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物品保管设备以及具备其的半导体制造工厂的物流系统技术方案
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下载物品保管设备以及具备其的半导体制造工厂的物流系统的技术资料
文档序号:37981027
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本发明的实施例提供能够以更简化的结构供应电力的半导体制造工厂的物品保管设备以及具备其的半导体制造工厂的物流系统。根据本发明的一方面的半导体制造工厂的物品保管设备包括:所述物品保管设备包括:保管单元,设置于提供输送车辆的行驶路径的轨道的周边,...
该专利属于细美事有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过细美事有限公司授权不得商用。
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