晶圆盒晶圆篮清洗设备制造技术

本申请涉及一种晶圆盒晶圆篮清洗设备，旋转支撑架可以使容纳架发生公转，方便将相应的容纳架转动到对应内筒体的开口处，同时容纳架本身也可以自转，容纳架固定在开口朝外时，可以方便将晶圆篮和晶圆盒从容纳架上取放，固定到开口朝内时，就可以进行清洗操作。同时，本发明专利技术中的电机仅驱动中间轴转动进而带动所述竖直喷管转动，竖直喷管转动转动从而覆盖全部的容纳架，同时转动部件少，结构更加简单。结构更加简单。结构更加简单。

【技术实现步骤摘要】
晶圆盒晶圆篮清洗设备


[0001]本申请属于晶圆生产设备
，尤其是涉及一种晶圆盒晶圆篮清洗设备。

技术介绍

[0002]在晶圆的运输过程中，需要先将一片一片的晶圆插入到晶圆篮中，再讲晶圆篮至于晶圆盒中进行保护。为保护晶圆在运输过程中不受到污染，需要对晶圆盒和晶圆篮也一并进行清洗，以清洗掉其中的灰尘等杂质。
[0003]中国专利文献CN210575861U公开了一种晶圆篮清洗机构，其中使用清洗管固定，转动架转动的方式对晶圆篮进行清洗，导致其需要较大的电机和较为复杂的机构来实现晶圆篮的清洗过程。

