中国科学院半导体研究所专利技术

中国科学院半导体研究所共有5962项专利

  • 一种高压水流辅助的激光切割熔渣的装置,包括:一基座;一激光头,其位于基座的上方,该激光头与基座的距离可调节;一夹持装置,其固定在激光头上,该夹持装置的一端位于激光头的一侧;一水气管,其可调节的固定在夹持装置位于激光头的一侧的一端。本发明...
  • 本发明公开了一种提高固体激光器线偏振激光输出的装置,其包括第一全反镜、半导体激光线阵侧泵激光模块、偏振器件、第二全反镜和功率计;其中,所述半导体激光线阵侧泵激光模块发出的激光在第一全反镜、半导体激光线阵侧泵激光模块、偏振器件与第二全反镜...
  • 一种采用AFM纳米压印图形衬底生长定位量子点的MBE方法,包括如下步骤:步骤1:取一衬底;步骤2:在衬底上生长缓冲层;步骤3:利用带有纳米压印功能的原子力显微镜,在缓冲层上制备周期阵列的纳米孔洞;步骤4:在周期阵列的纳米孔洞和缓冲层上生...
  • 一种利用AFM的探针制备图形衬底的定位纳米压印系统,该系统包括:一与其他真空生长设备相兼容的超高真空室;一原子力显微镜,其固定在超高真空室的底部;一衬底托固定装置,其固定在原子力显微镜的上面,该衬底托固定装置的中间有一孔洞;一衬底托,其...
  • 本发明公开了一种高阻GaN薄膜及其制作方法。该高阻GaN薄膜包括:衬底;GaN低温成核层,其制作在衬底上;GaN高阻层,其制作在GaN低温成核层上。该高阻GaN薄膜利用MOCVD设备,并用三甲基镓和氨气作为镓源和氮源,以氢气为载气进行生...
  • 本发明提供了一种带间级联激光器及其制备方法。该带间级联激光器在有源区InGaSb中插入InAs层,形成一空穴势垒,使得空穴波函数向两侧拓展,从而增加了空穴于电子波函数的交叠,电子空穴波函数在无外场作用下的交叠程度为15.407%,比传统...
  • 本发明公开了一种硅基微腔激光器的制作方法,包括以下步骤:在硅衬底正面,采用超高真空化学气相沉积方法外延锗层;将外延有锗层的硅衬底放入MOCVD反应室中,并先后分别生长低温成核砷化镓层和高温砷化镓层;将高温砷化镓层表面抛光后外延激光器结构...
  • 本发明公开了一种激光阵列热沉模块及其制作方法。该热沉模块包括:双对称屏蔽孔、连接屏蔽孔的金属线、微带线、激光器阵列、基底和底端散热模块;其中:激光器阵列和微带线均布置在基底上,并通过连接线对应相连,形成信号通路;双对称屏蔽孔位于两个微带...
  • 一种沟槽型MOS势垒肖特基二极管,包括:一衬底;一外延薄膜,其制作在衬底上,该外延薄膜的中间有一凸台,该凸台的侧壁为平面;一保护环,其制作在外延薄膜的凸台的周围,并位于凸台周围的平面向下;一绝缘介质薄膜,其制作在外延薄膜的凸台周围的侧壁...
  • 本实用新型公开了一种集成Wi-Fi功能的无线鼠标,该无线鼠标包括可活动的鼠标模块及与终端设备连接的适配器,该鼠标模块与终端设备之间通过无线传输进行通信,该适配器连接于终端设备的USB端口上,包括接口模块以及与该接口模块相连接的鼠标接收模...
  • 本发明公开了一种全自动跟踪光源的可见光通信接收装置,包括:圆柱形载体,具有三个互成120度的圆柱形通孔;三个光探测单元,分别设置于该三个圆柱形通孔中,每个光探测单元均包括一探测器托盘、一可见光探测器、一滤光片和一会聚透镜;云台,包括垂直...
  • 本发明提供了一种具有载波泄露校准和补偿功能的WLAN收发机。该WLAN收发机不需要在射频部分的内部引入用于数据采集的ADC以及载波泄露补偿和I/Q失配补偿的DAC,只需要设计一条简单的校准通路,校准和补偿由数字基带实现,只需要进行少量迭...
  • 本发明提供了一种信号放大电路。该信号放大电路采用差分技术,能够消除长导线上的寄生电容、运算放大器自身内阻、零点漂移及温度漂移引起的测量误差,精度高,增益高。
  • 本发明提供了一种制作倒装集成LED芯片级光源模组的方法。该方法包括:步骤A,在衬底上生长GaN材料,形成GaN外延结构;步骤B,对GaN外延结构进行深刻蚀工艺,形成多个独立的小LED材料结构;步骤C,对多个独立的小LED材料结构进行倒装...
  • 一种晶圆级微透镜压印成型方法,包括以下步骤:步骤1:将半导体发光二极管芯粒固定在晶圆级基板上;步骤2:在晶圆级基板和芯粒上方涂覆均匀的光敏胶;步骤3:将晶圆级基板、芯粒及涂覆有光敏胶一起固化;步骤4:固化完成后,在光敏胶的表面光刻、曝光...
  • 本发明提供了一种制备晶圆级全彩LED显示阵列的方法。该方法包括:步骤A,在衬底上生长GaN材料,制备GaN外延片;步骤B,通过深刻蚀工艺在所述GaN外延片上形成多个独立的LED结构;以及步骤F,对准不同列的LED结构,在蓝宝石衬底背面涂...
  • 一种氮化镓系发光二极管及制备方法,其中氮化镓系发光二极管包括:一衬底:一氮化镓成核层,该氮化镓成核层制作在衬底上;一缓冲层,该缓冲层制作在成核层上;一n型接触层,该n型接触层制作在缓冲层上,该n型接触层上面的一侧有一台面;一活性发光层,...
  • 本发明公开了一种制备低反射率蓝宝石图形衬底的方法,包括:在蓝宝石衬底上生长掩膜材料;对掩膜材料进行光刻,得到具有周期尺寸图形的掩膜;湿法腐蚀蓝宝石衬底得到一定深度的凹坑;干法刻蚀蓝宝石衬底,直至掩膜退缩完全;表面清洗。本发明提供的这种干...
  • 一种芯片尺寸级晶圆发光二极管的制作方法,包括:在衬底的表面打两个通孔;在衬底的正反两面蒸度二氧化硅膜保护膜;将衬底放入浓硫酸和浓磷酸混合液中腐蚀,清洗;去掉衬底表面的二氧化硅膜保护膜;在衬底的一面依次生长N型掺杂层、多量子阱发光层、P型...
  • 一种植物补光发光二极管的制作方法,包括在衬底的表面打通孔;在衬底的正反两面蒸度二氧化硅膜保护膜;将衬底清洗;在衬底的一面依次生长N型掺杂层、多量子阱发光层、P型掺杂层和ITO层;在ITO层上一侧及中间向下刻蚀,形成第一台面和第二台面,该...