液位管接头及在无液体时准确液位信息的晶圆清洗设备制造技术

本申请涉及一种液位管接头及在无液体时准确液位信息的晶圆清洗设备，液位管接头的结构使得槽体与液位管的开口呈斜面，上端部的开口的最低点不高于槽体底部内壁以利于所有的液体均能够从槽体内流走，同时利用斜向上的上端部刺破液面的整体性，降低液体表面张力的作用，使得液体能够尽可能地被排出。使得液体能够尽可能地被排出。使得液体能够尽可能地被排出。

【技术实现步骤摘要】
液位管接头及在无液体时准确液位信息的晶圆清洗设备


[0001]本申请属于晶圆清洗设备
，尤其是涉及一种液位管接头及在无液体时准确液位信息的晶圆清洗设备。

技术介绍

[0002]晶圆清洗设备，如图1所示，包括容纳晶圆和清洗液的槽体1，槽体1内完成晶圆的清洗，为了方便对槽体1内的液位进行监控，需要在槽体1外设置竖直的液位管2，液位管2的底部与槽体1底部连通，液位管2的顶部与槽体1顶部连通，液位管2的页面高度与槽体1内的液位高度一致，使用液位传感器4感应液位管2内的高度即可得知槽体1内液面高度。
[0003]但是当清洗液为硫酸等高粘度的清洗液时，在槽体内排出清洗液时，由于清洗液表面张力的关系，清洗液会残存于液位管2与槽体1底部的接口处，从而导致清洗液无法完全排光，进一步导致液位管2内的液体也无法及时排出，使得液位传感器4输出错误的液位信息。

技术实现思路

[0004]本专利技术要解决的技术问题是：为解决现有技术中的不足，从而提供一种能够在无液体时准确液位信息的液位管接头及使用液位管接头的晶圆清洗设备。
[0005本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种液位管接头，设置在槽体(1)的底部，用于使液位管(2)与槽体(1)底部的连接，其特征在于，所述液位管接头(3)中间具有通道，包括伸入槽体(1)底部的上端部(31)，与液位管(2)连接的下端部(33)，位于上端部(31)和下端部(33)之间的凸缘(32)，所述上端部(31)的顶面具有斜面，使上端部(31)的开口所在平面与水平面形成夹角，且上端部(31)的开口的最低点不高于槽体(1)底部内壁。2.根据权利要求1所述的液位管接头，其特征在于，所述上端部(31)的最顶端到上端部(31)的开口的最低点的高度差为2
‑
5cm。3.根据权利要求1所述的液位管接头，其特征在于，所述上端部(31)具有外螺纹。4.根据权利要求1所述的液位管接头，其特征在于，所述凸缘(32)外边缘具有平面或...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱诚，李刚，霍召军，
申请(专利权)人：无锡亚电智能装备有限公司，
类型：发明
国别省市：