温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种杜瓦加热除气装置及除气方法，包括：除气炉腔体；贯穿腔体侧壁的光纤；螺旋缠绕在光纤外围的水冷管；所述光纤的腔体外一头连接有激光器；位于气炉腔体内用于固定除气零件的支撑部件，所述支撑部件，具有底盘、带动底盘水平移动或旋转的转轴，...
该专利属于浙江珏芯微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江珏芯微电子有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。