装置属于光学材料光学均匀性测试技术领域，目的在于解决现有技术存在的通用夹具引入较大应力的问题。本发明的一种用于光学均匀性测试的柔性支撑装置包括片体底板、柔性片体、片体顶板和限位块；多个柔性片体一端均匀设置...