本申请涉及一种刻蚀清洗槽用整流板，中间块设置在整流板中间位置，使得晶圆片正中间不再受清洗液直接冲击，同时，整流板上分布有第一整流孔和第二整流孔，第二整流孔的孔径大能够降低因中间块设置导致中间块底部清洗液形成的死区问题，使清洗液能够顺利经...

本申请涉及一种光伏清洗机机械手悬臂结构，包括：悬臂、挂架和倾斜机构。其中，设置在悬臂上的倾斜机构能够驱动挂架板做升降运动，进而使挂架板上的挂钩安装板连同花篮的一侧升降，使花篮的一侧高于另一侧，从而实现花篮以倾斜的方式离开清洗液，离开清洗...

本申请涉及一种能够调节悬臂角度的光伏清洗槽式机机械手，包括立柱和通过转轴设置在立柱上的悬臂，立柱上设置有悬臂调整机构，调整块的高度抵靠调整板进而改变悬臂整体倾斜角度，从而使得安装者可以根据悬臂的状态调整悬臂为水平。

本申请涉及一种花篮状态检测装置和检测方法，利用监控压篮高度的第一高度传感器

本申请涉及一种具有整流板的刻蚀清洗槽，所述具有整流板的刻蚀清洗槽中，中间块设置在整流板中间位置，使得晶圆片正中间不再受清洗液直接冲击，同时，整流板上分布有第一整流孔和第二整流孔，第二整流孔的孔径大能够降低因中间块设置导致中间块底部清洗液...

本申请涉及一种光伏清洗槽式机机械手，包括：立柱、悬臂、挂架和倾斜机构。其中，设置在悬臂上的倾斜机构能够驱动挂架板做升降运动，进而使挂架板上的挂钩安装板连同花篮的一侧升降，使花篮的一侧高于另一侧，从而实现花篮以倾斜的方式离开清洗液，离开清...

本申请涉及一种流体加热器，包括：罐体、红外加热器；罐体内具有容纳腔体，由石英材料制成，罐体的两侧分别设置有流体通入口和流体流出口，沿罐体的轴向横向平行设置有横穿整个罐体内部的第一容纳管；红外加热器设置在第一容纳管内，红外加热器发出红外加...

本申请涉及一种异丙醇与氮气混合罐，液态异丙醇通过异丙醇通入口注入到罐体内并淹没内罐，氮气从氮气通入通道进入内罐中，并从内罐的气孔处分散流出，气孔处流出的氮气在异丙醇内冒泡上升，在此过程中易挥发的异丙醇被混入氮气内形成混合气体，异丙醇与氮...

本申请涉及一种晶圆干燥槽体槽盖结构，盖体的两侧分别具有驱动机构和滚轮，使得盖体的两侧均有支撑部件，使得盖体的运动更加平稳，盖体的结构设置，使得喷气管与喷气块均能够被很好地隐藏在顶板与底板之间形成安装腔内。很好地隐藏在顶板与底板之间形成安...

本申请涉及一种立式炉管清洗底部支撑和清洗机构，包括方形的支撑架，方形的支撑架用于支撑炉管使得炉管以开口朝下的方式扣在支撑架上，第一喷口负责炉管靠下方的喷洗，第二喷口负责炉管靠上方的喷洗，通过两个喷口同时对炉管内部进行喷洗，提高了对炉管内...

本申请涉及一种石墨舟吹干机构，石墨舟吹干机构包括安装板、导轨、滑块和驱动组件，通过滑块和两根导轨的两侧配合使得滑块的运动更加平稳，同时，利用皮带轮和皮带的传动副来带动滑块运动，皮带传输的结构简单，又由于皮带无需限位机构摩擦限位而减小了摩...

本申请涉及一种晶圆篮清洗机构，旋转支撑架可以使容纳架发生公转，方便将相应的容纳架转动到对应内筒体的开口处，同时容纳架本身也可以自转，容纳架固定在开口朝外时，可以方便将晶圆篮和晶圆盒从容纳架上取放，固定到开口朝内时，就可以进行清洗操作。同...

本申请涉及一种晶圆清洗设备传输机构控制方法和装置，通过对轨道进行分段测量不同速度下的噪音，噪音小就表明振动小，基于噪音最小的原理来确定轨道上的机械手在不同位置的运行速度，从而使机械手运行过程中的振动最小，使机械手的运行过程尽量平稳，提高...

本申请涉及一种石墨舟传输机构，石墨舟传输机构中的滑动支架在顶部滑轨上水平运动、竖直滑动座在竖直滑轨上运动以实现机械手挂载石墨舟挂篮的水平和竖直位移，通过石墨舟挂篮能尽可能多地装载石墨舟，同时，通过压篮感应组件中顶杆的运动，通过简单结构实...

本申请涉及一种石墨舟固定机构，石墨舟固定机构成对设置于槽体底部，每个部分均包括底座、固定座和调节组件，其中固定座能够在调节组件的作用下能够调整位于底座上的位置，装配设备时，底座先行装入槽体底部，固定座在安装后可以根据实际石墨舟的位置进行...

本申请涉及一种晶圆盒晶圆篮清洗设备，旋转支撑架可以使容纳架发生公转，方便将相应的容纳架转动到对应内筒体的开口处，同时容纳架本身也可以自转，容纳架固定在开口朝外时，可以方便将晶圆篮和晶圆盒从容纳架上取放，固定到开口朝内时，就可以进行清洗操...

本申请涉及一种石墨舟清洗设备及清洗方法，将水洗槽中的清水从后往前溢流能够减少清水的消耗，为了避免清水不同的污染程度带来的清洗效果的差距，在进行多批次同时清洗时，将与最后一个水洗槽的距离近和距离远的水洗槽设定为一个序列，这样石墨舟经过一个...

本申请涉及一种石墨舟沥干槽，石墨舟沥干槽由槽体，能够喷出常温或者加热的气体的吹干机构，设置于槽体的槽底、用于对石墨舟挂篮进行定位固定的定位机构构成。通过定位机构能够准确地将石墨舟挂篮固定在具体的位置上，同时，底座与固定座相分离的结构，更...

本申请涉及一种立式炉管清洗槽，所述立式炉管清洗槽包括槽体、方形的支撑架，方形的支撑架用于支撑炉管使得炉管以开口朝下的方式扣在支撑架上，第一喷口负责炉管靠下方的喷洗，第二喷口负责炉管靠上方的喷洗，通过两个喷口同时对炉管内部进行喷洗，提高了...

本申请涉及一种液位管接头及在无液体时准确液位信息的晶圆清洗设备，液位管接头的结构使得槽体与液位管的开口呈斜面，上端部的开口的最低点不高于槽体底部内壁以利于所有的液体均能够从槽体内流走，同时利用斜向上的上端部刺破液面的整体性，降低液体表面...