【技术实现步骤摘要】
本申请属于晶圆生产设备，尤其是涉及一种异丙醇水浴加热设备。
技术介绍
1、晶圆生产过程中需要尽量多次清洗和干燥，为提高干燥效果，有时需要利用异丙醇(ipa)的强吸水性来进行干燥。异丙醇沸点82.3℃，易燃易爆具有一定的危险性。在晶圆干燥时，需要对异丙醇进行加热雾化(通常还需要与氮气混合)，由于异丙醇易燃易爆的性质，直接进行容易发生危险，因此需要一种安全对异丙醇进行加热的异丙醇加热设备。
技术实现思路
1、本技术要解决的技术问题是：为解决现有技术中的不足，从而提供一种异丙醇加热安全异丙醇水浴加热设备。
2、本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：
3、一种异丙醇水浴加热设备，包括：
4、外框；
5、水浴箱，设置在外框内，所述水浴箱的内底面上设置有圆形底座，顶部具有开口，开口处设置有圆形密封座，所述水浴箱两侧的侧壁上分别开设有进水口和出水口；
6、石英罐，用于混合异丙醇和氮气，放置在圆形底座上，从开口处伸出水浴箱，圆形密封座与石英罐的外壁之间具有密封圈，所述石英罐顶部具有压力座，所述压力座通过螺钉与圆形密封座连接，通过螺钉施加下压力将石英罐固定住。
7、优选地，本技术的异丙醇水浴加热设备，所述石英罐包括：
8、罐体，为圆筒形，顶部具有异丙醇通入口和混合气体流出口，所述异丙醇通入口伸入所述罐体内的长度不短于所述气体流出口伸入所述罐体内的长度，所述罐体底部还设有石英罐下开口；
9、内罐，为圆柱形
10、优选地，本技术的异丙醇水浴加热设备，石英罐顶部还具有石英罐上液位开口，所述石英罐上液位开口与石英罐下开口与石英罐液位管连接，石英罐液位管上设置若干石英罐液面传感器。
11、优选地，本技术的异丙醇水浴加热设备，所述石英罐液面传感器为呈高度方向布置的三个。
12、优选地，本技术的异丙醇水浴加热设备，所述圆形底座内设置有中间具有孔的柔性的密封垫，石英罐底部的石英罐下开口穿过中间的孔。
13、优选地，本技术的异丙醇水浴加热设备，所述水浴箱的侧壁为透明玻璃。
14、优选地，本技术的异丙醇水浴加热设备，所述水浴箱侧面还设有水浴液位管，水浴液位管上设置水浴箱液面传感器。
15、优选地，本技术的异丙醇水浴加热设备，所述水浴箱液面传感器为呈高度方向布置的三个。
16、优选地，本技术的异丙醇水浴加热设备，水浴箱上还设置有温度传感器。
17、优选地，本技术的异丙醇水浴加热设备，所述石英罐为并列设置的三个。
18、本技术的有益效果是：
19、本申请的异丙醇水浴加热设备，将石英罐置于水浴箱内，通过压力座、圆形密封座和圆形底座，将石英罐牢固地固定在水浴箱中。通过水浴箱内流动的热水对石英罐中异丙醇进行加热，形成异丙醇和氮气混合气体，可以避免异丙醇易燃易爆的问题，提供一种安全的加热方式。
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1.一种异丙醇水浴加热设备，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的异丙醇水浴加热设备，其特征在于，所述石英罐(3)包括：
3.根据权利要求2所述的异丙醇水浴加热设备，其特征在于，石英罐顶部还具有石英罐上液位开口(36)，所述石英罐上液位开口(36)与石英罐下开口(34)与石英罐液位管(37)连接，石英罐液位管(37)上设置若干石英罐液面传感器(11)。
4.根据权利要求3所述的异丙醇水浴加热设备，其特征在于，所述石英罐液面传感器(11)为呈高度方向布置的三个。
5.根据权利要求2所述的异丙醇水浴加热设备，其特征在于，所述圆形底座(41)内设置有中间具有孔的柔性的密封垫，石英罐(3)底部的石英罐下开口(34)穿过中间的孔。
6.根据权利要求1所述的异丙醇水浴加热设备，其特征在于，所述水浴箱(2)的侧壁为透明玻璃(21)。
7.根据权利要求1所述的异丙醇水浴加热设备，其特征在于，所述水浴箱(2)侧面还设有水浴液位管(25)，水浴液位管(25)上设置水浴箱液面传感器(12)。
8.根据权利要求7所
9.根据权利要求1所述的异丙醇水浴加热设备，其特征在于，水浴箱(2)上还设置有温度传感器(23)。
10.根据权利要求1所述的异丙醇水浴加热设备，其特征在于，所述石英罐(3)为并列设置的三个。
...【技术特征摘要】
1.一种异丙醇水浴加热设备，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的异丙醇水浴加热设备，其特征在于，所述石英罐(3)包括：
3.根据权利要求2所述的异丙醇水浴加热设备，其特征在于，石英罐顶部还具有石英罐上液位开口(36)，所述石英罐上液位开口(36)与石英罐下开口(34)与石英罐液位管(37)连接，石英罐液位管(37)上设置若干石英罐液面传感器(11)。
4.根据权利要求3所述的异丙醇水浴加热设备，其特征在于，所述石英罐液面传感器(11)为呈高度方向布置的三个。
5.根据权利要求2所述的异丙醇水浴加热设备，其特征在于，所述圆形底座(41)内设置有中间具有孔的柔性的密封垫，石英罐(3)底部的石...
【专利技术属性】
技术研发人员：李刚，霍召军，王建，刘川，
申请(专利权)人：无锡亚电智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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