用于超高精度凸非球面检测的补偿器光学系统技术方案

用于超高精度凸非球面检测的补偿器光学系统，涉及一种光学系统，解决现有补偿器光学系统存在设计残差，进而引入非共光路的测量误差，导致非球面面形检测精度低的问题，包括透射组、补偿组和待检非球面凸镜，所述透射组透射球面波，补偿组将透射组透射的球面波转化为与待检非球面凸镜匹配的非球面波；所述透射组的F/#为10，补偿组的F/#为6.4，待检非球面凸镜的F/#为3.6。本发明专利技术所述的补偿器光学系统降低了补偿器加工装配难度，减少误差因素以提升所述的补偿器光学系统的检测精度能够满足对极紫外光刻超高精度非球面检测的要求。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种光学系统，具体涉及一种用于超高精度凸非球面检测的补偿器光 学系统。
技术介绍
在光学系统中，使用非球面元件能矫正像差，改善像质，而且可以减少元件数量以 提高能量利用率，因此非球面光学元件的应用领域愈加广泛。在光刻领域，投影光刻物镜设 计中普遍采用非球面元件提供更多的设计自由度、减小系统的复杂度、增大系统数值并提 高系统的成像质量。但是非球面检测，特别是超高精度非球面面形检测，一直是光学检测领 域的一个难题，也是制约非球面元件应用的关键因素。对于极紫外投影光刻物镜，为实现衍 射极限的成像质量，根据Marechal判据，其全视场波像差应优于A/14RMS( lnm RMS，A@ 13.5nm)，其非球面元件的面形精度要求更为苛刻，元件面形精度需优于0.2nmRMS。目前通 用性高的非球面检测设备检测精度在纳米量级，不能满足光刻物镜元件深亚纳米量级的面 形检测精度要求。对于如此高精度的非球面，一般只能采用零位补偿法进行检测。补偿镜法 是检测非球面一种常用的方法，一般采用若干片球面透镜，将干涉仪发出的球面波或平面 波转换为与非球面相匹配的非球面波，从而实现对非本文档来自技高网...

【技术保护点】
用于超高精度凸非球面检测的补偿器光学系统，包括透射组(1)、补偿组(2)和待检非球面凸镜(3)，所述透射组(1)透射球面波，补偿组(2)将透射组(1)透射的球面波转化为与待检非球面凸镜(3)匹配的非球面波；其特征是；所述透射组(1)的F/#为10，补偿组(2)的F/#为6.4，待检非球面凸镜(3)的F/#为3.6。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王丽萍，张海涛，马冬梅，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：吉林;22