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中国科学院半导体研究所专利技术
中国科学院半导体研究所共有5962项专利
一种制作双波长分布反馈集成激光器的方法技术
本发明公开了一种制作双波长分布反馈集成激光器的方法,该双波长分布反馈集成激光器用于探测CO与CH4的浓度,该方法包括:在掺杂磷化铟衬底上制作长条形介质掩膜图形;在掺杂磷化铟衬底上外延生长有源增益区和复合光栅层,在该复合光栅层上制作光栅;...
一种双维度上克服衍射极限的等离子体激光器制造技术
本发明公开了一种双维度上克服衍射极限的等离子体激光器,包括:一介质材料长条;以及一覆盖于该介质材料长条上的金属层;该等离子体激光器是通过在双维尺度低于激射波长衍射极限的介质材料上生长金属层以实现等离子体模式振荡,并在另一维度上引入FP腔...
一种激光投影机激光光源的驱动电路制造技术
本发明公开了一种激光投影机激光光源的驱动电路,该驱动电路包括输入接口、第一驱动产生电路、第二驱动产生电路和输出接口,其中第一驱动产生电路和第二驱动产生电路是两路并行的驱动产生电路,在输入接口与输出接口之间对称分布,该两路并行的驱动产生电...
硅基III-V外延材料图形异质键合均匀轴向力施力装置制造方法及图纸
一种硅基III-V外延材料图形异质键合均匀轴向力施力装置,包括:一下施力盖板,该下施力盖板为圆片状;一下承接托,该下承接托为圆片状,其上面均匀分布有多个圆孔,其位于下施力盖板之上;一上施力托,该上施力托为圆片状,其上面均匀分布有多个圆孔...
基于微环谐振器的五端口无阻塞光学路由器制造技术
本发明公开了一种基于微环谐振器的五端口无阻塞光学路由器,包括:第一、第二、第三、第四、第五、第六、第七、第八、第九、第十、第十一、第十二、第十三、第十四和第十五微环谐振器;第一、第二、第三、第四和第五光波导;其中,该第一光波导的一端为第...
在硅波导上刻槽制备硅基混合激光器的方法技术
一种在硅波导上刻槽制备硅基混合激光器的方法,包括如下步骤:在SOI片最上的硅层上刻蚀出硅波导和两侧的硅挡墙结构;在硅波导上横向刻蚀出多个沟槽;在所制作的两个硅挡墙远离硅波导的外侧区域蒸发金属层,形成SOI波导结构;在一衬底上生长III-...
亚波长自聚焦的径向偏振垂直腔面发射激光器及制备方法技术
一种亚波长自聚焦的径向偏振垂直腔面发射激光器,包括:一垂直腔面发射激光器,其一面制作有一P面电极,该P面电极的环形部分的中间为出光面;一N面电极,该N面电极制作在垂直腔面发射激光器的另一面;一介质膜,其制作在P面电极的出光面上;一环形光...
LED封装结构及封装成型方法技术
本发明提供一种LED封装结构及封装成型方法,该LED封装结构包括:一LED支架;一LED芯片,固定于LED支架的表面;两条金属线,用于LED支架与LED芯片的连接;多层硅胶层,封盖于LED支架、LED芯片和两条金属线上。通过本发明的LE...
晶圆级LED管芯整体集成封装装置制造方法及图纸
本发明提供一种晶圆级LED管芯整体集成封装装置,包括:一模具,包括下模具和上模具,该下模具的表面开有模穴,该上模具内为一真空腔室,其下面开有多个吸气孔;一真空泵,其通过管路与上模具内的真空腔室连接。本发明具有批量化、产业化的优点,且成本...
一种无间断生长高质量InGaN/GaN多量子阱的方法技术
本发明公开了一种无间断生长高质量InGaN/GaN多量子阱的方法,包括:在蓝宝石图形衬底上外延生长uGaN,在uGaN上生长nGaN,然后在nGaN上生长MQW应力释放层;在MQW应力释放层上外延生长InGaN/GaN多量子阱;在InG...
