信越化学工业株式会社专利技术

信越化学工业株式会社共有3967项专利

  • 提供一种具有高流动性和良好的键合性的L‑HPC的制造方法。一种低取代度羟丙基纤维素的制造方法,至少包含:使粉末状浆粕与碱金属氢氧化物溶液接触而得到碱纤维素的工序;使所述碱纤维素与环氧丙烷反应而得到反应生成物的工序;不加入酸地将所述反应生...
  • 本发明涉及单体、聚合物、化学增幅抗蚀剂组成物及图案形成方法。本发明提供作为在使用高能射线的光刻中的溶剂溶解性优异、高感度、高对比度且EL、LWR、CDU、DOF等光刻性能和图案形状优异的化学增幅抗蚀剂组成物中使用的聚合物的原料的单体、使...
  • 本发明涉及鎓盐型单体、聚合物、化学增幅抗蚀剂组成物及图案形成方法。本发明的课题为提供一种鎓盐型单体、包含来自该鎓盐型单体的重复单元的聚合物、包含该聚合物的化学增幅抗蚀剂组成物、及使用该化学增幅抗蚀剂组成物的图案形成方法,该鎓盐型单体于在...
  • 固化性液体有机硅组合物在密闭的容器中室温下显示单组分保存性,使用时利用大气中的水分在室温下无需加热即可固化,可形成硅橡胶固化物或有机硅凝胶固化物,所述固化性液体有机硅组合物以特定比例含有(A)在1分子中具有至少一个烯基的直链状或分支状的...
  • 提供一种油包水型化妆料,其包含:(a)由下述式(1)[R1为一价烃基,R2为由下述式(2)表示的基团。]表示的氨基醇改性有机硅、和(b)无机盐:0.6~1.8质量%;该油包水型化妆料的乳化粒径细小,使用感、粘度稳定性优异。(Z独立地为选...
  • 本发明涉及含金属的膜形成用化合物、含金属的膜形成用组成物、及图案形成方法。本发明提供可在半导体装置制造步骤中的微细图案化制程中得到良好的图案形状,且具有与抗蚀剂上层膜高密接性并抑制微细图案崩塌的抗蚀剂中间膜的含金属的形成用化合物、含金属...
  • 本发明涉及深共晶液体、生物体电极组成物、生物体电极、及生物体电极的制造方法。本发明提供一种离子传导性高、即使接触生物体亦安全的深共晶液体;包含该深共晶液体的生物体电极组成物;一种生物体电极,其以该生物体电极组成物形成生物体接触层;及其制...
  • 提供使用感、柔润感、柔焦效果优异,含有烷基改性有机硅的化妆料,其含有用下述(b)成分使下述(a)成分溶胀的有机硅凝胶,(a)用有机硅链将具有碳原子数8~30的烷基分支的有机硅链交联的交联型有机硅:5~80质量%,(b)选自下述(b1)和...
  • 提供一种对属于蚁科的蚂蚁具有生理活性的组合物、一种有效用于蚂蚁控制的蚂蚁控制剂、和一种蚂蚁控制方法。更具体地说,提供:一种组合物,其包含至少一种具有19至50个碳原子并且对属于蚁科的蚂蚁具有生理活性的烃化合物、糖和表面活性剂;一种用于控...
  • 本发明涉及化学增幅正型抗蚀剂组成物及抗蚀剂图案形成方法。本发明课题是提供一种化学增幅正型抗蚀剂组成物、及使用该化学增幅正型抗蚀剂组成物的抗蚀剂图案形成方法,该化学增幅正型抗蚀剂组成物可提供能形成具有极高的孤立间距分辨率,LER小,矩形性...
  • 本发明提供一种通过椭圆光度法,可高精度、且高再现性、直接地计量表面粗糙度或雾度值小且具有均质的表面的含氟有机硅化合物薄膜的光学常数(折射率n、衰减系数κ)方法。所述含氟有机硅化合物薄膜的光学常数的计量方法,具有:将含氟有机硅化合物的薄膜...
  • 本发明提供一种涂布剂组合物,所述涂布剂组合物可在不产生针孔等缺陷的状态下于有机树脂膜上均匀地制作基于聚硅氮烷的无机膜。本发明的涂布剂组合物的特征在于,包含以下(A)、(B)、(C):(A)具有下述式(1)表示的重复结构的聚硅氮烷化合物,...
  • 本发明涉及一种光掩模坯料及光掩模的制造方法。具体地,本发明提供一种光掩模坯料,其包括透明基板、由含铬材料形成的膜和由含钽材料形成的膜。所述由含钽材料形成的膜由单层或多层构成,并且具有0.5~15nm的厚度;所述含钽材料含有钽、氧或含有钽...
  • 提供一种粒子密度的增加被抑制、溶解时间被缩短的醋酸羟丙基甲基纤维素琥珀酸酯的制造方法,所述制造方法为至少包含脱液工序、第一干燥工序和第二干燥工序的醋酸羟丙基甲基纤维素琥珀酸酯的制造方法,且在所述第一干燥工序中,通过流化床干燥机将醋酸羟丙...
  • 本发明涉及聚合物的制造方法、化学增幅抗蚀剂组成物的制造方法、抗蚀剂图案形成方法、聚合物及化学增幅抗蚀剂组成物。本发明提供一种聚合物的制造方法,含有以下步骤:(1)将含有预定单体的单体原料,借由使用了自由基引发剂及RAFT剂的活性自由基聚...
  • 本发明涉及生物体电极组成物、生物体电极、及生物体电极的制造方法。本发明的课题是以提供可形成导电性及生物相容性优良,为轻量,且能以低成本制造,无论被水濡湿或干燥其导电性都不会大幅降低,柔软且伸缩性与粘着性优良的生物体电极用的生物体接触层的...
  • 提供一种在溶剂中溶解速度快的醋酸羟丙基甲基纤维素琥珀酸酯的在工业上高效的制造方法。所述制造方法为至少包括脱液工序、第一干燥工序和第二干燥工序的醋酸羟丙基甲基纤维素琥珀酸酯的制造方法,且在第一干燥工序中,将醋酸羟丙基甲基纤维素琥珀酸酯以使...
  • 本发明涉及负型感光性树脂组成物、图案形成方法、硬化被膜形成方法、层间绝缘膜、表面保护膜、及电子零件。本发明的目的是提供一种感光性树脂组成物,其是能够在低温下进行酰亚胺闭环反应,组成物的稳定性优良,并且能够形成微细图案的使用了聚酰亚胺前驱...
  • 提供反应性高的有机聚硅氧烷化合物、包含其的组合物。由下述式(1)表示的有机聚硅氧烷化合物。[式(1)中,W为1价的有机聚硅氧烷残基,L是碳原子数为2~12的亚烷基,Z各自独立地为氧原子等,b是2~20的数,M是b+1价的多价有机基团,X...
  • 本发明涉及抗蚀剂组成物及图案形成方法。本发明为一种抗蚀剂组成物,含有:(A)基础聚合物,含有具有含有含氟原子的芳香环的酸不稳定基团的重复单元、及具有酚性羟基的重复单元,(B)通式(1)表示的高分子化合物,(RB为氢原子等,Ra为三氟甲基...