【技术实现步骤摘要】
物品保管设备以及具备其的半导体制造工厂的物流系统
[0001]本专利技术涉及一种能够简化安装作业的半导体制造工厂的物品保管设备以及具备其的半导体制造工厂的物流系统。
技术介绍
[0002]半导体制造工艺作为在基板(晶圆或者玻璃)上通过数十个至数百个步骤的处理工艺来制造最终产品的工艺，每个工艺可以通过执行相应工艺的制造设备来执行。若结束特定制造设备上的工艺，则为了执行下一个工艺而可以将物品(基板)输送到下一个制造设备，并可以在一定期间内保管在保管设备中。在此，晶圆以容纳于FOUP(Front Opening Unified Pod；前开式晶圆盒)之类输送容器的状态保管或传送。
[0003]如上所述，物流系统是指为了制造工艺而输送或保管物品的系统，大体可以划分为输送物品的物品输送设备和储存物品的物品保管设备。
[0004]物品保管设备有如仓储柜(Stocker)那样具有仓库形态的设备。另外，作为在物品输送车辆的行驶路径周边临时保管物品的设备，可以包括设置于轨道的侧方的侧轨缓冲区(Side Track Buffer...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种物品保管设备，是半导体制造工厂的物品保管设备，其中，所述物品保管设备包括：保管单元，设置于提供输送车辆的行驶路径的轨道的周边，并保管收纳有晶圆的输送容器；吹净单元，向输送容器的内部供应惰性气体；控制单元，识别保管于所述保管单元的所述输送容器，并将所述吹净单元控制成将所述惰性气体供应到所述输送容器；以及供电单元，将从沿着所述轨道设置的供电电缆感应的电流供应到所述控制单元。2.根据权利要求1所述的物品保管设备，其中，所述保管单元包括：框架，设置于所述轨道的侧方；支承台，设置于所述框架的下部面并构成为被安放所述输送容器；以及RFID读写器，设置于所述支承台而获取所述输送容器的识别信息并向所述控制单元传递。3.根据权利要求2所述的物品保管设备，其中，所述吹净单元包括：气体供应端口，设置于所述支承台的安放插槽，并当所述输送容器搭载于所述安放插槽时与形成于所述输送容器的气体流入孔连通；以及气体供应部，根据从所述控制单元接收的控制信号，通过所述气体供应端口向所述输送容器内供应所述惰性气体。4.根据权利要求3所述的物品保管设备，其中，所述气体供应部将与所述惰性气体的供应状态有关的信息传送到所述控制单元。5.根据权利要求4所述的物品保管设备，其中，所述控制单元包括：识别信息获取部，从所述RFID读写器获取所述输送容器的识别信息；气体供应控制部，若识别到所述输送容器，则向所述气体供应部传送所述控制信号，并从所述气体供应部接收与所述惰性气体的供应状态有关的信息；以及输出部，输出所述保管单元中的被安放所述输送容器的每个安放插槽的所述输送容器的安放与否以及所述惰性气体的供应状态。6.根据权利要求5所述的物品保管设备，其中，所述输出部包括：发光装置，分别显示每个所述安放插槽的所述输送容器的安放与否以及所述惰性气体的供应状态。7.根据权利要求6所述的物品保管设备，其中，所述发光装置设置成朝向半导体制造工厂的地面显示所述输送容器的安放与否以及所述惰性气体的供应状态。8.根据权利要求1所述的物品保管设备，其中，所述供电单元包括：电流转换器，从所述供电电缆感应电流；以及
供电线缆，从所述电流转换器将电流供应到所述控制单元，所述供电线缆构成为紧贴或者嵌入于所述轨道以及所述保管单元的构造物，以使得不与所述输送车辆产生干扰。9.根据权利要求8所述的物品保管设备，其中，所述电流转换器包括：环状的芯部件，设置成以环状围绕所述供电电缆，并通过沿着所述供电电缆流动的电流形成磁场；以及线圈部件，缠绕于所述芯部件，并通过所述磁场感应电流。10.一种物品保管设备，是半导体制造工厂的物品保管设备，其中，所述物品保管设备包括：保管单元，设置于提供输送车辆的行驶路径的轨道的周边，并保管收纳有晶圆的输送容器；吹净单元，向输送容器的内部供应惰性气体；控制单元，识别保管于所述保管单元的所述输送容器，并将所述吹净单元控制成将所述惰性气体供应到所述输送容器；供电单元，将从沿着所述轨道设置的供电电缆感应的电流供应到所述控制单元；以及控制器管理单元，通过无线通信连接于所述控制单元而管理所述控制单元的工作。11.根据权利要求10所述的物品保管设备，其中，所述保管单元包括：框架，设置于所述轨道的侧方；支承台，设置于所述框架的下部面并构成为...
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