基于光强探测的集成光波导微腔传感器制造技术
一种基于光强探测的集成光波导微腔传感器,包括:一第一3dB光分束器,一第二3dB光分束器,所述第二3dB光分束器的光输入波导与第一3dB光分束器的第二输出波导连接;一传感微腔,其一侧与第二3dB光分束器的第一光输出波导耦合;一样品槽,其...
基于光强探测的高灵敏度传感系统技术方案
一种基于光强探测的高灵敏度传感系统,包括:一光源;一第一3dB光分束器,其输入端与光源连接,用于光的分束;一第一光功率计,其输入端与第一3dB光分束器的第一输出端连接;一传感芯片,其输入端与第一3dB光分束器的第二输出端连接;一第二光功...
基于微环谐振器的一位二进制光学数值比较器制造技术
一种基于微环谐振器的一位二进制光学数值比较器,包括:一第一微环谐振器,包括一硅基纳米线微环,一输入光波导,一直通光波导,一下载光波导;一第二微环谐振器,包括一硅基纳米线微环,一第一输入光波导,一第二输入光波导,一第一直通光波导,一第二直...
GaAs半导体材料刻蚀液的配方组成比例
本发明一种GaAs半导体材料刻蚀液的配方,包括:柠檬酸、过氧化氢和去离子水;其是先将柠檬酸和去离子水按预定比例混合,再加入过氧化氢搅拌均匀。其中该刻蚀液是先将1g的柠檬酸晶体兑入1ml的去离子水中,搅拌均匀,再加入浓度为30%的过氧化氢...
制备氮化镓绿光发光二极管外延结构的方法技术
一种制备氮化镓绿光发光二极管外延结构的方法,包括以下步骤:步骤1:取一衬底;步骤2:在衬底上依次外延生长u-GaN层、n-GaN层、多量子阱层和p-GaN耦合层;步骤3:在p-GaN耦合层上生长纳米金属层;步骤4:在纳米金属层上生长一P...
银纳米线透明电极氮化镓基发光二极管及其制作方法技术
一种银纳米线透明电极氮化镓基发光二极管,其中包括:一衬底;一外延层,制作在衬底上面,该外延层为台阶状,其的一侧形成有一台面,该外延层用以受激,发光,电注入;一纳米薄膜,生长在外延层上,用于做电流扩展层;一二氧化硅层,制作在外延层和纳米薄...
通用的多种材料间全限制量子点的自对准制备方法技术
一种通用的多种材料间全限制量子点的自对准制备方法,包括:在衬底上依次淀积生长电热绝缘材料层、第一功能材料层和牺牲材料层;旋涂SU-8胶并电子束曝光;干法刻蚀至电热绝缘材料层的上表面;淀积第二功能材料层;经电子束曝光形成横向的条形纳米量级...
一种有多色响应的量子点红外探测器制造技术
本发明公开了一种有多色响应的量子点红外探测器,包括:一GaAs衬底;一GaAs底接触层制作在GaAs衬底上;一下GaAs隔离层制作在GaAs底接触层上;一组分渐变AlGaAs层制作在下GaAs隔离层上;一Al0.2Ga0.8As势垒层制...
一种对光纤干涉型传感信号进行解调的系统及方法技术方案
本发明公开了一种对光纤干涉型传感信号进行解调的系统及方法。该系统包括:模数转换模块,用于对接收的载波信号进行模拟数字转换生成第一数字采样结果,对接收的光纤干涉信号进行模拟数字转换生成第二数字采样结果;滤波器模块,用于对接收的第一数字采样...
基于微环谐振器的N位光学数模转换器制造技术
一种基于微环谐振器的N位光学数模转换器,包括:N个光分束器,每个光分束器都包括一输入波导,一第一输出波导,一第二输出波导,该第二输出波导都与下一个光分束器的输入波导相连,逐级级联,最后第二输出波导悬空;N个微环谐振器,每个微环谐振器都有...
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