中国科学院半导体研究所专利技术

中国科学院半导体研究所共有5962项专利

  • 本发明提供了一种行星式旋转托盘装置。该行星式旋转托盘装置包括:固定板,其中心位置设置通孔,其外侧具有环形凹入轨道,驱动轴由通孔伸入;中心齿轮,固定于固定板的正面,由驱动轴驱动绕固定板中心位置的通孔转动;卫星盘架组,包括位于同一径向位置的...
  • 本发明公开了一种在Si衬底上生长纳米线的衬底处理方法,包括如下步骤:S1、将Si衬底进行退火;S2、将通过步骤S1退火后的衬底进行自然氧化;S3、将通过步骤S2自然氧化后的衬底进行腐蚀。本发明能改善在Si衬底上生长纳米线的形貌质量,包括...
  • 本发明公开了一种基于纳米柱二极管压电效应的应力传感器的制备方法,包括:在衬底上依次生长n型层、多量子阱有源区、p型层,并在所述p型层的上表面自组装一层纳米小球阵列;利用纳米小球阵列作为掩模版,刻蚀出LED结构,刻蚀深度接触到n型层,形成...
  • 本发明提出一种改善硅纳米线太阳能电池性能的方法,包括:S1、将硅纳米线太阳能电池和导电金属网置于电解液中,并将该硅纳米线太阳能电池和该导电金属网分别连接至稳压直流电源的负极和正极;S2、打开所述稳压直流电源的同时用光照射所述硅纳米线太阳...
  • 本发明公开了一种可实现波长宽调谐的分布反射布拉格激光器及其制作方法。激光器包括管芯,管芯依次包括衬底、下波导层、有源区层、上波导层、光栅盖层、包层、电接触层,在垂直于各层的叠置方向的水平面的第一方向上延伸有一个脊波导,在该脊波导之外的区...
  • 一种Z字形自准直半导体光放大器热沉,包括:一上水平横梁;一下水平横梁,该下水平横梁与上水平横梁平行;一斜梁,该斜梁位于上水平横梁和下水平横梁之间,该斜梁的一端与上水平横梁的一端固定,该斜梁的另一端与下水平横梁远离固定该斜梁的上水平横梁的...
  • 本发明公开了一种提高发光效率的LED结构,该LED结构为,在衬底上依次沉积有缓冲层、未掺杂氮化镓层、n型导电氮化镓层、多量子阱、p型氮化铝镓层、p型氮化镓层、接触层以及之上的p电极,以及n型氮化镓层与其上的n电极,所述多量子阱由多个量子...
  • 本发明公开了一种生长自剥离半导体合金厚膜的方法,包括以下步骤:步骤1:衬底上淀积一层半导体合金薄膜;步骤2:在所述半导体薄膜上生长牺牲层;步骤3:在牺牲层上,生长半导体合金厚膜;步骤4:当所述半导体合金厚膜的厚度达到一定厚度,使得所述半...
  • 本发明公开了一种大功率光纤端头封装机构,包括一个主体铠甲、一个吸收黑体和至少一个反射体,主体铠甲呈圆筒形,圆筒的一端具有开口,另一端具有一个底面,并在底面的中心处开设一个通孔,开口用于容纳并固定与光纤熔接的端帽,通孔用于穿设光纤的端头;...
  • 一种光纤端帽熔接系统
    本发明公开了一种光纤端帽熔接系统,用于将光纤和端帽进行熔接,包括:激光产生装置,用于产生激光;环形光转换装置,用于将激光产生装置产生的激光转换为发散的环形光;聚焦装置,用于对环形光转换装置出射的发散的环形激光进行汇聚,使之聚焦在熔接面;...
  • 一种采用多激光器进行激光熔覆的方法,包括以下步骤:用丙酮或酒精对基材表面进行除油和清洗处理;采用第一台激光器发射的激光束辐照在基材指定位置的表面,使基材表面预热;或者对基材不预热直接转为步骤3;采用第二或多台激光器发射的激光束辐照在基材...
  • 一种氧化物膜的制备方法,包括如下步骤:步骤S1:将氧化物粉末和石墨粉混合,放入反应舟中,反应舟放入石英反应管内;步骤S2:将清洗、吹干后的衬底放在衬底托上,放入石英反应管内;步骤S3:向石英反应管和反应舟内中分别通入惰性气体;步骤S4:...
  • 本发明公开了一种控制半导体LED外延片内应力的装置,该装置包括:圆形或多边形结构的承载台(7);安装于承载台(7)表面中心位置的升降台(5);安装于升降台(5)上的应力机械手(6);安装于承载台(7)表面升降台(5)两侧的第一样品支架垂...
  • 本发明提供了一种密封传动装置。该密封传动装置具有传动轴高度可调节功能,可以更好的控制薄膜沉积腔室内托盘与加热电阻丝的距离,从而选取最适合晶体外延生长的温区。
  • 基于埋层的垂直结构存储器的制备方法
    本发明公开了一种基于埋层的垂直结构存储器的制备方法。该方法采用填埋下电极和存储功能材料层,不仅可以实现良好的电热绝缘,而且避开了以往制备此类垂直结构器件对化学机械抛光(CMP)的依赖。该方法在电子束曝光、聚焦粒子束刻蚀等高精度线性光刻手...
  • 本发明公开了一种用于组装神经元微电极阵列的电极排针,包括:多个排针针体,其由三部分组成:前端电极排针记录点、中间绝缘针体部分和后端压焊区域;其后端周期性排列固定于连接框架上,其前端为锥形;连接框架,其用于固定所述多个排针针体,且每两个排...
  • 本发明提供了一种LED恒流PWM驱动电路及三基色LED混光驱动电路。该LED恒流PWM驱动电路包括:三端双向开关电路,与交流电源相连接,用于将交流电源提供的正弦交流信号转换成正弦斩波波形信号;PWM波形信号产生电路,与所述三端双向开关电...
  • 一种提高OFDM系统中符号同步精度的方法
    本发明公开了一种提高OFDM系统中符号同步精度的方法,该方法包括:从接收到的数据中选择出有效数据,其中有效数据为接收端检测到帧数据后的时域短前导数据;对所述有效数据进行信道模式识别,识别出有用信号所在的子信道;针对所述的信道模式识别结果...
  • 本发明公开了一种基于固定点独立分量分析算法(FastICA)的合作频谱感知方法,包括以下步骤:无线接收端将取自2个不同认知用户的信号分别进行采样滤波,将离散化后的信号组成2×n的观测信号矩阵X(n);对观测信号矩阵X(n)进行中心化及白...
  • 本发明公开了一种频率可切换的微机械谐振器及其制作方法。所述谐振腔包括:中柱;可动结构,其由连接至其质心的中柱支撑;多个驱动/检测电极,其呈放射状位于可动结构的周围;空气或固体间隙,位于所述可动结构和各驱动/检测电极之间。其中,所述多个驱...