一种杜瓦加热除气装置及除气方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种杜瓦加热除气装置及除气方法，包括：除气炉腔体；贯穿腔体侧壁的光纤；螺旋缠绕在光纤外围的水冷管；所述光纤的腔体外一头连接有激光器；位于气炉腔体内用于固定除气零件的支撑部件，所述支撑部件，具有底盘、带动底盘水平移动或旋转的转轴，以及带动底盘垂直运动的升降部件。本发明专利技术可同批次对不同耐热性零部件进行除气，大大提高了除气炉对零部件的除气效率。通过分区加热方法，单个零件除气效果有大幅度提升，且不被同批次其它型号零部件的耐热性影响。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及红外探测器封装，尤其涉及一种杜瓦加热除气的装置及除气方法。

技术介绍

1、红外探测器主要包括芯片、杜瓦组件和制冷器三大部分。红外探测器的杜瓦组件为芯片提供真空的工作环境。真空寿命是红外探测器杜瓦组件的重要可靠性指标。材料放气是影响真空寿命的主要因素。为了减少材料在封装过后向杜瓦腔体内的放气速率与放气量，在封装过程中需要对零部件进行加热烘烤以及加热除气。加热除气可以使得材料表面部分吸附气体解吸以及材料内部组成气体的原子析出目的。

2、目前，加热除气方法均为材料整体加热。由于多种零部件甚至一个零部件上存在多种耐热性质材料，除气工艺不得不以耐热性最差的材料进行最高除气温度工艺的设计。因此，零部件上更耐高温的材料并未实现充分的除气。此外，针对不同材料的零部件以及不同封装进度的零部件，需要进行多次不同温度的除气，保证其在最后一个封装步骤时材料的吸气量较低。上述的传统零部件加热除气方法严重影响了杜瓦整个封装效率。

技术实现思路

1、为了解决以上技术问题，本专利技术提供了一种杜瓦加热除气装置，包括本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种杜瓦加热除气装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的杜瓦加热除气装置，其特征在于，还包括掩膜装置，所述掩膜装置设置在最靠近除气零件的位置，材质为不透光的金属或者具有一定透光率的玻璃。

3.根据权利要求1所述的杜瓦加热除气装置，其特征在于，还包括分光镜组，所述分光镜组设置在除气炉内，位于最靠近光纤的位置，分光镜组分光后得到所预设的能量相同或者不同的多束激光。

4.根据权利要求2或3所述的杜瓦加热除气装置，其特征在于，还包括激光头，所述激光头设置在除气炉内，位于最靠近光纤的位置或分光镜组与除气零件之间，包括一个或多个锥透镜或柱面镜，用于接...

【技术特征摘要】

1.一种杜瓦加热除气装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的杜瓦加热除气装置，其特征在于，还包括掩膜装置，所述掩膜装置设置在最靠近除气零件的位置，材质为不透光的金属或者具有一定透光率的玻璃。

3.根据权利要求1所述的杜瓦加热除气装置，其特征在于，还包括分光镜组，所述分光镜组设置在除气炉内，位于最靠近光纤的位置，分光镜组分光后得到所预设的能量相同或者不同的多束激光。

4.根据权利要求2或3所述的杜瓦加热除气装置，其特征在于，还包括激光头，所述激光头设置在除气炉内，位于最靠近光纤的位置或分光镜组与除气零件之间，包括一个或多个锥透镜或柱面镜，用于接收出射的激光并调节激光的形状，决定出射的激光为点状、环状、线状或面状。

5.根据权利要求4所述的杜瓦加热除气装置，其特征在于，还包括一个或多个振镜，所述振镜设置在xyz可移动平台上，位于激光头与掩膜装置或激光头与除...

【专利技术属性】
技术研发人员：周小棚，熊雄，石伟杰，应永威，刘欢，章小波，
申请(专利权)人：浙江珏芯微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：