一种晶圆清洗设备传输机构控制方法及装置制造方法及图纸

本申请涉及一种晶圆清洗设备传输机构控制方法和装置，通过对轨道进行分段测量不同速度下的噪音，噪音小就表明振动小，基于噪音最小的原理来确定轨道上的机械手在不同位置的运行速度，从而使机械手运行过程中的振动最小，使机械手的运行过程尽量平稳，提高机械手携带晶圆运行时的稳定性。携带晶圆运行时的稳定性。携带晶圆运行时的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆清洗设备传输机构控制方法及装置


[0001]本申请属于晶圆清洗设备
，尤其是涉及一种晶圆清洗设备传输机构控制方法及装置。

技术介绍

[0002]晶圆清洗设备通常是由多个清洗工位排列形成生产线，此时为了将晶圆在多个清洗工位上移动，就需要使用晶圆清洗设备传输机构来进行传输。如申请人之前的相关专利CN112992746A一种晶圆清洗设备传输机构的定位装置及定位方法中公开了一种晶圆清洗设备传输机构。然而，由于传输距离较远，轨道的设置长度较长，不可避免地在装配上会存在误差，导致机械手抖动，从而影响晶圆的运输。

技术实现思路

[0003]本专利技术要解决的技术问题是：为解决现有技术中的不足，从而提供一种通过监控噪音并降低运行噪音而降低晶圆传输的抖动的晶圆清洗设备传输机构控制方法及装置。
[0004]本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：
[0005]一种晶圆清洗设备传输机构控制方法，晶圆清洗设备传输机构包括：
[0006]轨道，高低且平行设置；
[0007]机械手，由具有速度编程控制功能的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆清洗设备传输机构控制方法，其特征在于，晶圆清洗设备传输机构包括：轨道(1)，高低且平行设置；机械手(2)，由具有速度编程控制功能的伺服电机驱动而能够在轨道上运行；噪音采集传感器，设置在机械手(2)上靠近轨道(1)处，随机械手(2)一同运动；所述晶圆清洗设备传输机构控制方法包括以下步骤：第一步：对轨道(1)按照传输方向分成若干轨道段；第二步：依据生产工艺，计算机械手(2)在整个轨道(1)上运行的平均速度；第三步：将平均速度以及平均速度的不同上下偏移值设置为若干实验速度，使机械手(2)在轨道上以实验速度为运行速度进行运行，由噪音采集传感器采集在不同机械手运行速度下的噪音值，建立起不同轨道段中的不同运行速度与噪音值的关系；第四步：按照传输方向，依次对每段轨道段的运行速度进行选取确定选取速度，以某轨道段中噪音值最小时的运行速度选取为该轨道段的选取速度，将轨道段与选取速度进行对应形成选取速度曲线；第五步：对选取速度曲线进行平滑处理形成平滑控制曲线；第六步：判断机械手以平滑控制曲线的运行速度进行运行的情况下，机械手(2)在轨道(1)上的运行时间，并将时间T与生产工艺所需时间t进行比较；第七步：如果T≤t，则以平滑控制曲线作为最终的机械手(2)控制方案，将平滑控制曲线写入伺服电机的编程控制器内，使机械手(2)以平滑控制曲线的运行速度在轨道上进行运行；如果T＞t，则需要再次对平滑控制曲线进行修改，此时，选取运行速度低于平均速度的轨道段，提高轨道段的选取速度，返回第五步。2.根据权利要求1所述的晶圆清洗设备传输机构控制方法，其特征在于，第七步中，选取运行速度低于平均速度的轨道段，提高轨道段的选取速度的具体步骤为：将该轨道段中运行速度大于选取速度且比选取速度下噪音值稍大的运行速度作为新的选取速度。3.根据权利要求1或2所述的晶圆清洗设备传输机构控制方法，其特征在于，第三步中的平均速度为V，则平均速度的不同上下偏移值为
±
0.9V、
±
0.8V、
±
0.7V、
±
0.6V。4.根据权利要求1
‑
3任一项所述的晶圆清洗设备传输机构控制方法，其特征在于，所述第三步中，机械手(2)在轨道上以实验速度为运行速度进行多次运行，取多次运行下的噪音值得平均值。5.一种晶圆清洗设备传输机构控制装置，其特征在于，控制的晶圆清洗设备传输机构包括：轨道(1)，高低且平行设置的；机械手(2)，由具有速度编程控制功能的伺服电...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱诚，童建，刘青松，
申请(专利权)人：无锡亚电智能装备有限公司，
类型：发明
国别省市：