下载液位管接头及在无液体时准确液位信息的晶圆清洗设备的技术资料

文档序号:34032149

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本申请涉及一种液位管接头及在无液体时准确液位信息的晶圆清洗设备,液位管接头的结构使得槽体与液位管的开口呈斜面,上端部的开口的最低点不高于槽体底部内壁以利于所有的液体均能够从槽体内流走,同时利用斜向上的上端部刺破液面的整体性,降低液体表面张力...
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