本发明提供一种能够有利于工业上的制造，且具备耐氢氟酸性优异的密封材料的燃料电池组和具备该燃料电池组的燃料电池。在通过叠层多个由挟持了膜电极组件的一对隔离物组成的燃料电池单元而形成的燃料电池组中，密封材料被配置在所述隔离物，所述密封材料为...

本发明的光纤母材的特征在于：当制造由纤芯部与一部分包层部所构成的纤芯玻璃母材，然后将剩余的包层部给到该纤芯玻璃母材的外侧时，所述纤芯玻璃母材中，将相对折射率差为纤芯中心的相对折射率差的0.45倍值的半径位置设为纤芯半径位置，在该纤芯半径...

本发明是一种成膜方法，包含：对原料溶液进行雾化而形成原料雾的步骤；将所述原料雾与载气混合而形成混合气的步骤；将基体载置于台的步骤；将所述混合气从混合气供给元件向所述基体供给，并在所述基体上通过热反应进行成膜的成膜步骤；以及利用排气元件对...

掩模坯基板具有152mm×152mm方形的第一和第二主表面与6.35mm的厚度，其中在通过将第一、第二主表面的图相加而获得的拟TTV图中，在第一矩形区域与第二矩形区域重合的情况下形成的十字形区域内，在拟TTV图的拟合中，当导出平面函数时...

采用本发明的制造方法得到的、由基材、在该基材的外表面上采用干式方法形成的氧化硅基底层、和在该氧化硅基底层的外表面上采用湿式方法形成的以特定结构的具有水解性甲硅烷基的含有氟聚醚基的聚合物和/或其部分水解缩合物的固化物作为主成分的拒水拒油表...

以特定比例含有(I)在单末端具有氟代氧烷基且在另一单末端具有反应性官能团的特定结构的聚合物、和(I I)在分子内具有氟代氧亚烷基且在两末端具有反应性官能团、不具有极性基团的特定结构的聚合物的含有氟聚醚基的聚合物组合物可形成拒水拒油性、磨...

本发明为一种安全气囊用加成固化型液态硅橡胶组合物，其特征在于，其含有：(A)1分子中含有2个以上键合于硅原子的烯基且聚合度为50~2,000的有机聚硅氧烷、(B)1分子中含有2个以上氢甲硅烷基的有机氢聚硅氧烷、(C)利用BET法测得的比...

本发明涉及化学增幅负型抗蚀剂组成物及抗蚀剂图案形成方法。本发明的课题是提供一种可改善图案形成时的矩形性，且可获得LER、分辨度、图案忠实性及剂量宽容度经改善的抗蚀剂图案的化学增幅负型抗蚀剂组成物，以及提供一种抗蚀剂图案形成方法。该课题的...

本发明涉及化学增幅正型抗蚀剂组成物及抗蚀剂图案形成方法。本发明的课题为提供：可改善图案形成时的矩形性，且可获得LER、分辨性、图案忠实性及剂量宽容度经改善的抗蚀剂图案的化学增幅正型抗蚀剂组成物、及抗蚀剂图案形成方法。本发明的解决手段为一...

提供包含由下述式(1)和式(2)表示的结构单元以及含有环氧基的结构单元的硅烷改性共聚物。(式中，R1相互独立地表示碳原子数1～10的烷基或碳原子数6～20的芳基，R2相互独立地表示碳原子数1～10的烷基或碳原子数6～20的芳基，m表示1...

包含利用热或湿气能形成固化物的固化性成分(A)和包含特定结构的全氟聚醚化合物(b1)的表面改性成分(B)并且相对于除挥发性成分以外的固化性成分(A)100质量份、表面改性成分(B)中的全氟聚醚化合物(b1)为0.005～50质量份的含氟...

本发明涉及化学增幅负型抗蚀剂组成物及抗蚀剂图案形成方法。本发明的课题是提供一种可改善图案形成时的矩形性，且可获得LER、分辨度、图案忠实性及剂量宽容度经改善的抗蚀剂图案的化学增幅负型抗蚀剂组成物，以及提供一种抗蚀剂图案形成方法。该课题的...

微流体装置包括：具有在内部形成的流路的微流体芯片；盖和底座，各自与微流体芯片的表面接触；芯片保持器，其包括用于将微流体芯片固定至盖和底座的固定装置；和一端与微流体芯片的表面接触且另一端起到流体供应或排出口作用的连接器。微流体芯片的表面的...

本发明的目的在于提供可成为以往的低分子硅氧烷的替代品、与极性油剂等的相容性良好的分支型有机聚硅氧烷。此外，本发明的目的在于提供简便地、高纯度地得到上述分支型有机聚硅氧烷的制造方法。该分支型有机聚硅氧烷由下述式(1)表示(式中，R<...

本发明涉及有机膜形成材料、图案形成方法、及有机膜用化合物。本发明提供一种有机膜用化合物，能形成不仅耐热性、于基板形成的图案的填埋、平坦化特性优异且对于基板的成膜性、密合性良好的有机膜，并提供含有前述化合物的有机膜形成材料、及使用了前述材...

本发明涉及抗蚀剂组成物及图案形成方法。本发明的课题是提供使用高能射线的光学光刻中，感度、分辨度及LWR优良的抗蚀剂组成物，以及使用该抗蚀剂组成物的图案形成方法。本发明的解决手段是一种抗蚀剂组成物，包含下式(1)表示的锡化合物及有机溶剂，...

本发明涉及化学增幅正型抗蚀剂组成物及抗蚀剂图案形成方法。本发明的课题为提供：可改善图案形成时的矩形性，且可获得LER、分辨性、图案忠实性及剂量宽容度经改善的抗蚀剂图案的化学增幅正型抗蚀剂组成物、及抗蚀剂图案形成方法。本发明的解决手段为一...

本发明提供一种由下述通式(1)表示的含羧基有机聚硅氧烷。由此，提供一种具有醚键和酯键作为连接基团的含羧基有机聚硅氧烷。此外，提供一种没有来自羧酸的特异气味的所述含羧基有机聚硅氧烷的制备方法。式(1)中，R独立地为选自碳原子数为1~6的烷...

本发明为一种表面活性剂，其特征在于，其以下述通式(1)表示。由此，提供一种界面张力的降低效果高的表面活性剂。[化学式1]式(1)中，R1独立地为选自烷基及芳基中的基团，R2独立地为由下述通式(2)表示的基团，R3独立地为烷基，R4独立地...

本发明为一种凝胶剂，其由在层间掺入有下述平均组成式(1)的铵基改性有机聚硅氧烷的水溶胀性黏土矿物构成。由此，尤其使硅油增稠，提供经时性稳定的凝胶物。