本发明涉及抗蚀剂图案形成方法。本发明提供抗蚀剂图案形成方法；使用非化学增幅抗蚀剂组成物，将曝光后的抗蚀剂膜利用干蚀刻进行显影来形成正型或负型的抗蚀剂图案，该非化学增幅抗蚀剂组成物在使用高能射线的光学光刻中，感度及极限分辨率优良。一种抗蚀...

本发明涉及抗蚀剂组成物及图案形成方法。本发明的课题是提供在使用高能射线的光学光刻中，感度及分辨率优良的非化学增幅抗蚀剂组成物，以及提供使用该抗蚀剂组成物的图案形成方法。该课题的解决手段为一种抗蚀剂组成物，含有：下式(1)表示的超原子价碘...

本发明涉及抗蚀剂组成物及图案形成方法。本发明的课题为提供在使用高能射线的光学光刻中，感度、分辨度及LWR优良、稳定且操作也容易的抗蚀剂组成物，以及提供使用该抗蚀剂组成物的图案形成方法。该课题的解决手段为一种抗蚀剂组成物，含有由金属原子及...

本发明为一种晶圆加工用临时粘合剂，其为用于将晶圆临时粘合于支撑体的晶圆加工用临时粘合剂，所述晶圆加工用临时粘合剂由可通过硅氢化反应固化的固化性有机硅树脂组合物构成，所述固化性有机硅树脂组合物包含不含磷原子及硫原子的酚系抗氧化剂。由此，提...

提供包含在末端具有双键的烯基的含有芴骨架的(甲基)丙烯酸酯化合物。

提供在主链具有硅亚苯基骨架、聚硅氧烷骨架和芴骨架、在侧链包含丙烯酰基或甲基丙烯酰基的聚合物。

提供具有优异的乳化稳定性的有机聚硅氧烷、以及使用了该有机聚硅氧烷的化妆料。由下述式(1)[化1](R12SiO2/2)a(R1R2SiO2/2)b(R1R3SiO2/2)c(R1R4SiO2/2)d(R1SiO3/2)e(SiO4/2)...

本发明为一种晶圆加工用临时粘合材料，其为用于将在表面具有电路形成面并应对背面进行加工的晶圆临时粘合于支撑体的晶圆加工用临时粘合材料，其具备复合临时粘合材料层，所述复合临时粘合材料层具有下述两层结构：能够以可剥离的方式粘合于所述晶圆的表面...

本发明涉及图案形成方法及抗蚀剂材料。本发明的课题是提供可形成高深宽比且微细的图案而不发生图案崩塌的图案形成方法。该课题的解决手段为一种图案形成方法，其特征为包含下列步骤：准备含有具有含硅的酸不稳定基团的聚合物的抗蚀剂材料，使用前述抗蚀剂...

本发明涉及膜形成用组成物、有机膜形成方法、图案形成方法、单体、及聚合物。本发明的课题：本发明以提供环境负荷少、且对于基板的涂布性为优良的膜形成用组成物为目的。本发明的解决手段：一种膜形成用组成物，其特征在于，该膜形成用组成物含有具有具五...

本发明提供了感光性树脂组合物，其包括(A)在主链具有硅苯撑骨架、聚硅氧烷骨架和芴骨架并且在侧链含有多元醇结构的聚合物、(B)特定结构的交联剂和(C)光致产酸剂。

提供感光性树脂组合物，其包含(A)含有酸交联性基团的有机硅树脂、(B)由下述式(B1)表示的环氧化合物、和(C)光致产酸剂。(式中，R1为氢原子、碳原子数1～4的饱和烃基、苯基、羟基苯基或卤素取代苯基。)

本发明涉及有机膜形成用组成物、有机膜形成方法、图案形成方法、单体及聚合物。本发明提供一种基板(晶圆)上的成膜性(面内均匀性)与填埋特性优异、且抑制EBR步骤时的隆起、且用作多层抗蚀剂用的有机下层膜时的处理裕度优异的有机膜形成用组成物、使...

本发明涉及鎓盐型单体、聚合物、化学增幅抗蚀剂组成物及图案形成方法。本发明提供一种鎓盐型单体、包含源自该鎓盐型单体的重复单元的聚合物、包含该聚合物的化学增幅抗蚀剂组成物、及使用该化学增幅抗蚀剂组成物的图案形成方法，该鎓盐型单体在使用高能射...

本发明的目的在于，提供用于降低溶存于含有自由基聚合性基团的有机聚硅氧烷中的有机碱的盐酸盐的量的简便的方法。一种含有自由基聚合性基团的有机聚硅氧烷的制造方法，包含如下反应工序：使在1个分子中具有1个以上的在末端具有从羟基、硫醇基以及具有活...

本发明为一种薄片状散热构件，其特征在于，配置于放热性电子部件与散热部件之间，并且，所述薄片状散热构件含有热软化性导热性组合物，该热软化性导热性组合物包含：(A)熔点为110℃以下的有机硅树脂100质量份、(B)银粉末500～1,850质...

本发明提供带有树脂的铜箔及使用了该带有树脂的铜箔的覆铜层压板、印刷线路板，所述带有树脂的铜箔由使用了具有低介电特性且高粘合力的特殊的马来酰亚胺树脂的未固化或半固化的树脂层与低粗糙度的铜箔构成。所述带有树脂的铜箔由未固化或半固化的热固性树...

含氟涂布剂，其包含具有水解性甲硅烷基或羟基甲硅烷基的含有氟聚醚基的聚合物和/或其部分(水解)缩合物在分子中不具有氟原子的有机溶剂中均匀地溶解的组合物，该聚合物中的氟聚醚基的摩尔质量为2500Da以上，并且该聚合物的氟含有率(不包括氟聚醚...

提供一种热传导性优异且作业性优异的热传导性组合物。其为含有如下成分的组合物：(A)熔点为‑20～100℃的镓和/或其合金：100质量份；以及(B)平均粒径为0.01μm～200μm的金属氧化物和/或金属氮化物：相对于(A)成分100质量...

提供与聚合性亲水性单体的相容性提高的有机硅大分子单体。由下述式(1)表示的侧链氨基甲酸酯改性有机硅大分子单体。[化1](式(1)中，R为碳数1～10的烷基等，X为氢原子或甲基，n1独立地为2～10的数，n2为0～8的数，R1为由式(2)...