浙江珏芯微电子有限公司专利技术

浙江珏芯微电子有限公司共有93项专利

  • 本发明提供一种制冷红外芯片的制作方法,包括步骤:将碲锌镉晶圆作为衬底;在碲锌镉衬底上依次生长碲镉汞与钝化层;在芯片顶部匀上光刻胶;对碲锌镉衬底进行减薄;去除光刻胶并进行清洗。本发明通过对碲锌镉衬底进行减薄,减小了填胶烘烤产生的热应力,降...
  • 本技术涉及红外探测器技术领域,具体涉及一种吸气剂模块,所述吸气剂模块包括:一隔离盘,所述隔离盘的一表面设置有至少一吸气剂、以及至少一与所述吸气剂对应的支撑片;每一所述吸气剂均具备第一吸气剂电极和第二吸气剂电极,所述第一吸气剂电极与所述支...
  • 本发明公开了一种杜瓦加热除气的装置及除气方法,包括:除气炉腔体,由底座、炉壁与炉门组成,所述炉壁为玻璃材质;位于除气炉腔体内的支撑部件,用于固定除气零件;位于除气炉外的激光器;位于激光器与玻璃炉壁之间的一个或多个激光头,用于调节激光的光...
  • 本发明公开了一种杜瓦加热除气装置及除气方法,包括:除气炉腔体;贯穿腔体侧壁的光纤;螺旋缠绕在光纤外围的水冷管;所述光纤的腔体外一头连接有激光器;位于气炉腔体内用于固定除气零件的支撑部件,所述支撑部件,具有底盘、带动底盘水平移动或旋转的转...
  • 本技术公开了一种气动斯特林制冷机,包括:旋转压缩机,至少包括电机组件、压缩活塞组件和压缩端盖,其中,该压缩端盖外侧设有一空心的硬质管状凸起;气动膨胀机,至少包括底座、活塞组件、蓄冷器及冷指气缸;其中,气动膨胀机通过所述压缩端盖上的硬质管...
  • 本申请公开一种快速改变红外器件表面CdTe薄膜形貌的反应液,包括:作为溶剂的水、以及H<subgt;2</subgt;O<subgt;2</subgt;,H<subgt;2</subgt;O<s...
  • 本发明公开了一种背压腔前置的斯特林膨胀机,包括膨胀基座,膨胀基座包括位于膨胀基座的端部的第一腔体和位于膨胀基座的中部的第二腔体;膨胀活塞,膨胀活塞可活动地设于膨胀基座的内部,其中,膨胀活塞的一端的端部插入第一腔体内,以使气动力能够作用于...
  • 本发明涉及杜瓦冷指焊接技术领域,具体涉及一种杜瓦薄壁冷指精密装配与焊接装置及其制备方法,装置包括,装配底板,具备吸附着硅油的第一超滑表面;底座,设置在装配底板的上方;第一液珠,可滑动地设置在装配底板上,并吸附在底座的下表面;圆筒形的定子...
  • 本发明公开了一种斯特林制冷机的振动与噪声测试装置及方法,包括:悬空布置的导轨,导轨上设有一个或多个能够沿导轨的方向运动的滑块,滑块上布置有柔性的悬吊件,悬吊件的至少一部分能够沿其轴向方向上弹性地伸长或缩短。本发明通过环境设置、悬吊式测试...
  • 本发明提供一种碲镉汞表面钝化层开口的方法,包括:提供碲镉汞衬底;在所述碲镉汞衬底的表面自下而上依次形成阻挡层和图形化的光刻胶层,以光刻胶层为掩模在所述碲镉汞衬底内形成离子注入区;去除阻挡层和图形化的光刻胶层,并在碲镉汞衬底的表面沉积钝化...
  • 本发明公开了一种碲镉汞红外探测器及其芯片的制备方法,属于半导体制造技术领域,该碲镉汞红外探测器芯片的制备方法,包括以下步骤:在基片上依次形成第一保护层和第二保护层,所述第一保护层和所述第二保护层至少覆盖所述基片上的芯片区域;对所述基片进...
  • 本发明提供了一种碲镉汞红外探测器的制备方法,包括:提供碲镉汞半导体基底;在碲镉汞半导体基底的表面形成第一钝化层;在第一钝化层上形成网格形式的金属层,金属层的网格内露出第一钝化层的表面;在第一钝化层和金属层上均形成第二钝化层;依次刻蚀第二...
  • 本发明公开了一种用于杜瓦超薄壁件焊接的液体滚珠轴承及其制备方法,包括:轴承基座,所述轴承基座具有呈弧形的轴承配合面,所述轴承配合面上形成多个液滴限位区,所述液滴限位区内布置有液滴;轴承环,所述轴承环的外表面与所述轴承配合面相匹配,所述轴...
  • 本发明涉及制冷红外探测器领域,提供一种碲化镉钝化膜的热处理方法,步骤包括:S1、对碲锌镉衬底依次进行减薄、抛光以及清洗后,采用液相外延生长工艺在碲锌镉衬底表面进行液相外延以生长碲镉汞薄膜,并进行第一次热处理将碲镉汞薄膜的载流子浓度控制第...
  • 本实用新型公开一种无位置传感器的直流无刷电机驱动的斯特林制冷机,包括:电机,电机包括:电机外壳和压盖,压盖通过压环安装于电机外壳的一端上,电机外壳的侧壁上具有电机线出线口;偏心转轴,偏心转轴设于电机外壳内,偏心转轴的一端与压盖转动配合,...
  • 本发明公开了一种制冷红外探测器及其铟柱制备方法,属于半导体制造技术领域,该制冷红外探测器的铟柱制备方法,包括提供一待互连的第一芯片,第一芯片为制冷红外探测器的器件芯片或制冷红外探测器的读出电路芯片;在第一芯片上淀积介质材料,用以形成第一...
  • 本实用新型公开了一种红外探测器,包括底座,底座的内部通过螺纹连接有螺钉,底座的下端面紧贴有底板,底板的下端内部紧固粘黏有磁块,磁块的下端面紧固吸附有磁片,磁片的下端面紧固粘黏有支撑板,支撑板的下端面紧贴有外壳,该红外探测器,通过转动扭紧...
  • 本实用新型公开了一种红外探测器,包括底座,底座的内部通过螺纹连接有螺钉,底座的下端面紧贴有底板,底板的下端内部紧固粘黏有磁块,磁块的下端面紧固吸附有磁片,磁片的下端面紧固粘黏有支撑板,支撑板的下端面紧贴有外壳,该红外探测器,通过转动扭紧...
  • 本发明提供了一种碲镉汞红外探测器的形成方法,包括:提供碲镉汞半导体基底;去除碲镉汞半导体基底表面自然氧化形成的氧化层;在碲镉汞半导体基底的表面形成光刻胶层;光刻光刻胶层,使得剩余的光刻胶层为多个大小和形状均相同的点阵形状;在光刻胶层未覆...
  • 本发明公开了一种准闭管泡生法坩埚及其使用方法,包括:籽晶杆,籽晶杆的下端具有用于夹持籽晶的夹持部,籽晶杆的侧面沿其周向向外延伸形成液封槽;套筒,套筒套设于籽晶杆外,套筒的一端可操作地设置于液封槽内,套筒的内表面与籽晶杆的外表面之间具有第...