本发明涉及抗蚀剂组成物及图案形成方法。本发明的课题为提供高感度、高分辨率且边缘粗糙度、尺寸偏差小而曝光后的图案形状良好的抗蚀剂组成物、及图案形成方法。本发明的解决手段为一种抗蚀剂组成物，其含有树脂(A)、下述式(b1)表示的光分解性淬灭...

本申请涉及鎓盐、化学增幅抗蚀剂组成物及图案形成方法。本发明的课题为提供在使用高能射线的光学光刻中，溶剂溶解性优良，为高感度，且为高对比度而且LWR、CDU、MEF、EL、DOF等光刻性能优良的化学增幅抗蚀剂组成物所使用的鎓盐、含有该鎓盐...

本发明提供一种多孔质玻璃母材的制造方法，通过使由燃烧器形成的燃烧器火焰产生的玻璃微粒子沉积在以铅垂轴为中心旋转的起始材料的前端，并将起始材料向上方提拉，从而形成多孔质玻璃母材，且该制造方法包括如下步骤：用一个或多个相机拍摄起始材料中的玻...

导热性有机硅组合物，其包含：(A)有机聚硅氧烷、(B)氧化铝粉末、(C)BET比表面积为1.0～4.0m2/g、平均粒径0.5～5μm的不规则形状氮化铝粉末、和(D)在1分子中含有至少一个由下述通式(1)表示的甲硅烷基、25℃下的粘度为...

本发明涉及鎓盐、化学增幅抗蚀剂组成物及图案形成方法。本发明的课题为提供：在使用能量射线的光学光刻中，不论是正型或负型，均为高感度且分辨性优异，可改善线图案的LWR、孔图案的CDU、EL、DOF等光刻性能，且可抑制抗蚀剂图案的倒塌的化学增...

一种表面弹性波器件用复合基板，是具备压电单晶薄膜、支承基板以及设置在压电单晶薄膜和支承基板之间的至少一种的间插层的复合基板，间插层与压电单晶薄膜接触，间插层的总厚度为表面弹性波的波长的2倍的厚度以下，并且通过布里渊振动法在40GHz~6...

本发明涉及抗蚀剂组成物及图案形成方法。本发明的课题为提供在使用高能射线的光学光刻中，感度、分辨度及LWR优良、稳定且操作也容易的抗蚀剂组成物，以及提供使用该抗蚀剂组成物的图案形成方法。该课题的解决手段为一种抗蚀剂组成物，含有：具有金属原...

提供乳化稳定性优异，涂布时的铺展良好，使用感优异的化妆料，其含有用下述（b）成分使下述（a）成分溶胀而成的有机硅凝胶，（a）其中二甲基聚硅氧烷用甘油链交联的交联型甘油改性有机硅、和（b）25℃下的运动粘度为0.5～5mm2/s的油剂。

提供了：含铽的顺磁性石榴石型透明陶瓷，其具有以下性质：当使波长为1064 nm且光束直径为1.6 mm的激光以甚至升高至160 W的入射功率照射其上时，入射激光束的直径的最大变化可以保持为10%以下；以及其它。所述含铽的顺磁性石榴石型透...

提供一种能在工业上效率良好地生产且所得到的粒子中的空孔容积受到控制的醋酸羟丙基甲基纤维素琥珀酸酯的制造方法。一种醋酸羟丙基甲基纤维素琥珀酸酯的制造方法，至少包含酯化工序、析出工序、脱液工序、粉碎工序以及干燥工序，其中，在脱液工序中使用螺...

本发明提供一种光掩模坯料，其包括遮光膜，该遮光膜具有高遮光性能和由遮光膜提供的对SPM清洗的高耐性，该遮光膜包括保护层和遮光层，所述保护层设置在距离透明基板的最远侧、由含硅且不含过渡金属的材料形成，所述遮光层设置在保护层的透明基板一侧、...

本发明涉及锍盐型单体、聚合物、化学增幅抗蚀剂组成物及图案形成方法。本发明提供在使用高能射线的光学光刻中，溶剂溶解性优异、高感度、高对比度且EL、LWR、CDU、DOF等光刻性能优异的化学增幅抗蚀剂组成物中使用的锍盐型单体、包含来自该锍盐...

本发明涉及含金属的膜图案的形成方法。本发明的目的在于提供借由将经等离子照射的含金属的膜图案用于蚀刻掩膜而能够在被加工膜形成边缘粗糙度良好的图案的方法。在本发明中，提供一种图案形成方法，是在基板上形成图案的方法，其包括下列步骤：(I‑1)...

本发明涉及图案形成方法。本发明提供借由进行等离子照射而相对于以往的有机下层膜图案展现优良的边缘粗糙度的抗蚀剂下层膜图案形成方法。本发明提供一种图案形成方法，包含下述步骤：于基板上形成抗蚀剂下层膜、于该抗蚀剂下层膜上形成含硅抗蚀剂中间膜、...

本发明涉及鎓盐、化学增幅抗蚀剂组成物及图案形成方法。本发明的课题为提供在使用高能射线的光学光刻中，溶剂溶解性优良，为高感度，且为高对比度而且曝光宽容度(EL)、LWR等光刻性能优良的化学增幅抗蚀剂组成物所使用的鎓盐、含有该鎓盐作为光酸产...

本发明提供导热性有机硅组合物及固化物，所述导热性有机硅组合物在(C)成分中掺合有由下述通式(1)表示的水解性有机聚硅氧烷。由此，提供导热性有机硅组合物及固化物。式(1)中，R1独立地为碳原子数为6~10的芳香族烃基，R2独立地为碳原子数...

本发明提供能够形成耐热性、耐化学品性、耐溶剂性、低温特性等优异的固化物(全氟(聚)醚橡胶固化物)并且固化物的伸长特性优异的热固化性的含有全氟(聚)醚化合物的组合物。固化性组合物，其包含：(A1)在分子链的两末端的各末端具有至少一个烯基、...

本发明涉及一种碳化金属被覆碳材料，所述碳化金属被覆碳材料包含以碳为主要成分的碳基材和被覆至少一部分碳基材的碳化金属被覆膜，其中，构成碳化金属被覆膜的金属碳化物为选自碳化钽、碳化铌、碳化锆、碳化铪和碳化钨中的至少1种金属碳化物，碳基材包含...

提供在维持充分的键合性的同时具有良好的崩解性的低取代度羟丙基纤维素的制造方法。一种羟基丙氧基含量为5～16质量％的低取代度羟丙基纤维素的制造方法，至少包含：使浆粕与碱金属氢氧化物溶液接触而得到碱纤维素的工序；使所述碱纤维素与环氧丙烷反应...

提供一种纤维素醚的制造方法，其是得到黄度和灰分低、堆积密度高的纤维素醚的方法，与以往的制造方法相比降低了水或能量的消耗量。一种纤维素醚的制造方法，至少包含：使碱纤维素与醚化剂反应而得到反应生成物的反应工序；对所述反应生成物进行清洗和脱液...