技术实现思路

[0004]本专利技术要解决的技术问题是：为解决现有技术中的不足，从而提供一种结构简单、成本更低的晶圆盒晶圆篮清洗设备。
[0005]本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：
[0006]一种晶圆盒晶圆篮清洗设备，包括：
[0007]外框架；
[0008]内筒体，为圆筒形，设置在外框架内，前端具有开口；
[0009]旋转容纳架，包括中间轴、自由转动地设置在中间轴上的旋转支撑架、设置在旋转支撑架上的用于固定晶圆篮和晶圆盒的容纳架和竖直喷管，所述容纳架包括平行设置的两块侧板、若干隔板和竖杆，所述隔板与侧板一起将所述容纳架沿高度方向形成若干固定空间，所述固定空间用于固定晶圆篮和晶圆盒，所述竖杆设置在两块侧板之间以使所述容纳架在一侧形成开口，所述竖杆上还设置有卡块以卡住晶圆篮，所述容纳架底部还设置有限位组件以使容纳架固定在开口朝外或者开口朝内的状态，所述中间轴上设置有安装块，所述竖直喷管设置在安装块，所述安装块中间具有通道并连接所述竖直喷管；
[0010]清洗泵，用于将清洗泵泵入竖直喷管中；
[0011]电机，用于驱动中间轴转动进而带动所述竖直喷管转动。
[0012]优选地，本专利技术的晶圆盒晶圆篮清洗设备，所述限位组件包括固定在旋转支撑架上的U形弹片，设置在转轴上的凸块，转轴转动时，使凸块与U形弹片相配合，使容纳架固定在相应位置，
[0013]优选地，本专利技术的晶圆盒晶圆篮清洗设备，所述旋转支撑架，包括位于顶部和底部的两个圆盘以及连接两个圆盘的连杆。
[0014]优选地，本专利技术的晶圆盒晶圆篮清洗设备，所述旋转支撑架的底部设置有进气口并通过中间轴的中空通道与安装块中的连通通道连通，所述进气口与清洗泵通过管道进行连接。
[0015]优选地，本专利技术的晶圆盒晶圆篮清洗设备，每个容纳架上的固定空间为3个，其中
上下两个位置用于固定晶圆篮，中间用于固定晶圆盒。
[0016]优选地，本专利技术的晶圆盒晶圆篮清洗设备，电机和清洗泵均设置在所述外框架的下部。
[0017]优选地，本专利技术的晶圆盒晶圆篮清洗设备，所述中间轴的顶部设置有第一运动密封盘和第二运动密封盘，固定在内筒体上的第一固定密封盘和第二固定密封盘，所述第一运动密封盘上设置有第一密封圈，所述第二固定密封盘上设置有第二密封圈，第一密封圈密封第一运动密封盘与第一固定密封盘之间的间隙，第二密封圈密封第二运动密封盘和第二固定密封盘之间的间隙。
[0018]优选地，本专利技术的晶圆盒晶圆篮清洗设备，所述第一固定密封盘上设置有密封凸块以与第一密封圈配合。
[0019]本专利技术的有益效果是：
[0020]本专利技术的晶圆盒晶圆篮清洗设备，旋转支撑架可以使容纳架发生公转，方便将相应的容纳架转动到对应内筒体的开口处，同时容纳架本身也可以自转，容纳架固定在开口朝外时，可以方便将晶圆篮和晶圆盒从容纳架上取放，固定到开口朝内时，就可以进行清洗操作。同时，本专利技术中的电机仅驱动中间轴转动进而带动所述竖直喷管转动，竖直喷管转动转动从而覆盖全部的容纳架，同时转动部件少，结构更加简单。
附图说明
[0021]下面结合附图和实施例对本申请的技术方案进一步说明。
[0022]图1是本申请实施例的晶圆盒晶圆篮清洗设备的结构示意图；
[0023]图2是本申请实施例的旋转容纳架的结构示意图；
[0024]图3和图4是本申请实施例的容纳架的结构示意图；
[0025]图5是本申请实施例的限位组件的放大图；
[0026]图6是本申请实施例的旋转支撑架的结构示意图；
[0027]图7是本申请实施例的晶圆盒晶圆篮清洗设备的剖视图；图中的附图标记为：
[0028]1 外框架；
[0029]2 内筒体；
[0030]3 旋转容纳架；
[0031]4 清洗泵；
[0032]5 电机；
[0033]31 旋转支撑架；
[0034]32 容纳架；
[0035]33 限位组件；
[0036]35 中间轴；
[0037]36 竖直喷管；
[0038]311 圆盘；
[0039]312 连杆；
[0040]321 侧板；
[0041]322 隔板；
[0042]323 竖杆
[0043]324 卡块；
[0044]325 转轴；
[0045]331 形弹片；
[0046]332 凸块；
[0047]341 安装块；
[0048]342 进气口；
[0049]351 中空通道；
[0050]3411 通道。
具体实施方式
[0051]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0052]在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请保护范围的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本专利技术创造的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0053]在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
[0054]下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请的技术方案。
[0055]实施例
[0056]本实施例提供一种晶圆盒晶圆篮清洗设备，如图1所示，包括：
[0057]外框架1；
[0058]内筒体2，为圆筒形，设置在外框架1内，前端具有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆盒晶圆篮清洗设备，其特征在于，包括：外框架(1)；内筒体(2)，为圆筒形，设置在外框架(1)内，前端具有开口；旋转容纳架(3)，包括中间轴(35)、自由转动地设置在中间轴(35)上的旋转支撑架(31)、设置在旋转支撑架(31)上的用于固定晶圆篮和晶圆盒的容纳架(32)和竖直喷管(36)，所述容纳架(32)包括平行设置的两块侧板(321)、若干隔板(322)和竖杆(323)，所述隔板(322)与侧板(321)一起将所述容纳架(32)沿高度方向形成若干固定空间，所述固定空间用于固定晶圆篮和晶圆盒，所述竖杆(323)设置在两块侧板(321)之间以使所述容纳架(32)在一侧形成开口，所述竖杆(323)上还设置有卡块(324)以卡住晶圆篮，所述容纳架(32)底部还设置有限位组件(33)以使容纳架(32)固定在开口朝外或者开口朝内的状态，所述中间轴(35)上设置有安装块(341)，所述竖直喷管(36)设置在安装块(341)，所述安装块(341)中间具有通道并连接所述竖直喷管(36)；清洗泵(4)，用于将清洗泵泵入竖直喷管(36)中；电机(5)，用于驱动中间轴(35)转动进而带动所述竖直喷管(36)转动。2.根据权利要求1所述的晶圆盒晶圆篮清洗设备，其特征在于，所述限位组件(33)包括固定在旋转支撑架(31)上的U形弹片(331)，设置在转轴(325)上的凸块(332)，转轴(325)转动时，使凸块(332)与U形弹片(331)相配合，使容纳架(32)固定在相应位置。3.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：霍召军，李涛，吴亚晨，
申请(专利权)人：无锡亚电智能装备有限公司，
类型：发明
国别省市：