中国科学院半导体研究所专利技术

中国科学院半导体研究所共有5962项专利

  • 用于肝癌早诊的便携式传感系统及其功能化修饰方法
    本发明公开了一种用于肝癌早诊的便携式传感系统及其功能化修饰方法,该系统包括:微悬臂梁阵列传感单元,其将悬臂梁的机械信号转化为电信号,并输出至数字化显示接口处理电路;表面修饰层,生长在微悬臂梁阵列传感单元表面,用于功能化微悬臂梁阵列传感单...
  • 本发明公开了一种基于高速图像传感器和并行处理的视觉检测系统,该系统包括:产品传动装置,用于将待检测物运送至视觉检测处并将检测后合格品运出;光源装置,用于发光并照射至视觉检测处;图像采集和视觉处理装置,用于实现图像的采集和视觉检测;相机运...
  • 本发明提供了一种制备T相BiFeO3薄膜的方法。该方法包括:步骤A,制备BiFeO3材料的溅射靶;步骤B,将六角对称的(0001)取向的蓝宝石衬底和溅射靶分别放入射频溅射系统的沉积腔的适当位置,对沉积腔抽本底真空;步骤C,向沉积腔内通入...
  • 本发明公开了一种卫星电视接收系统,该系统包括碟形卫星天线、无线机顶盒和收看设备,其中,无线机顶盒与碟形卫星天线直接连接,无线机顶盒与收看设备通过Wi-Fi连接。本发明还公开了一种卫星电视接收方法,包括:无线机顶盒直接接收由蝶形卫星天线接...
  • 一种激光无线输能系统,包括:一激光器;一匀光器,其位于激光器的输出光路上;一准直器,其位于匀光器的输出光路上;一激光能量接收器,其位于准直器的输出光路上;一监控器,其输入端与激光能量接收器的输出端连接。本发明可实现能量的远程无线传输,同...
  • 本发明公开了一种分布布拉格反馈可调谐激光器及其制作方法,方法包括如下步骤:在一衬底上依次生长下波导层、多量子阱有源区、上波导层;获得分布布拉格反馈区及相位区材料,其带隙波长小于激光器发光波长;在反馈区制作光栅;在整个管芯表面生长包层和电...
  • 本发明公开了一种低发散角的面发射量子级联激光器结构,其包括:衬底;下波导层,该下波导层生长在该衬底正面;下光限制层,该下光限制层生长在下波导层上;有源区,该有源区生长在下光限制层上;上光限制层,该上光限制层生长在该有源区上;光栅层,该光...
  • 本发明公开了一种基于高折射率对比度光栅结构的单光子发射器及其制作方法。该单光子发射器包括:GaAs衬底;在该GaAs衬底上制备的外延片,该外延片由下至上依次包括GaAs缓冲层(1)、DBR(4)和(6)、InAs量子点有源区(5)和高折...
  • 本发明公开了一种低发散角分布反馈量子级联激光器结构及其制作方法。该结构包括:衬底、下波导层、下光限制层,该下光限制层生长在下波导层上、有源区、上光限制层、光栅层、上波导层,该上波导层生长在该光栅层上、多孔区、二氧化硅层、正面金属电极层和...
  • 本发明公开了一种提高光纤激光器光束质量的有源光纤器件,其包括泵浦光光纤分束部分、产生诱导激光的光纤部分以及光纤合束部分;其中,泵浦光光纤分束部分用于将泵浦光分成两束强度不同的泵浦光并输出;产生诱导激光光纤部分用于强度较弱泵浦光泵浦增益光...
  • 一种制备六棱柱纳米微腔中的量子点单光子源的方法,包括如下步骤:步骤1:取一半导体衬底,在该半导体衬底上生长二氧化硅层,该二氧化硅层上含有氧化孔洞;步骤2:对生长有二氧化硅层的半导体衬底进行清洗;步骤3:采用自催化的方法,在二氧化硅层上生...
  • 一种基于分叉纳米线的多端量子调控器件的制备方法,包括如下步骤:步骤1:取一Si衬底,该Si衬底的表面存在自然形成的二氧化硅薄层;步骤2:对Si衬底进行清洗;步骤3:采用自催化的方法,在二氧化硅层上生长GaAs纳米线,对该GaAs纳米线选...
  • 本发明提供了一种在第一次光刻工艺中方形晶圆对准的方法。该方法包括:步骤A,在对方形晶圆进行第一次曝光的掩模板上掩模图形的外围,制备对准标记;步骤B,在第一次曝光工艺中,利用掩模板上的对准标记,将方形晶圆限定在预设区域内,由掩模图形对方形...
  • 本发明公开了一种利用光致发光谱测量GaN基LED极化电场的方法,该方法包括制作GaN基LED测试样品,利用激光完全辐照所述测试样品并测量其输出的光电流和光电压,对所述测试样品的n电极接正电压,p电极接负电压,形成反向偏压,对所述测试样品...
  • 本发明公开了一种测量氮化物LED内量子效率的方法,包括如下步骤:制作多个氮化物LED测试样品,使之自下至上依次为衬底、n型层、有源区、p型层和ITO层;从各测试样品表面到n型层刻蚀出一个台面,在该台面上蒸镀上n电极,在ITO层表面蒸镀p...
  • 本发明公开了一种基于扫描近场光学显微镜的对光波导通光性能进行测试的方法,该方法基于包括激光器、具有光波导的光波导器件、扫描驱动装置、输入近场光纤探针、输出近场光纤探针、信号发生器、锁相放大器、微纳操作臂、探测设备、控制箱和计算机的测试系...
  • 本发明涉及一种激光粉末加工旁轴送粉工作头,其包括:粉气分离器、粉气输入腔、快插接头、粉末汇聚腔、第一粉末输送管、加工气输入腔、加工气汇聚件、加工气输入接头、固定架、第二粉末输送管、第三粉末输送管、粉末喷嘴。其中,加工气汇聚件为逐渐缩小漏...
  • 一种用于MOCVD系统中控制外延片发光波长及其均匀性的装置,包含通过上表面设置的若干凹盘对应放置有若干外延片的托盘、设置在顶盖上方的一组非接触式、发光补偿的激光测试发光波长谱仪,及设置在托盘下方的加热器,该托盘沿径向设置有若干同心圆但半...
  • 本发明公开了一种固体籽粒的自动检测与分选系统及方法,该系统包括传动部件、斜面翻滚部件、信号采集与处理部件和籽粒分选部件,其中传动部件具有多个传动通道,斜面翻滚部件具有多个传输通道,传动部件的传动通道的末端连接于斜面翻滚部件的传输通道的前...
  • 一种面向片上集成的热电器件制备方法,包括:在衬底上淀积第一绝缘材料层;光刻形成纳米线结构;去除纳米线结构上的第一绝缘材料层并填充第二绝缘材料层;回刻;去除纳米线结构一侧周围的第二绝缘材料层;在基片上淀积第三绝缘材料层,并开孔,在开了孔的...